利用常壓化學氣相沉積法(APCVD)以四氯化鈦(TiCl4)和氨氣(NH3)作為反應物在玻璃基板上沉積制備了氮化鈦(TiN)薄膜.分別用X射線衍射(XRD)、掃描電子顯微鏡(SEM)、原子力顯微鏡(AFM)、四探針電阻儀和分光光度計等對TiN薄膜的結晶性能、微觀結構、表面形貌和光學、電學性能進行了分析.結果表明,制備的TiN薄膜厚度為500nm,具有NaCl型面心立方結構并表現(xiàn)出(200)晶面的擇優(yōu)取向,薄膜的晶粒大小分布均勻.在可見光區(qū)的透射率達到60%,反射率小于10%.在近紅外光區(qū)的反射率達到80%。氮化鈦摩擦系數(shù)較低，可作為高溫潤滑劑。寧波醫(yī)療器械氮化鈦鍍黑鈦
氮化鈦陶瓷涂層具有的金黃色外表，涂覆于刀具之上雖擁有優(yōu)化外觀的好處，但主要作用卻并非是為了裝飾，其具有的硬度值在韋氏硬度（HV）高達2500以上，涂覆于刀具上的厚度一般為3至5微米，相較于未進行涂層加工的原產品具有更高的耐磨性和耐熱性，使用壽命也更長。將這項技術應用在工業(yè)生產中的機械設備上，例如在齒輪滾刀上涂覆氮化鈦其壽命可延長3至4倍，在切削齒輪時可將切削速度或進給量提高更多，從而減少材料機加工時間。工業(yè)發(fā)達國家對涂層高速刀具的使用率已占高速刀具的70%，汽車行業(yè)中幾乎全部都采用涂層高速鋼刀來加工齒輪，其滾削速度可達70~150m/㎜。刀具氮化鈦鍍黑鈦19. 氮化鈦(TiN)具有典型的NaCl型結構，屬面心立方點陣，晶格常數(shù)a=0.4241nm。
40、氮化鈦(TiN)薄膜獨特的性能不僅在機械工業(yè)和商品的表面裝飾行業(yè)上有著適合的應用,而且在臨床制品及人工替換領域也展示了潛在的應用前景.研究利用大功率偏壓電源的多弧離子鍍技術,采用工具鍍工藝,在Ti-6Al-4V合金材料表面制備了TiN薄膜.用X射線光電子能譜檢測證明了所制備的薄膜確為TiN機械性能測試表明:具有TiN涂層樣品的顯微硬度較為高于Ti合金基材,同時耐磨性能也明顯得到改善。40、氮化鈦是一種新型多功能材料，具有高硬度、高耐磨性以及高抗氧化性等優(yōu)點，可以作為耐磨涂層使用，同時氮化鈦涂層的顏色與黃金極為相似，可以沉積在首飾或燈具表面用作裝飾涂層，有著適合的應用。在上世紀70年代，氮化鈦涂層成功應用于刀具等切割加工工具上，促進了刀具加工行業(yè)的發(fā)展。刀具涂層的常用制備方法為物物理相沉積法(PVD)和化學氣相沉積法(CVD)兩大類，也是氮化鈦涂層的常用制備方法，具體細分又有許多種。
薄膜材料簡介制造業(yè)中高速切削和干式切削等先進技術的發(fā)展對刀具提出了較高的要求，作為刀具涂層的薄膜材料TiN不僅要具有較高的硬度，而且要具有優(yōu)良的耐磨性、耐熱性、韌性和良好的化學穩(wěn)定性等。硬質薄膜表面涂層可以實現(xiàn)上述要求。硬質薄膜表面涂層通常指為提高構件表面耐磨性、耐腐蝕性、耐高溫性而涂覆于構件表面的膜層，厚度為幾納米到幾十微米，材料通常是一些由過渡族金屬與非金屬構成的金屬間化合物等。這些化合物一般由金屬鍵、共價鍵、離子鍵，以及離子鍵和金屬鍵的混合鍵鍵合，具有熔點高、硬度大的特征，通常還具有良好的化學穩(wěn)定性和熱穩(wěn)定性。基于以上特征和優(yōu)點，硬質薄膜表面涂層已被廣泛應用于航空、工模具、電子等加工領域，并且在刀具、模具等方面有力推動了制造業(yè)的發(fā)展。氮化鈦是第一種產業(yè)化并被廣泛應用的硬質薄膜材料。氮化鈦薄膜具有硬度高、耐磨、耐熱、耐腐蝕等特性[1]，為面心立方晶體結構，由金屬鍵、共價鍵和離子鍵混合而成，同時具有金屬晶體和共價晶體的特性。氮化鈦的熔點高于大多數(shù)過渡金屬氮化物，密度低于大多數(shù)金屬氮化物，從而成為一種獨特的耐火材料。
