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發(fā)布時(shí)間:2024-07-16
往復(fù)泵的結(jié)構(gòu)主要部件有氣缸及在其中做往復(fù)直線運(yùn)動(dòng)的活塞,活塞的驅(qū)動(dòng)是用曲柄連桿機(jī)構(gòu)來完成的。除上述主要部件外還有排氣閥和吸氣閥等重要部件,以及機(jī)座、曲軸箱、動(dòng)密封和靜密封等輔助部件。運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí),在電動(dòng)機(jī)的驅(qū)動(dòng)下,通過曲柄連桿機(jī)構(gòu)的作用,使氣缸內(nèi)的活塞做往復(fù)運(yùn)動(dòng)。當(dāng)活塞在氣缸內(nèi)從左端向右端運(yùn)動(dòng)時(shí),由于氣缸的左腔體積不斷增大,氣缸內(nèi)氣體的密度減小,泰州電子用真空泵好用嗎,而形成抽氣過程,泰州電子用真空泵好用嗎,此時(shí)被抽容器中的氣體經(jīng)過吸氣閥5進(jìn)入泵體左腔。當(dāng)活塞達(dá)到比較右位置時(shí),氣缸左腔內(nèi)就完全充滿了氣體,泰州電子用真空泵好用嗎。接著活塞從右端向左端運(yùn)動(dòng),此時(shí)吸氣閥關(guān)閉。油擴(kuò)散泵的比較大出口壓強(qiáng)取決于比較后*噴嘴的工作狀態(tài)。泰州電子用真空泵好用嗎
真空泵的工作壓強(qiáng)應(yīng)該滿足真空設(shè)備的限真空及工作壓強(qiáng)要求。如:某真空干燥工藝要求10mmHg的工作真空度,選用的真空泵的限真空度至少要2mmHg,比較好能達(dá)到1mmHg。通常選擇泵的限真空度要高于真空設(shè)備工作真空度半個(gè)到一個(gè)數(shù)量級(jí)。正確地選擇真空泵的工作點(diǎn)。每種泵都有一定的工作壓強(qiáng)范圍,如:2BV系列水環(huán)真空泵工作壓強(qiáng)范圍760mmHg~25mmHg(絕壓),在這樣寬壓強(qiáng)范圍內(nèi),泵的抽速隨壓強(qiáng)而變化(詳細(xì)變化情況參照泵的性能曲線),其穩(wěn)定的工作壓強(qiáng)范圍為760~60mmHg。因而,泵的工作點(diǎn)應(yīng)該選在這個(gè)范圍之內(nèi)較為適宜,而不能讓它在25~30mmHg下長(zhǎng)期工作。濟(jì)南食品真空泵真空泵的限壓力應(yīng)該滿足該工藝的工作壓力。
半導(dǎo)體及電子行業(yè)接觸的真空一般指的是氣壓比一標(biāo)準(zhǔn)大氣壓小的氣體空間,是指稀薄的氣體狀態(tài),又可分為高真空、高真空、中真空和低真空。真空一般是用特制的抽氣機(jī)獲得,它的氣體稀薄程度用真空計(jì)測(cè)定,現(xiàn)在已能用分子抽氣機(jī)和擴(kuò)散抽氣機(jī)得到1*10-14pa大氣壓的高真空。真空技術(shù)在芯片制造,太陽能電池片制造,光學(xué)膜制造、電真空儀器,電子管和其他電子儀器方面均有普遍應(yīng)用。普通真空泵,壓強(qiáng)可達(dá)到1.333~100kPa(10~760mmHg)為“粗”真空; 油泵,壓強(qiáng)可達(dá)0.133~133.3Pa(0.001~1mmHg)為“次高”真空 ;擴(kuò)散泵,壓強(qiáng)可達(dá)0.133Pa以下,(10-3mmHg)為“高”真空。
