靶材主要用于生成太陽能薄膜電池的背電極,晶體硅太陽能電池較少用到濺射靶材。太陽能電池主要包括晶體硅太陽能電池和薄膜太陽能電池,晶體硅太陽能電池轉(zhuǎn)化效率較高、性能穩(wěn)定,且各個產(chǎn)業(yè)環(huán)節(jié)比較成熟,占據(jù)了太陽能電池市場的主導(dǎo)地位。而晶體硅太陽能電池按照生產(chǎn)工藝不同可分為硅片涂覆型太陽能電池以及PVD工藝高轉(zhuǎn)化率硅片太陽能電池,其中硅片涂覆型太陽能電池的生產(chǎn)不使用濺射靶材,目前靶材主要用于太陽能薄膜電池領(lǐng)域。靶材濺射鍍膜形成的太陽能薄膜電池的背電級主要有三個用途:一,它是各單體電池的負(fù)極;二,它是各自電池串聯(lián)的導(dǎo)電通道;三,它可以增加太陽能電池對光的反射。太陽能薄膜電池用濺射靶材主要為方形板狀,對純度要求沒有半導(dǎo)體芯片用靶材要求高,一般在99.99%以上。目前制備太陽能電池較為常用的濺射靶材包括鋁靶、銅靶,陜西氧化物陶瓷靶材推薦廠家、鉬靶,陜西氧化物陶瓷靶材推薦廠家、鉻靶以及ITO靶、AZO靶(氧化鋁鋅)等。其中鋁靶、銅靶用于導(dǎo)電層薄膜,鉬靶、鉻靶用于阻擋層薄膜,ITO靶、AZO靶用于透明導(dǎo)電層薄膜,陜西氧化物陶瓷靶材推薦廠家。超大規(guī)模集成電路制造過程中要反復(fù)用到的濺射工藝屬于PVD技術(shù)的一種,是制備電子薄膜材料的主要技術(shù)之一。陜西氧化物陶瓷靶材推薦廠家
氧化鋁薄膜是一種重要的功能薄膜材料,由于具有較高的介電常數(shù)、高熱導(dǎo)率、抗輻照損傷能力強、抗堿離子滲透能力強以及在很寬的波長范圍內(nèi)透明等諸多優(yōu)異的物理、化學(xué)性能,使其在微電子器件、電致發(fā)光器件、光波導(dǎo)器件以及抗腐蝕涂層等眾多領(lǐng)域有著廣的應(yīng)用。磁控濺射具有濺射鍍膜速度快,膜層致密,附著性好等特點,很適合于大批量,高效率工業(yè)生產(chǎn)等明顯優(yōu)點應(yīng)用日趨廣,成為工業(yè)鍍膜生產(chǎn)中主要的技術(shù)之一。濺射鍍膜的原理是稀薄氣體在異常輝光放電產(chǎn)生的等離子體在電場的作用下,對陰極靶材表面進(jìn)行轟擊,把靶材表面的分子、原子、離子及電子等濺射出來,被濺射出來的粒子帶有一定的動能,沿一定的方向射向基體表面,在基體表面形成鍍層。用這種技術(shù)制備氧化鋁膜時一般都以純鋁為靶材,濺射用的惰性氣體通常選擇氬氣(Ar),因為它的濺射率比較高。用氬離子轟擊鋁靶并通入氧氣,濺射出的鋁離子和電離得到的氧離子沉積到基片上從而得到氧化鋁膜。按磁控濺射中使用的離子源不同,磁控濺射方法有以下幾種:①直流反應(yīng)磁控濺射;②脈沖磁控濺射;③射頻磁控濺射;④微波-ECR等離子體增強磁控濺射;⑤交流反應(yīng)磁控濺射等。陜西氧化物陶瓷靶材推薦廠家磁控濺射的工作原理簡單說就是利用磁場與電場交互作用。
