尾氣處理：多余的HMDS蒸汽（尾氣）將由底部真空泵抽出，背部1寸管路排除，品牌：慕泓DIM-4。排放到**廢氣收集管道。在無(wú)**廢氣收集管道時(shí)需做專門(mén)處理。設(shè)備配置試驗(yàn)室用電源設(shè)備及注意事項(xiàng)電源：AC220V50Hz電壓允許變動(dòng)范圍：額定值的±5%（但是可運(yùn)行的范圍為±10%）（2）最大負(fù)荷容量：3KW（3）最大電流：15A（4）放置箱體時(shí)注意與墻面距離應(yīng)大于300mm。特別要求：文檔到指定的網(wǎng)絡(luò)路徑：透過(guò)txt或者csv拋檔案到ip位置路徑。然後他生產(chǎn)使用量監(jiān)控要求：通過(guò)流量計(jì)+電池閥延時(shí)控制，量化氣體，控制成本。剩馀量是從藥水那邊的液位監(jiān)控,低位報(bào)警。HMDS藥液流量需可卡控上下限，超出范圍報(bào)警提醒，機(jī)臺(tái)拋檔使用TXT格式，數(shù)據(jù)：HMDS藥劑流量，溫度、壓力、作業(yè)批號(hào)、作業(yè)人員工號(hào)、作業(yè)開(kāi)始時(shí)間、結(jié)束時(shí)間、報(bào)警信息、制程信息。load/unload高度/方向：(上下貨放cassette在機(jī)臺(tái)上的高度/備注cassette放置于設(shè)備前方或左右側(cè)）芯片傳送方式：（具備cassetteincassetteout)上下貨門(mén)需要能自動(dòng)感測(cè)開(kāi)啟程序自動(dòng)調(diào)檔：（當(dāng)cassette至于上貨平臺(tái)即能掃檔帶出該批貨的程序自動(dòng)執(zhí)行）軟件支持SEMI自動(dòng)化標(biāo)準(zhǔn)SECS/GEM通訊接口高溫隧道固化爐高溫鼓風(fēng)干燥箱。相城區(qū)恒溫工業(yè)烤箱電話
六、安全保護(hù)系統(tǒng)1.空氣開(kāi)關(guān)（防止過(guò)流和短路）2.電機(jī)過(guò)流過(guò)熱保護(hù)3.超溫保護(hù)（防止工作室溫度過(guò)高，保護(hù)產(chǎn)品），報(bào)警七、安裝場(chǎng)地要求1.烘箱左右后側(cè)距離墻壁不得小于600mm，用戶須提供的配電開(kāi)關(guān)并負(fù)責(zé)設(shè)備外部的電源連接。2.正常工作環(huán)境條件：（1溫度：5℃~45℃（2相對(duì)濕度：不大于85%（3周圍無(wú)強(qiáng)烈的振動(dòng)和氣流存在（4電源：三相五線380V，50Hz（5無(wú)腐蝕性氣體存在3.請(qǐng)務(wù)必接地4.不能在箱內(nèi)烘烤易燃易爆物品，可燃?xì)怏w及性物品八、其它1.保固期：整機(jī)1年(天災(zāi)、電力異常、人為使用不當(dāng)、保養(yǎng)不當(dāng)造成的損壞外，本公司完全免費(fèi)維修)。電話響應(yīng)時(shí)間1小時(shí)，售后服務(wù)到達(dá)到現(xiàn)場(chǎng)響應(yīng)時(shí)間為24小時(shí)。2.出貨文件：機(jī)器規(guī)格書(shū)，儀表操作說(shuō)明書(shū)，電氣圖，機(jī)臺(tái)的操作說(shuō)明書(shū)（含日常維護(hù)保養(yǎng)，簡(jiǎn)易故障的排除）。鹽城重型工業(yè)烤箱電話高溫隧道固化爐燒銀爐。
設(shè)備配置裡，要記得加入HMDS需求：1、流量監(jiān)控，可監(jiān)控進(jìn)入腔體的藥液量；氣體流量計(jì)（進(jìn)口的ASERT，型號(hào)是0-4000SLM），通過(guò)通訊傳輸?shù)絇LC.2、可實(shí)現(xiàn)自動(dòng)調(diào)檔（拋檔內(nèi)容如上次郵件）、自動(dòng)上、下機(jī)，配置霍尼韋爾條碼(可根據(jù)客戶要求選擇品牌)，可掃描PDA上的一維條碼三、安全裝置l溫度過(guò)升防止器（設(shè)定上限，保護(hù)被試品和試驗(yàn)箱體）l電機(jī)過(guò)負(fù)荷熱繼電器（設(shè)定上限，保護(hù)電機(jī)過(guò)負(fù)荷）l逆向防止器（確保電機(jī)轉(zhuǎn)動(dòng)方向正確）l動(dòng)力電流保護(hù)器（設(shè)定上限，保護(hù)電路設(shè)備安全）四、附屬部品（交機(jī)時(shí)附送）操作說(shuō)明書(shū)電路圖管路圖BOM表清單五、交貨試驗(yàn)項(xiàng)現(xiàn)場(chǎng)性能確認(rèn)基本模式l溫度上升時(shí)間：室溫到150℃是55分鐘內(nèi)。