靜電放電(ESD)及防護(hù)基礎(chǔ)知識
一. 術(shù)語及定義
1. 靜電: 物體表面過;虿蛔愕撵o止的電荷
2. 靜電場:靜電在其周圍形成的電場
3.靜電放電:兩個具有不同靜電電位的物體,由于直接接觸或靜電場感應(yīng)引起兩物體間的靜電電荷的轉(zhuǎn)移。靜電電場的能量達(dá)到一定程度后,擊穿其間介質(zhì)而進(jìn)行放電的現(xiàn)象就是靜電放電。
4.靜電敏感度:元器件所能承受的靜電放電電壓
5.靜電敏感器件:對靜電放電敏感的器件
6.接地 :電氣連接到能供給或接受大量電荷的物體,如大地,船等.
7中和: 利用異性電荷使靜電消失
8防靜電工作區(qū):配備各種防靜電設(shè)備和器材,能限制靜電電位,具有明確的區(qū)域界限和
專門標(biāo)記的適于從事靜電防護(hù)操作的工作場地
二、靜電的產(chǎn)生:
1.摩擦:在日常生活中,任何兩個不同材質(zhì)的物體接觸后再分離,即可產(chǎn)生靜電,而產(chǎn)生靜電的最普通
方法,就是摩擦生電。材料的絕緣性越好,越容易是使用摩擦生電。另外,任何兩種不同物質(zhì)
的物體接觸后再分離,也能產(chǎn)生靜電;。
2. 感應(yīng): 針對導(dǎo)電材料而言,因電子能在它的表面自由流動,如將其置于一電場中,由于同性相斥,異性相吸,正負(fù)離子就會轉(zhuǎn)移。
3. 傳導(dǎo):針對導(dǎo)電材料而言,因電子能在它的表面自由流動,如與帶電物體接觸,將發(fā)生電荷轉(zhuǎn)移。 |
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ESD三種型式
1. 人體型式即指當(dāng)人體活動時身體和衣服之間的摩擦產(chǎn)生摩擦電荷。當(dāng)人們手持ESD敏感的裝置而不先拽放電荷到地,摩擦電荷將會移向ESD敏感的裝置而造成損壞。
2.微電子器件帶電型式既指這些ESD敏感的裝置,尤其對朔料件,當(dāng)在自動化生產(chǎn)過程中,會產(chǎn)生摩擦電荷,而這些摩擦電荷通過低電阻的線路非常迅速地瀉放到高度導(dǎo)電的牢固接地表面,因此造成損壞;或者通過感應(yīng)使ESD敏感的裝置的金屬部分帶電而造成損壞。
3.場感類型式即有強(qiáng)電場圍繞,這可能來之于塑性材料或人的衣服,會發(fā)生電子轉(zhuǎn)化跨過氧化層。若電位差超過氧化層的介電常數(shù),側(cè)會產(chǎn)生電弧以破壞氧化層,其結(jié)果為短路。
4.其它還有:機(jī)器模式、場增強(qiáng)模型、人體金屬模型、電容耦合模型、懸浮器件模型。