超大規(guī)模集成電路制造過程中要反復(fù)用到的濺射(Sputtering)工藝屬于PVD技術(shù)的一種,是制備電子薄膜材料的主要技術(shù)之一,它利用離子源產(chǎn)生的離子,在高真空中經(jīng)過加速聚集,而形成高速度能的離子束流,轟擊固體表面,離子和固體表面原子發(fā)生動能交換,使固體表面的原子離開固體并沉積在基底表面,被轟擊的固體是用濺射法沉積薄膜的原材料,稱為濺射靶材。一般來說,濺射靶材主要由靶坯、背板等部分構(gòu)成,其中,靶坯是高速離子束流轟擊的目標(biāo)材料,屬于濺射靶材的主要部分,在濺射鍍膜過程中,靶坯被離子撞擊后,其表面原子被濺射飛散出來并沉積于基板上制成電子薄膜;由于高純度金屬強度較低,而濺射靶材需要安裝在特定的機臺內(nèi)完成濺射過程,機臺內(nèi)部為高電壓、高真空環(huán)境,因此,超高純金屬的濺射靶坯需要與背板通過不同的焊接工藝進(jìn)行接合,背板起到主要起到固定濺射靶材的作用,且需要具備良好的導(dǎo)電、導(dǎo)熱性能。
ITO陶瓷靶材在磁控濺射過程中,靶材表面受到Ar轟擊和被濺射原子再沉積的多重作用而發(fā)生復(fù)雜的物理化學(xué)變化,ITO靶材表面會產(chǎn)生許多小的結(jié)瘤,這個現(xiàn)象被稱為ITO靶材的毒化現(xiàn)象。靶材結(jié)瘤毒化后.靶材的濺射速率降低,孤光放電頻率增加,所制備的薄膜電阻增加,透光率降低且均一性變差,此時必須停止濺射,清理靶材表面或更換靶材,這嚴(yán)重降低濺射鍍膜效率。目前對于結(jié)瘤形成機理尚未有統(tǒng)一定論,如孔偉華研究了不同密度ITO陶瓷材磁控射后的表面形貌,認(rèn)為結(jié)瘤是In2O3、分解所致,導(dǎo)電導(dǎo)熱性能不好的In2O3又成為熱量聚集的中心,使結(jié)瘤進(jìn)一步發(fā)展;姚吉升等研究了結(jié)瘤物相組成及化學(xué)組分,認(rèn)為結(jié)瘤是偏離了化學(xué)計量的ITO材料在靶材表面再沉積的結(jié)果;Nakashima等采用In2O3和SnO2,的混合粉末制備ITO靶材,研究了SnO2,分布狀態(tài)對靶材表面結(jié)瘤形成速率的影響,認(rèn)為低濺射速率的SnO2,在ITO靶材中的不均勻分布是結(jié)瘤的主要原因。盡管結(jié)瘤機理尚不明確,但毋庸置疑的是,結(jié)瘤的產(chǎn)生嚴(yán)重影響ITO陶瓷靶材的濺射性能,因此,對結(jié)瘤的形成機理進(jìn)行深入研究具有重要意義。陶瓷靶材的制備工藝難點;
如何制成良好的陶瓷靶材也是需要注意的地方。1.成型方法:為了減少陶瓷靶材的氣孔,提高薄膜性能,要求濺射陶瓷靶材具有高密度、低氣孔率、高密度意味著陶瓷體內(nèi)晶粒排列緊密,在承受外界載荷或腐蝕性物質(zhì)侵蝕的時候不易形成破壞性的突破點。而要得到鈣質(zhì)密度的陶瓷胚體,成型方法是關(guān)鍵。陶瓷靶材的成型一般采用干壓、等靜壓、熱壓鑄等方法。不同的方法具有不同的特點。2.原料粒度:原料粉粒度對陶瓷靶材形成的薄膜質(zhì)量有很大的影響,只有原料足夠細(xì),燒制成品才有可能形成微結(jié)構(gòu),使他具有很好的耐磨性。粉料顆粒越細(xì),活性也越大,可促進(jìn)燒結(jié),制成的瓷強度也越高,小顆粒還可以分散由于剛玉和玻璃相線膨脹系數(shù)不同在晶界處造成的應(yīng)力集中,減少開裂的危險性,細(xì)的晶粒還能妨礙微裂紋的發(fā)展,不易在成穿晶斷裂,有利于提高斷裂韌性,還可以提高耐磨性。