在使用真空爐進行油淬熱處理的過程中，在低真空的壓強下面，真空淬火油的冷卻能力下降，對于某些鋼來說，可能達不到淬火的目的。
為此，在使用真空爐淬火前需要向淬火室內充入高純的中性或惰性氣體，在油面上造成一定的壓強，就可以實現(xiàn)鋼的充分淬火并獲得光亮的表面。能夠獲得與在大氣壓下相同的淬火硬度的低液面壓強稱為臨界淬火壓強。臨界淬火壓強與真空淬火油的特性和鋼的淬硬性有關。
在使用真空爐對淬硬性較差的鋼進行淬火時，應該選用先充氣后入油的方式進行淬火。油面壓強應該高于臨界淬火壓強。一般調節(jié)在5×104Pa左右，但是不宜低于1.0×104Pa。對于中等淬硬性的鋼也應該采取先充氣后入油的方式進行淬火處理。油面的壓強可以調節(jié)在1.0×104Pa左右，但是不能低于5×103Pa。
淬硬性很好的鋼可以采取充氣或者不充氣的方式進行淬火，采取充氣的方式，可以在真空爐的加熱室先充氣后入油，也可以先入油后充氣。采取先充氣的方式時充氣壓強可在(2.5~5)×104Pa范圍內選定。
為了防止和減少蒸汽進入并污染馬弗爐的加熱室，應該選用較高的充氣壓強，所用的氣體應為高純的中性或惰性氣體。
在少無氧化熱處理技術的發(fā)展趨勢中，真空氣氛爐的發(fā)展迅猛。在目前少品種、大批量生產中，尤其是碳素鋼和一般合金結構鋼件的光亮淬火、退火、滲碳淬火、碳氮共滲淬火、氣體氮碳共滲仍以應用可控氣氛為主要手段。所以氣氛爐熱處理仍是先進熱處理技術的主要組成部分。
制備氣氛的氣源。我國在掌握和推廣可控氣氛過程中，在解決氣氛問題上走過了漫長的道路。早期的吸熱式氣氛發(fā)生爐主要用液化氣，即純度較高的丙烷或丁烷。近幾年已證實，我國的天然氣資源豐富，為用jia烷制備吸熱式氣氛創(chuàng)造了良好的條件。使用不用了生爐的直生式氣氛也是一條不容忽視的途徑。
真空氣氛爐加熱設備。密封多用爐和多用爐生產線自動化程度高，生產柔性大，適用性強，因而應用廣 。
購買真空氣氛爐必須首先確定其功率，同時應考慮其電熱效率和功率因數(shù)，確定功率的方法有兩種。
一種是熱平衡法，根據能量守恒定律，電阻真空氣氛爐消耗的總熱量等于電熱元件所發(fā)出的的總熱量，消耗的總熱量包括加熱金屬的有效熱，以及氣氛爐的各項熱損失，將總熱量換算為總功率，并考慮到電熱效率，再乘以功率儲備系數(shù)，這個系數(shù)估計到爐子生產率可能提高及熱損失可能增加等因素，功率儲備系數(shù)對于連續(xù)作業(yè)的氣氛爐，對間歇作業(yè)的氣氛爐另一種是經驗法，主要根據爐膛容積來確定爐子功率。
真空氣氛爐的底板、鉬加熱棒、爐保溫層等耐熱鋼構件每使用一段時間，應該進行清理，嚴禁敲擊，可小心清除其氧化皮。氧化鐵皮等雜質如不及時清除，就會熔融處與保溫層發(fā)生打火，使鉬絲熔化。
爐子升溫后，不能突然破壞真空系統(tǒng)，更不可打開爐門。注意充大氣進去前,應關閉真空計開關,防止真空計老化。當溫度高于400℃時，不得急劇冷卻。對于真空加熱元件在溫度高、真空度不好以及冷熱變化大情況下，容易引起氧化。對于鉬加熱爐，正常使用維護中注意應冷卻至200℃以下方可停送保護N2。80℃以下才能打開爐門。
冷卻系統(tǒng)是真空氣氛爐的重要部分。冷卻水路應保持暢透，否則水溫升高造成停機。這是氣氛爐工作時常披忽視的問題當無人管理時可能會導致高溫真空氣氛爐的重大毀壞。用生物分解化學方法處理冷卻水，目的是保持礦物質呈懸浮態(tài)，減少橡皮管、蛇形管和水套內沉淀物累積，以使水流暢通。這一般采用一種自動裝置來完成，它可以監(jiān)測水的導電性，自動補充化學劑，沖冼水路，添加新鮮水。