在深亞微米(0.15μm及以下)集成電路制造中，后段工藝日趨重要，為降低阻容遲滯(RCDelay)，保證信號傳輸，減小功耗，有必要對后段工藝進行改進，Via阻擋層MOCVD(Metal-organicChemicalVaporDeposition，金屬有機物化學氣相淀積)TiN是其中重要研究課題之一。本論文基于薄膜電阻的理論分析，從厚度、雜質濃度和晶體結構三大薄膜電阻影響因素出發(fā)系統(tǒng)研究MOCVDTiN材料在平面薄膜上和真實結構中的各種性質，重點是等離子體處理(PlasmaTreatment，PT)下的晶體生長，制備循環(huán)次數(shù)的選擇對薄膜雜質濃度、晶體結構及電阻性能的影響，不同工藝薄膜在真實結構中物理形貌、晶體結構和電阻性能的表現(xiàn)和規(guī)律，超薄TiN薄膜(＜5nm)的實際應用等。俄歇能譜、透射電子顯微鏡和方塊電阻測試證明PT作用下雜質濃度降低，同時晶體生長，薄膜致密化而電阻率降低。PT具有飽和時間和深度，較厚薄膜需多循環(huán)制備以充分處理，發(fā)現(xiàn)薄膜厚度較小時(本實驗條件下為4nm)，增加循環(huán)次數(shù)雖然進一步降低了雜質濃度，但會引入界面而使薄膜電阻率增加。通過TEM觀測發(fā)現(xiàn)由于等離子體運動的各向異性，真實結構中PT效率在側壁遠低于頂部和底部，這導致側壁薄膜在PT后更厚。TiN作催化劑載體，可通過提高貴金屬鉑利用率、增強金屬-載體間相互作用、促進質量/電荷轉移及增強耐腐蝕。杭州鍍黑氮化鈦價格
氮化鈦還可以作為金色涂料應用于首飾行業(yè);可以作為替代WC的潛在材料，使材料的應用成本大幅度降低。寧波醫(yī)療器械氮化鈦鍍黑鈦
40、氮化鈦涂層所具有的硬度值在維氏硬度（HV）2500以上，在刀具上涂敷3~5微米的氮化鈦涂層，刀具就能擁有更高的耐磨性和耐熱性，大幅度提高刀具壽命和切削加工效率。例如，齒輪滾刀經氮化鈦涂敷后壽命能延長3~4倍，因而可在切削齒輪時可提高切削速度，從而減少了加工時間和成本。氮化鈦的涂層沉積工藝為物物理相沉積（PVD），是在真空條件下將鈦蒸發(fā)，并與氮發(fā)生反應在刀具表面形成一層非常硬的復合薄膜。這種加工過程較為重要的特征是在加工時溫度適合保持在350℃左右，因而高速鋼刀具的固有特性及尺寸都不會受到影響。氮化鈦涂層刀具由于其優(yōu)異性能，很快在工業(yè)發(fā)達國家得以推廣使用，并為機械加工行業(yè)帶來巨大的經濟效益。日本是該領域的靠前者之一，許多日本的刀具公司都能供應含有氮化鈦涂層的產品，其中有些賣給了歐洲部分國家和美國，多數(shù)進入了日本本國市場。我國對氮化鈦涂層刀具的使用起步較晚，但已有不少廠家開始推廣使用，經濟效益極為可觀。寧波醫(yī)療器械氮化鈦鍍黑鈦
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