3.燒結(jié):陶瓷的燒結(jié),簡單的講就是陶瓷生坯在高溫下的致密化過程。隨著溫度的上升和時間的延長,粉末顆粒之間發(fā)生粘結(jié),燒結(jié)體的強度增加,把粉末顆粒的聚集體變?yōu)閳詮姷木哂心撤N顯微結(jié)構(gòu)的多晶燒結(jié)體,并獲得所需的物理,機械性能的制品或材料。樣品的致密化速率、結(jié)構(gòu)往往也反應(yīng)了它經(jīng)歷過什么樣的熱處理過程。 ITO在薄膜太陽能電池中的作用是一種透明導(dǎo)電層,在電池中作為透光層主要用于生成太陽能薄膜電池的背電極。北京智能玻璃陶瓷靶材咨詢報價
鋁靶、銅靶用于導(dǎo)電層薄膜,鉬靶、鉻靶用于阻擋層薄膜,ITO靶、AZO靶用于透明導(dǎo)電層薄膜。陜西氧化物陶瓷靶材推薦廠家
氧化鋅(ZnO)屬于第三代半導(dǎo)體材料,室溫下禁帶寬度約為3.37eV,其激子束縛能高達(dá)60mev,比室溫?zé)犭x化能(26mev)大得多。第三代半導(dǎo)體材料是指寬禁帶半導(dǎo)體材料,它們的發(fā)光波長短(近紫外),具有耐高溫、抗輻照、制備方法多、毒性小等特點。自1997 年發(fā)現(xiàn)ZnO薄膜的室溫紫外光發(fā)射以來,ZnO薄膜的制備技術(shù)及其光電特性成為人們研究的熱點。ZnO薄膜可以在低于500C的溫度下生長,比ZnSe和GaN的生長溫度低得多。ZnO作為一種新型的光電材料在光波導(dǎo)、半導(dǎo)體紫外激光器、發(fā)光器件,透明電極等方面應(yīng)用大面積。Zno 也是一種十分有用的壓電薄膜材料,高質(zhì)量的單晶或c軸擇優(yōu)取向的多晶ZnO薄膜具有良好的壓電性質(zhì),能夠用來制備高頻纖維聲光器件及聲光調(diào)制器等壓電轉(zhuǎn)換器,在光電通信領(lǐng)域得到大面積的應(yīng)用。陜西氧化物陶瓷靶材推薦廠家
迪納科材料,2011-07-22正式啟動,成立了濺射靶材,陶瓷靶材,金屬靶材,等離子噴涂靶材等幾大市場布局,應(yīng)對行業(yè)變化,順應(yīng)市場趨勢發(fā)展,在創(chuàng)新中尋求突破,進(jìn)而提升迪納科,迪丞,東玖,靶材的市場競爭力,把握市場機遇,推動電子元器件產(chǎn)業(yè)的進(jìn)步。迪納科材料經(jīng)營業(yè)績遍布國內(nèi)諸多地區(qū)地區(qū),業(yè)務(wù)布局涵蓋濺射靶材,陶瓷靶材,金屬靶材,等離子噴涂靶材等板塊。我們強化內(nèi)部資源整合與業(yè)務(wù)協(xié)同,致力于濺射靶材,陶瓷靶材,金屬靶材,等離子噴涂靶材等實現(xiàn)一體化,建立了成熟的濺射靶材,陶瓷靶材,金屬靶材,等離子噴涂靶材運營及風(fēng)險管理體系,累積了豐富的電子元器件行業(yè)管理經(jīng)驗,擁有一大批專業(yè)人才。公司坐落于南京市江寧區(qū)芳園西路10號九龍湖國際企業(yè)園創(chuàng)新中心A座8層,業(yè)務(wù)覆蓋于全國多個省市和地區(qū)。持續(xù)多年業(yè)務(wù)創(chuàng)收,進(jìn)一步為當(dāng)?shù)亟?jīng)濟(jì)、社會協(xié)調(diào)發(fā)展做出了貢獻(xiàn)。