l溫度下降時(shí)間及降溫是自然降溫，受外界環(huán)境影響，少5個(gè)小時(shí)。l確認(rèn)在無(wú)負(fù)荷無(wú)試樣情況下進(jìn)行。l六點(diǎn)測(cè)試位置（使用：日本橫河多點(diǎn)記錄儀）。
六、電源裝置1.電壓：三相380V五線制50Hz2.功率/電流：40KW（80A）3.電器組件：采用中國(guó)臺(tái)灣臺(tái)安與中國(guó)臺(tái)灣天得，日本歐姆龍中間繼電器4.電源引線：由客戶自備七、安全保護(hù)系統(tǒng)1.高溫保護(hù)系統(tǒng)：當(dāng)由于外力原因?qū)е聹囟仁Э貢r(shí)，本系統(tǒng)會(huì)在超過(guò)設(shè)定溫度10度時(shí)自動(dòng)停止加熱，從而保護(hù)你的產(chǎn)品及機(jī)器的安全。2.過(guò)流保護(hù)系統(tǒng)：當(dāng)由于外加電壓過(guò)高或其它原因?qū)е抡麢C(jī)的功率超出正常功率時(shí)，本系統(tǒng)會(huì)自動(dòng)斷電保護(hù)整機(jī)的工控組件不被損壞。八、安裝場(chǎng)地要求1.烘箱左右后側(cè)距離墻壁不得小于600mm，用戶須提供的配電開(kāi)關(guān)并負(fù)責(zé)設(shè)備外部的電源連接。2.正常工作環(huán)境條件：（1溫度：5℃~45℃（2相對(duì)濕度：不大于85%（3周圍無(wú)強(qiáng)烈的振動(dòng)和氣流存在（4電源：三相交流380±38V，頻率：50±10Hz（5無(wú)腐蝕性氣體存在3.請(qǐng)務(wù)必接地4.不能在箱內(nèi)烘烤易燃易爆物品，可燃?xì)怏w及性物品九、其它1.保固期：整機(jī)1年(天災(zāi)、電力異常、人為使用不當(dāng)、保養(yǎng)不當(dāng)造成的損壞外，本公司完全免費(fèi)維修)。電話響應(yīng)時(shí)間1小時(shí)，售后服務(wù)到達(dá)到現(xiàn)場(chǎng)響應(yīng)時(shí)間為24小時(shí)。2.出貨文件：機(jī)器規(guī)格書(shū)，儀表操作說(shuō)明書(shū)，電氣圖，機(jī)臺(tái)的操作說(shuō)明書(shū)（含日常維護(hù)保養(yǎng)，簡(jiǎn)易故障的排除）。圓型鐘罩燒結(jié)爐 2. 用 途 銅金屬基材熱導(dǎo)管燒結(jié)、退火熱處理用。
10-5．電器控制控制柜位于爐體的右側(cè)（顏色平光白），內(nèi)裝空氣開(kāi)關(guān)、（日本歐姆龍）繼電器、等主控電器控制電路?？刂泼姘蹇刂泼姘灏惭b加熱開(kāi)關(guān)，送風(fēng)開(kāi)關(guān)、溫度控制器YUDIAN、故障報(bào)警燈等。操作面板上可以設(shè)定所有的參數(shù)及控制狀態(tài)；若不正常，有聲或光報(bào)警并可控制加熱器、馬達(dá)等停止工作。備注◇發(fā)熱管的安裝應(yīng)考慮維修方便?！蟛季€整齊，電線都放入線槽內(nèi)；并標(biāo)明線號(hào)。◇所有電線接頭用線耳方式銜接。十一、主要用料說(shuō)明：11-1．保溫墻體為硅酸鋁棉隔熱材料，主體為冷板、鍍鋅板、不銹鋼材料組成。外板為SS415.0T&2.0T&1.5T電箱為SS411.2T其他材料為SUS1.0T&2.0T&3.0T耐熱不銹鋼。結(jié)構(gòu)穩(wěn)固、耐用。11-2．電機(jī)為“德東”電機(jī)。11-4．溫控器程序表為“YUDIAN”系列產(chǎn)品。11-5．接觸器為中國(guó)臺(tái)灣“東元”系列產(chǎn)品。11-7．