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發(fā)布時間：2024-07-02
真空泵的工作壓強應(yīng)該滿足真空設(shè)備的限真空及工作壓強要求。如：某真空干燥工藝要求10mmHg的工作真空度，選用的真空泵的限真空度至少要2mmHg，比較好能達到1mmHg。通常選擇泵的限真空度要高于真空設(shè)備工作真空度半個到一個數(shù)量級。正確地選擇真空泵的工作點，北京便攜真空泵。每種泵都有一定的工作壓強范圍，如：2BV系列水環(huán)真空泵工作壓強范圍760mmHg~25mmHg（絕壓），北京便攜真空泵，在這樣寬壓強范圍內(nèi)，泵的抽速隨壓強而變化（詳細變化情況參照泵的性能曲線），其穩(wěn)定的工作壓強范圍為760~60mmHg。因而，北京便攜真空泵，泵的工作點應(yīng)該選在這個范圍之內(nèi)較為適宜，而不能讓它在25~30mmHg下長期工作。爪形真空泵為多級串聯(lián)結(jié)構(gòu)，上級與下級之間均需安裝中壁形成內(nèi)部通道。北京便攜真空泵
目前，真空泵市場的年銷售額約20億美元，年增長率在7％左右。我國生產(chǎn)真空泵的廠家很多，全部真空泵的年銷售額大約在1、5億元左右(2015年)，單相當于美國Kinney公司一家真空泵的年銷售額。通過對真空泵市場的分析我們可以看出，各類真空泵的市場及應(yīng)用領(lǐng)域都在不斷變化和發(fā)展。我國真空泵制造業(yè)有著悠久的歷史和雄厚的基礎(chǔ)，國產(chǎn)真泵已經(jīng)在各個不同領(lǐng)域得到應(yīng)用并經(jīng)過驗證，有些泵還出口國外，得到國外用戶的認可并受到好評，應(yīng)該說我國真空泵制造業(yè)在國內(nèi)外市場仍然有著巨大的發(fā)展空間。北京便攜真空泵每次停機時要注意觀察螺桿真空泵是否快速返向轉(zhuǎn)動超過2秒鐘，如果是，請檢查單向閥是否出現(xiàn)故障。
噴射真空泵工作原理：蒸汽噴射真空泵有一定壓強的工作的真空泵設(shè)備，蒸汽通過拉瓦爾噴咀，減壓增速，蒸汽的勢能轉(zhuǎn)變?yōu)閯幽懿⒁猿羲賴娙牖旌鲜�，與被抽介質(zhì)混合，進行能量交換，混合后的氣體進入擴壓器，減速增壓，動通轉(zhuǎn)化為壓強能，為了減少后級泵的抽氣負荷，配置冷凝器，通過有一定溫差的兩種介質(zhì)對流，進行熱交換，達到冷凝高溫介質(zhì)目的，排到大氣壓。在壓縮循環(huán)過程中，熱傳遞到液環(huán)。為了使溫度保持在工作液的蒸發(fā)點以下，必須進行冷卻。通過連續(xù)不斷地向液環(huán)添加冷的工作液來達到冷卻的目的。添加的工作液量與經(jīng)過排放口與壓縮氣體混合物一起排放的工作液排放量相等。氣體混合物和工作液比較終經(jīng)過泵出口進行分離。
真空泵是比較主要的真空裝備、從產(chǎn)生真空原理上分為：容積式真空泵（如液環(huán)泵，螺桿泵，羅茨泵等）；動量傳遞式真空泵（如分子泵：噴射真空泵:擴散泵均屬于此類）；氣體捕集式真空泵（如鈦升華、鋯鋁合金吸氣泵、低溫泵濺射離子泵、熱蒸發(fā)鈦升華泵等）利用高速旋轉(zhuǎn)的葉片或高速射流，把動量傳輸給被抽氣體或氣體分子，使氣體不斷地從入口傳輸?shù)匠隹诘恼婵毡�。分子真空泵（分子泵）�?913年德國人蓋德（W. Gaede）發(fā)明的，之后他又以氣體的外摩擦作用為分子泵奠定了理論基礎(chǔ)。一利用了氣體的外摩擦輸運現(xiàn)象，也就是分子牽引力，所以稱為牽引分子泵。真空泵換油時應(yīng)將泵體內(nèi)使用過的油品排盡。
低溫吸附泵：利用低溫表面上的吸附劑和打在其上的氣體分子發(fā)生吸附以達到抽氣作用的泵。按吸附劑不同，分為三類：1.非金屬吸氣劑：活性炭、分子篩等位吸附劑，2.金屬吸附劑：以蒸發(fā)或升華在冷表面上的鈦、鋯、鉬等金屬或合金作為吸氣劑，3.氣體霜的捕集吸氣：以CO2、水蒸氣等易冷凝的氣體在低溫表面上成霜作為吸附劑，這些氣體成霜的同時，將不易冷凝的氣體一起埋葬或吸附抽除，低溫泵抽混合氣體比單一氣體效果好，實際使用的是將冷凝和吸附結(jié)合，構(gòu)成冷凝吸附泵而獲得高真空。水環(huán)真空泵，開泵前要進行手動盤車。北京便攜真空泵
螺桿真空泵對裝配人員要求相對較低，設(shè)備運行更穩(wěn)定，檢修更方便。北京便攜真空泵
分子泵在國外半導(dǎo)體領(lǐng)域里的許多工藝場合是用來代替低溫泵，尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都彩 復(fù)合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對水蒸氣的抽速單為同口徑低溫泵抽速的四分之一，所以分子泵的排氣時間比低溫泵長。為了提高抽速，國外在分子泵的入口側(cè)裝一個-130℃～-150℃的低溫冷板，稱之為低溫分子泵，水蒸汽被低溫板捕獲，其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應(yīng)用，既提高了生產(chǎn)效率又改善了膜層質(zhì)量。隨著我國半導(dǎo)體工業(yè)、薄膜產(chǎn)業(yè)和科學研究事業(yè)迅速發(fā)展，分子泵應(yīng)該是我國真空泵制造業(yè)發(fā)展的重點。先，分子泵要從小到大建立完整系列，并研究開發(fā)各種復(fù)合分子泵、牽引泵和低溫分子泵，以滿足不同場合的需要。北京便攜真空泵
