不銹鋼硅烷燃燒廢氣凈化塔
一、產(chǎn)品概述
我公司生產(chǎn)的不銹鋼硅烷燃燒廢氣凈化塔是處理硅烷、氨氣及其他堿性可溶性氣體的廢氣凈化設(shè)備，主要用于處理太陽能電池生產(chǎn)線行業(yè)以及PECVD化學(xué)氣相沉淀工藝所產(chǎn)生的廢氣。
二、適用范圍
我公司生產(chǎn)的硅烷廢氣凈化塔，主要用于單晶硅、多晶硅行業(yè)生產(chǎn)中產(chǎn)生的硅烷尾氣凈化。該設(shè)備的成功應(yīng)用，主要是我公司技術(shù)人員對(duì)國外半導(dǎo)體行業(yè)凈化硅烷尾氣技術(shù)方面的消化吸收，來滿足國內(nèi)太陽能、光能行業(yè)，半導(dǎo)體行業(yè)及CVD化學(xué)氣體沉積工藝中產(chǎn)生的硅烷氣體凈化,有圓形和方形可選。
三、設(shè)備組成
本產(chǎn)品在結(jié)構(gòu)上主要由不銹鋼殼體、燃燒系統(tǒng)、洗滌系統(tǒng)和清渣系統(tǒng)組成。
在進(jìn)氣方便采用壓縮空氣加新風(fēng)進(jìn)氣口雙進(jìn)風(fēng)形式，提高產(chǎn)品運(yùn)行效率和可靠性。在噴淋系統(tǒng)方面，采用循環(huán)水泵與自動(dòng)補(bǔ)水相結(jié)合的方法，風(fēng)機(jī)采用一用一備形式，這些工藝特點(diǎn)使得本產(chǎn)品在安全可靠性方面得到極大保證。
內(nèi)部燃燒室采用特殊的泄壓裝置，即使在內(nèi)部壓力突然增大的情況下仍能正常工作，同時(shí)配備了氮?dú)馊肟�，更加大了設(shè)備的安全性。
在粉塵收集方面采用靜壓沉積的方法，沉積下來的粉塵通過排渣口排出，這使粉塵收集處理變得更容易、更有效。經(jīng)權(quán)威部門檢測(cè)，客戶單位硅烷（SiH4）去除率≥99.99％，氨氣（Nspan）以及其他水溶性的凈化率高達(dá)99.99％。
四、工作原理
本產(chǎn)品采用不銹鋼板進(jìn)行制造，根據(jù)硅烷與空氣接觸而自然的特點(diǎn)，使硅烷在燃燒室與空氣接觸燃燒，燃燒后的氣體穿過填料層再進(jìn)入廢氣凈化塔噴淋室，經(jīng)過噴淋處理，使廢氣與中和循環(huán)液接觸反應(yīng)，然后進(jìn)入脫液器處理后由抽風(fēng)機(jī)排入大氣。
五、選型及技術(shù)參數(shù)
六、注意事項(xiàng)
1 、設(shè)備安裝結(jié)束后，在試車之前必須先清除塔內(nèi)污物。
2 、加注中和液至所需范圍。
3 、開水泵運(yùn)行，檢查是否正常運(yùn)轉(zhuǎn)，檢查壓力表是否正常。
4 、開風(fēng)機(jī)運(yùn)行，檢查運(yùn)轉(zhuǎn)是否正常。
5 、 CWJ 廢氣凈化塔為負(fù)壓運(yùn)行，如果負(fù)壓過大則打開新風(fēng)閥進(jìn)行調(diào)節(jié)。
6 、整個(gè)系統(tǒng)的風(fēng)量通過廢氣凈化塔出口管道上的調(diào)節(jié)閥進(jìn)行調(diào)節(jié)。
7 、每天必須檢查儲(chǔ)液箱中的液位，不低于溢流口為正常。
8 、如果水泵-1 損壞需立即打開應(yīng)急補(bǔ)水閥進(jìn)行噴淋處理。
七、客戶現(xiàn)場(chǎng)案例
宜興歐凱環(huán)境工程有限公司從事酸霧吸收塔,廢氣吸收塔,反滲透設(shè)備，地埋式污水處理設(shè)備、機(jī)械格柵等的設(shè)計(jì)與制造，是一家集污水處理設(shè)備、廢氣處理設(shè)備研發(fā)與制造為一體的的環(huán)�？萍夹推髽I(yè)。長(zhǎng)期以來，歐凱環(huán)保始終致力于廢水、廢氣處理設(shè)備及其它相關(guān)產(chǎn)品的開發(fā)應(yīng)用，以豐富的產(chǎn)品線，設(shè)計(jì)、制造和安裝了從單臺(tái)地埋式污水處理設(shè)備，到包含全自動(dòng)污水處理系統(tǒng)、廢氣處理系統(tǒng)在內(nèi)的大型環(huán)保系統(tǒng)配套工程，涉及眾多行業(yè)，足跡遍及*和海外。
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