中間繼電器、“歐姆龍”系列產(chǎn)品。11-8.空開(kāi)為質(zhì)量“正泰”系列產(chǎn)品。11-9．其它主輔助元器件均采用品牌質(zhì)量件。十二、設(shè)備其它各段及通用技術(shù)規(guī)格:12-2.所有風(fēng)機(jī)、馬達(dá)都標(biāo)有旋轉(zhuǎn)方向。12-3.設(shè)備應(yīng)有緊急和異常報(bào)警裝置。12-4.加熱功率、尺寸及整體設(shè)計(jì)方案均保證清洗效果達(dá)到廠家要求，保證生產(chǎn)能力達(dá)到廠家要求。工業(yè)烘箱品牌生產(chǎn)廠家。鎮(zhèn)江工業(yè)烤箱服務(wù)
主要用于 Wafer 基板，OVEN 主要是在制程中。相城區(qū)恒溫工業(yè)烤箱電話
加熱管采用質(zhì)量電加熱器加熱?？諝饧訜岱绞?.由烘箱進(jìn)氣口進(jìn)風(fēng)至加熱器風(fēng)槽內(nèi)；2.空氣經(jīng)加熱后在烘箱內(nèi)部做循環(huán)運(yùn)風(fēng)，廢氣從排氣口排出。（外排風(fēng)管由客戶自備）控溫溫控器1.采用臺(tái)上品HOTTSP微電腦自動(dòng)演算單段溫控器，有PV與SV雙LED顯示功能；2.自帶PID自動(dòng)整定演算輸出，控制精細(xì)。超溫保護(hù)器1.采用超溫保護(hù)器；2.當(dāng)溫度超過(guò)超溫保護(hù)器設(shè)定值時(shí)，自動(dòng)切斷加熱電源。時(shí)間控制0~99.9小時(shí)可任意設(shè)定，時(shí)間到達(dá)后有報(bào)警并自動(dòng)停止加熱。加熱管控制采用SSR固態(tài)繼電器控制加熱器，節(jié)能效果佳，控溫效果更穩(wěn)定，性能更。溫度傳感器采用K型熱電偶，測(cè)溫精細(xì)。時(shí)控開(kāi)關(guān)附一個(gè)時(shí)控開(kāi)關(guān)，可設(shè)置定時(shí)開(kāi)關(guān)機(jī)。低壓電氣組件主要電器采用施耐德，日本歐姆龍中間繼電器。記錄儀配1臺(tái)國(guó)產(chǎn)6通道無(wú)紙記錄儀，有效記錄烘箱溫度。()安全和防護(hù)空氣開(kāi)關(guān)防止過(guò)流和短路電機(jī)過(guò)流保護(hù)防止電機(jī)燒毀超溫保護(hù)防止工作室溫度過(guò)高，保護(hù)產(chǎn)品接地保護(hù)結(jié)構(gòu)件安全接地保護(hù)。電源缺相相序保護(hù)配有相序保護(hù)器環(huán)境條件環(huán)境溫度-5℃-45℃相對(duì)濕度≤85%RH安裝場(chǎng)地烘箱左右后側(cè)距離墻壁不得小于600mm。周圍無(wú)強(qiáng)烈的振動(dòng)和氣流存在，不含鹽分氣體、有毒及腐蝕性氣體，沒(méi)有導(dǎo)電性塵埃。相城區(qū)恒溫工業(yè)烤箱電話
昆山臺(tái)上品工業(yè)自動(dòng)化有限公司匯集了大量的優(yōu)秀人才，集企業(yè)奇思，創(chuàng)經(jīng)濟(jì)奇跡，一群有夢(mèng)想有朝氣的團(tuán)隊(duì)不斷在前進(jìn)的道路上開(kāi)創(chuàng)新天地，繪畫(huà)新藍(lán)圖，在江蘇省等地區(qū)的機(jī)械及行業(yè)設(shè)備中始終保持良好的信譽(yù)，信奉著“爭(zhēng)取每一個(gè)客戶不容易，失去每一個(gè)用戶很簡(jiǎn)單”的理念，市場(chǎng)是企業(yè)的方向，質(zhì)量是企業(yè)的生命，在公司有效方針的領(lǐng)導(dǎo)下，全體上下，團(tuán)結(jié)一致，共同進(jìn)退，**協(xié)力把各方面工作做得更好，努力開(kāi)創(chuàng)工作的新局面，公司的新高度，未來(lái)昆山臺(tái)上品工業(yè)自動(dòng)化供應(yīng)和您一起奔向更美好的未來(lái)，即使現(xiàn)在有一點(diǎn)小小的成績(jī)，也不足以驕傲，過(guò)去的種種都已成為昨日我們只有總結(jié)經(jīng)驗(yàn)，才能繼續(xù)上路，讓我們一起點(diǎn)燃新的希望，放飛新的夢(mèng)想！