高精密儀器隔振臺應(yīng)用

TS主動隔振臺在3D空間的6個自由度中主動式隔振從0.7Hz到100Hz在21世紀(jì)納米技術(shù)(即先進(jìn)的半導(dǎo)體帶表相關(guān)的信息技術(shù),基因療法等生命科學(xué)相關(guān)技術(shù),原子或分子處理如MEMS和工程技術(shù)等新材料生產(chǎn)),振動、噪聲、電磁領(lǐng)域、熱、濕度、干擾等是測量環(huán)境的抑制因素。在納米技術(shù)中，為了獲得可靠的結(jié)果，使用充氣被動隔振臺無法隔離低頻振動，此時需要主動隔離。先進(jìn)的主動式隔振系統(tǒng)“TS系列”將作為21世紀(jì)納米技術(shù)的隔振技術(shù)基礎(chǔ)。它將有助于發(fā)展目前的技術(shù)和測量、創(chuàng)新和發(fā)展未知的技術(shù)。裝載設(shè)備：掃描電子顯微鏡，如AFM3D表面分析儀，激光顯微鏡，激光干涉儀，液體表面張力測量系統(tǒng)，顯微硬度測量儀，醫(yī)療檢測設(shè)備等。先進(jìn)的主動式隔振系統(tǒng)“TS 系列” 將作為21世紀(jì)納米技術(shù)的隔振技術(shù)基礎(chǔ)。高精密儀器隔振臺應(yīng)用

TS-150支撐面測試:盡管這些系統(tǒng)幾乎可以在任何支撐面上運(yùn)行，但采用軟支撐結(jié)構(gòu)共振放大某些建筑物的振動頻率，因此這些振動頻率會降低隔離的。您可以通過觀察診斷信號來了解支持結(jié)構(gòu)的適用性同時推動支持。此測試應(yīng)禁用隔離。如果支撐是剛性的信號幾乎不應(yīng)響應(yīng)任何方向?qū)χ蔚耐苿印，F(xiàn)在嘗試點(diǎn)擊支持激發(fā)其內(nèi)部共鳴。通常，支架會對水平隆頭產(chǎn)生更強(qiáng)烈的反應(yīng)而不是垂直的。一個非常共振的支撐將顯示長壽命的共振，并且隔離將在這些頻率上受到嚴(yán)重影響。更好的支撐將顯示出良好的阻尼共振。TS-150/LP隔振臺質(zhì)保期多久該表在支持靈敏實(shí)驗(yàn)（例如膜片鉗，顯微注射或用于測量Langmuir-Blodgett膜的液體的槽）方面非常成功。

TS特點(diǎn)：◎在全部的6個自由度范圍內(nèi)，從0.7Hz到100Hz，TS系列產(chǎn)品提供優(yōu)良的主動隔振性能。◎當(dāng)儀器裝載時，高度調(diào)整會自動進(jìn)行?！蚣词巩?dāng)負(fù)載偏離中心時，自動調(diào)平功能也能保持水準(zhǔn)。當(dāng)高重心的儀器被加載時，給予穩(wěn)定性。◎通過按下前方的按鈕，系統(tǒng)可以鎖定或者解鎖。鎖定功能可以防止在系統(tǒng)重新加載或傳輸中發(fā)生損壞。◎前方的顯示屏展示了在X,Y和Z方向的實(shí)際振動水平?！蛑鲃痈粽褚部梢酝ㄟ^使用可選的遠(yuǎn)程控制箱來從外部啟用或禁用

TS-150TS-150結(jié)合了久經(jīng)考驗(yàn)的技術(shù)特點(diǎn)和優(yōu)雅且用戶友好的設(shè)計(jì)TS150的隔離頻率始于0.7Hz，超過10Hz時迅速增加至40db缺少低頻諧振意味著比大多數(shù)常見的被動空氣阻尼方法要好得多TS系統(tǒng)的固有剛度賦予其出色的方向和位置穩(wěn)定性TS150的出色性能包括所有水平和垂直共計(jì)六個方向的震動隔離模式精確的獨(dú)力于載荷的自動高度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)即使在載荷發(fā)生重大變化后也能將頂板穩(wěn)定在蕞佳工作水平遙控器允許在外部將隔離開關(guān)“打開”和“關(guān)閉”頻率：0,7-1000Hz負(fù)載范圍：0-150公斤尺寸：400x450x78.5毫米TS-150結(jié)合了久經(jīng)考驗(yàn)的技術(shù)卓悅性和優(yōu)雅且用戶友好的設(shè)計(jì)。TS150的隔離頻率始于0.7Hz，超過10Hz時迅速增加至40db缺少低頻諧振意味著比大多數(shù)常見的被動空氣阻尼方法要好得多。TS系統(tǒng)的固有剛度賦予其出色的方向和位置穩(wěn)定性。TS150的出色性能包括所有六個平移和旋轉(zhuǎn)振動模式精確的獨(dú)力于載荷的自動高度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)即使在載荷發(fā)生重大變化后也能將頂板穩(wěn)定在蕞佳工作水平。遙控器允許在外部將隔離開關(guān)“打開”和“關(guān)閉”用戶友好，實(shí)用的操作優(yōu)勢是創(chuàng)新建筑理念的結(jié)果。TS-150的高度瑾為78.5毫米TS-150的重量瑾為17.5千克在過去的40年，HERZ發(fā)展成為被動式隔振設(shè)備的領(lǐng)頭供應(yīng)商 ，并在此領(lǐng)域積累了豐富的經(jīng)驗(yàn)。

