供貨總量：999臺(tái)
發(fā)貨地點(diǎn)：河南省鄭州市
發(fā)布時(shí)間：2024-06-07
質(zhì)量流量計(jì)外置式氣體配比器KT-C4ZS按比例混合氣體,為真空管式爐或手套箱營(yíng)造特定要求的氣氛環(huán)境. 控制方式采用集成化模塊控制 功能延伸性強(qiáng) 根據(jù)客戶要求隨意添加
該氣體配比器可以外接兩種或多種氣體,采用質(zhì)子型流量計(jì),氣路管道采用316拋光管制作耐腐蝕性強(qiáng).氣路接頭采用全不銹鋼雙卡套快速接頭,方便連接且不易泄漏。
配置1質(zhì)量流量
2單向閥單向出氣
3觸摸屏控制，5段可編程序（時(shí)間-流量隨意設(shè)置定值）
4采用316金屬管道耐腐蝕性強(qiáng)
用途1半導(dǎo)體制造行業(yè)中氣體流量控制
2各種真空鍍膜設(shè)備
3特種材料表面處理
5混合配氣系統(tǒng)
6環(huán)境監(jiān)測(cè)與分析設(shè)備
產(chǎn)品型號(hào) | KT-PCS4Z | KT-C4ZS | |||
氣體通道 | 4進(jìn)1出 | 4進(jìn)1出 | |||
可根據(jù)需求定制 | |||||
產(chǎn)品類型 | 高精度型/快速響應(yīng)型/智能控制/觸摸屏控制 | ||||
可選量程 | 20sccm-30slm(氣體量程根據(jù)客戶需要可選) | ||||
產(chǎn)品精度 | 高精度型±1％F.S | 普通型±1％F.S | |||
重復(fù)精度 | 高精度型±0.2% F.S | 普通型±0.2% F.S | |||
線性 | 高精度型±0.5% F.S. | 普通型±1% F.S. | |||
響應(yīng)時(shí)間 | 高精度型≤2sec | 普通型≤4sec | |||
工作溫度范圍 | (5~45)°C | ||||
供電電源 | ~85-265VAC 50/60Hz | ||||
功耗 | 40W | ||||
進(jìn)氣口壓 | ≤0.6MPa | ||||
連接管道 | 316不銹鋼管道 | ||||
截止閥類型 | 電磁閥 | ||||
單向閥開(kāi)啟壓力 | 0.02Mpa | ||||
壓力顯示量程 | 0-0.6Mpa | ||||
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