國(guó)外干泵市場(chǎng)的不斷增長(zhǎng),其主要驅(qū)動(dòng)來自于半導(dǎo)體行業(yè)、化學(xué)工業(yè)、薄膜產(chǎn)業(yè)的迅速發(fā)展。在日本,半導(dǎo)體行業(yè)已全部用干式真空泵代替油封式機(jī)械泵,歐美半導(dǎo)體行業(yè)45%以上用干式真空泵代替了油封式機(jī)械泵,很好地提高了產(chǎn)品的性能和質(zhì)量。為了滿足不同應(yīng)用領(lǐng)域和不同工況的要求,國(guó)外有多級(jí)羅茨真空泵、多級(jí)爪式真空泵、螺桿式真空泵、渦旋式真空泵、往復(fù)式活塞真空泵以及渦輪式無油真空泵等。限壓力從10Pa~10-2Pa,抽速從20m3/h~500m3/h。據(jù)統(tǒng)計(jì),目前國(guó)產(chǎn)干泵的應(yīng)用還不足1%,國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體工業(yè)用的干泵全部從國(guó)外進(jìn)口,其價(jià)格十分昂貴。所以,我國(guó)應(yīng)大力研究開發(fā)干泵,使干泵成為我國(guó)真空工業(yè)新的經(jīng)濟(jì)增長(zhǎng)點(diǎn)。水環(huán)真空泵的排氣管路不能安裝閥門,以免誤操作讓泵出口帶壓運(yùn)行。
綜上所述,水環(huán)泵是靠泵腔容積的變化來實(shí)現(xiàn)吸氣、壓縮和排氣的,因此它屬于變?nèi)菔秸婵毡。水環(huán)真空泵由于用水或其它液體做工作液,所以其抽氣性能及真空度受工作液的溫度影響較大,如果工作液的溫度較高,真空泵的入口真空度達(dá)到液體的飽和蒸汽壓,水(液)環(huán)真空泵便會(huì)產(chǎn)生氣蝕現(xiàn)象,氣蝕的存在對(duì)泵的壽命損害比較大,主要表現(xiàn)為葉輪葉片的根部及排氣圓盤的排氣口附近,有規(guī)則的氣蝕沖擊孔。為了避免氣蝕的產(chǎn)生,可以降低工作液的溫度,或者降低真空泵的使用真空度,限壓力為3300~5000Pa之間。真空泵換油時(shí)應(yīng)將泵體內(nèi)使用過的油品排盡。鹽城電子真空泵費(fèi)用
真空泵工作時(shí)產(chǎn)生的振動(dòng)對(duì)工藝過程及環(huán)境有無影響?泰州電子用真空泵好用嗎
在泵體中裝有適量的水作為工作液。當(dāng)葉輪按順時(shí)針旋轉(zhuǎn)時(shí),水被葉輪拋向四周,由于離心力的作用,水形成了一個(gè)決定于泵腔形狀的近似于等厚度的封閉圓環(huán)。水環(huán)的上部分內(nèi)表面恰好與葉輪輪轂相切,水環(huán)的下部?jī)?nèi)表面剛好與葉片頂端接觸(實(shí)際上葉片在水環(huán)內(nèi)有一定的插入深度)。此時(shí)葉輪輪轂與水環(huán)之間形成一個(gè)月牙形空間,而這一空間又被葉輪分成葉片數(shù)目相等的若干個(gè)小腔。如果以葉輪的上部0°為起點(diǎn),那么葉輪在旋轉(zhuǎn)前180°時(shí)小腔的容積由小變大,且與端面上的吸氣口相通,此時(shí)氣體被吸入,當(dāng)吸氣終了時(shí)小腔則與吸氣口隔絕;當(dāng)葉輪繼續(xù)旋轉(zhuǎn)時(shí),小腔由大變小,使氣體被壓縮;當(dāng)小腔與排氣口相通時(shí),氣體便被排出泵外。泰州電子用真空泵好用嗎