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2. 溫濕度控制：設置恒溫恒濕系統(tǒng)，保持潔凈區(qū)內的溫度和濕度穩(wěn)定，以滿足半導體制造的要求。3. 靜電控制：采取合適的靜電消除措施，如使用靜電消除器、接地裝置等，以減少靜電對半導體器件的影響。
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換氣次數以及新風量大。在生產和制造電子產品時，通常會用到很多的化學物品，而且會產生非常多的廢氣，應當從室內排出。實踐中，為了能夠有效確保室內正壓以及衛(wèi)生條件達標，應當大量補充新風。空調冷負荷大而且濕負荷小，所以熱濕比近似無窮大。在電子行業(yè)領域，潔凈室因工藝設備生產過程中發(fā)熱量較大，工作人員通常會穿著密封的防塵服。工藝生產環(huán)境下，為了能夠有效減少發(fā)生靜電現象，應避免空氣過于干燥。由此設計過程中空調系統(tǒng)在處理室內回風時應該盡可能避免是減濕過程。
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新風機組空氣處理過程：新風經過初效過濾后進入表冷盤管，冷盤管降溫除濕將新風處理到潔凈室露點溫度后進入加熱盤管，然后進入次加熱盤管和加濕段，保證潔凈房空氣溫濕度恒定在設計要求范圍內，后由風機將處理的新風送到中效和送風段，經過風管將空氣送到潔凈室的天花頂的靜壓箱中，和潔凈室的回風混合，通過風機過濾段單元送到潔凈室內。
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