支撐面測試在系統(tǒng)運(yùn)行時，推動支撐表面。燈不亮，除了可能會大力推動。如果可以輕松使燈點(diǎn)亮，則支撐表面剛度不足以獲得充分的性能。確定支撐表面是否起反應(yīng)對水平或垂直力施加更大的作用，并嘗試適當(dāng)?shù)厥菇Y(jié)構(gòu)變硬。請注意，該系統(tǒng)將在任何支撐表面上運(yùn)行，但會產(chǎn)生共振的柔軟結(jié)構(gòu)放大某些建筑物的振動頻率，因此這些振動頻率會降低隔離的。桌面選擇桌面必須足夠堅(jiān)硬，以防止兩個隔離單元相對旋轉(zhuǎn)他們的長橫軸。蜂窩面包板或30mm厚的鋁板會產(chǎn)生蕞好的結(jié)果，但是可以使用石板甚至是實(shí)心木板。對于的位置固定孔，請參閱本文檔末尾的鉆孔計(jì)劃。注意，也可以將隔離單元直接連接到支持的設(shè)備上。在這堅(jiān)固的安裝是絕隊(duì)必要的。我們很樂意為您提供蕞佳安裝建議方法。AVI 400-XL的基本配置包括兩個緊湊型隔振模塊和一個控制單元，蕞大負(fù)載為800公斤。歐洲隔振臺超快激光系統(tǒng)防震臺應(yīng)用

LFS和AVI元件所在的支承面必須盡可能堅(jiān)硬，以便在附近移動時不會明顯傾斜。高精密儀器隔振臺應(yīng)用

所有控制電路都內(nèi)置在該單元鐘功耗小于2.5W。該設(shè)備具有通用輸入，可以連接到100至240VAC的任何交流電源。優(yōu)化設(shè)計(jì)以實(shí)現(xiàn)對諸如掃描探針顯微鏡（AFM，STM），干涉儀和其他高分辨率儀器，從而使這些儀器能夠達(dá)到蕞終的性能。事實(shí)證明，該表在支持靈敏實(shí)驗(yàn)（例如膜片鉗，顯微注射或用于測量Langmuir-Blodgett膜的液體的槽）方面非常成功。技術(shù)指標(biāo)：頻率：1.2-300赫茲負(fù)載范圍：0-40公斤尺寸圖300x300x70毫米（長x寬x高）11.8x11.8x2.75英寸隔離：動態(tài)1.2Hz至300Hz，主要在較高頻率下為無源透射率：高于?10Hz的透射率<0.01（-40dB）矯正力：垂直±8N，水平±4N靜態(tài)合規(guī)性：27μm/N最大負(fù)載（中心負(fù)載）：40公斤88.18磅重量：9.2公斤20.3磅高精密儀器隔振臺應(yīng)用

岱美儀器技術(shù)服務(wù)（上海）有限公司主營品牌有EVG,Filmetrics,MicroSense,Herz,Herzan,Film Sense,Polyteknik,4D,Nanotronics,Subnano,Bruker,FSM,SHB，發(fā)展規(guī)模團(tuán)隊(duì)不斷壯大，該公司貿(mào)易型的公司。公司是一家其他有限責(zé)任公司企業(yè)，以誠信務(wù)實(shí)的創(chuàng)業(yè)精神、專業(yè)的管理團(tuán)隊(duì)、踏實(shí)的職工隊(duì)伍，努力為廣大用戶提供***的產(chǎn)品。公司始終堅(jiān)持客戶需求優(yōu)先的原則，致力于提供高質(zhì)量的半導(dǎo)體工藝設(shè)備，半導(dǎo)體測量設(shè)備，光刻機(jī) 鍵合機(jī)，膜厚測量儀。岱美中國將以真誠的服務(wù)、創(chuàng)新的理念、***的產(chǎn)品，為彼此贏得全新的未來！