HMDS預(yù)處理系統(tǒng)的原理：HMDS預(yù)處理系統(tǒng)通過對烘箱HMDS預(yù)處理過程的工作溫度、處理時間、處理時保持時間等參數(shù)可以在硅片、基片表面均勻涂布一層HMDS，降低了HMDS處理后的硅片接觸角，降低了光刻膠的用量，提高光刻膠與硅片的黏附性。HMDS預(yù)處理系統(tǒng)的一般工作流程：首先確定烘箱工作溫度。典型的預(yù)處理程序為：打開真空泵抽真空，待腔內(nèi)真空度達到某一高真空度后，開始充入氮氣，充到某低真空度后，再次進行抽真空、充入氮氣的過程，到達設(shè)定的充入氮氣次數(shù)后，開始保持一段時間，使硅片充分受熱，減少硅片表面的水分。然后再次開始抽真空，充入HMDS氣體，在到達設(shè)定時間后，停止充入HMDS藥液，進入保持階段，使硅片充分與HMDS反應(yīng)。當(dāng)達到設(shè)定的保持時間后，再次開始抽真空。充入氮氣，完成整個作業(yè)過程。HMDS與硅片反應(yīng)機理如圖：首先加熱到100℃-200℃，去除硅片表面的水分，然后HMDS與表面的OH一反應(yīng)，在硅片表面生成硅醚，消除氫鍵作，從而使極性表面變成非極性表面。整個反應(yīng)持續(xù)到空間位阻(三甲基硅烷基較大)阻止其進一步反應(yīng)。工業(yè)烘箱品牌生產(chǎn)廠家。張家港半導(dǎo)體工業(yè)烤箱維保
九、設(shè)備參數(shù)9-1.回火工件：名稱:五金零部件9-2.設(shè)備要求：設(shè)備電源:380V±10%/50Hz三相五線（接地接零）額定功率為30KW9-3.占地要求：設(shè)備整機尺寸：約W1767×D1560×H2317（mm）（配電柜在右側(cè)面）主機占地尺寸：約L3500×W2500（mm）廠房高度要求：約3.5米9-4.環(huán)境要求：空氣溫度：5～40℃相對濕度：≤80%十、設(shè)備各部分配置10-1．?dāng)?shù)量1個溫度正常使用500度，MAX600度。機臺體結(jié)構(gòu)內(nèi)有效尺寸層架結(jié)構(gòu)，貴司現(xiàn)有設(shè)備樣式（見附件圖紙）材質(zhì)保溫墻體為硅酸鋁棉隔熱材料，主體為冷板、鍍鋅板、不銹鋼材料組成。外板為SS415.0T&2.0T&1.5T電箱為SS411.2T其他材料為SUS1.0T&2.0T&3.0T不銹鋼。結(jié)構(gòu)穩(wěn)固、耐用。送風(fēng)系統(tǒng)方式采用電機帶動皮帶使風(fēng)輪轉(zhuǎn)動&加長軸散熱系統(tǒng)。電機功率為1/2HP加熱系統(tǒng)溫控器YUDIAN自動數(shù)顯程序溫控器，溫控范圍：RT~500℃MAX600℃。加熱器◇箱體兩側(cè)安裝加熱管、加熱功率25KW?！蠹訜峁懿馁|(zhì)為，耐高溫鎳鉻特制加熱器，耐溫1200度。鎮(zhèn)江半導(dǎo)體工業(yè)烤箱高溫隧道固化爐高溫鼓風(fēng)干燥箱。
600度高溫回火爐技術(shù)規(guī)格書一、設(shè)備名稱：HOTTSP-HT600度高溫回火爐二、設(shè)備型號：HOTTSP-HT600三、設(shè)備型號定義：HOTTSP-昆山臺上品工業(yè)自動化有限公司簡稱；600—整機最高溫度600度；HT—H表示高溫設(shè)備；T表示非標設(shè)備。四、設(shè)備用途：五金件、電子零件、精密零部件產(chǎn)品前后的熱間加工。五、溫度要求：5．1熱間有效范圍內(nèi)，溫控的控制精度正負5度，均溫性2%。5．2正常使用500度，比較大溫度600度。六、設(shè)備能力:溫度到計時，時間到報警。（后改為程式表，并增加了電壓表）七、設(shè)備工作原理及組成描述：7.1工作原理：運用大功率加熱器將空氣加熱，升溫到設(shè)定溫度后自動保溫計時，時間到報警提示。7.2設(shè)備組成：HOTTSP-HT600高溫回火爐一臺。八、工藝流程8.1加熱流程1上料→2關(guān)門密封→3加熱升溫→4溫度到計時保溫→5保溫時間到報警→6斷電降溫→7開門下料
十、設(shè)備各部分配置10-1．?dāng)?shù)量1個溫度正常使用45度，MAX60度。機臺體結(jié)構(gòu)內(nèi)有效尺寸（W*H*D）材質(zhì)1.爐膛采用全不銹鋼爐膛，巖棉保溫，具有升溫快，節(jié)能等特點2.不銹鋼爐膛內(nèi)箱干凈，抗腐蝕，便于清理3.外部采用冷板加烤漆，外觀整潔送風(fēng)系統(tǒng)方式1.專業(yè)的送風(fēng)，排風(fēng)系統(tǒng)，確保爐膛溫度均勻。2.熱風(fēng)循環(huán)溫度均勻，換熱迅速，廢氣帶出及時。加熱系統(tǒng)溫控器1.采用PID+SSR控制2.多點溫度實時監(jiān)測，工作室的溫度工藝容易掌握加熱器◇箱體上部安裝加熱管。◇加熱管材質(zhì)為，不銹鋼304加熱器。10-5．電器控制控制柜位于爐體的右側(cè)，內(nèi)裝空氣開關(guān)、（日本歐姆龍）繼電器、等主控電器控制電路?？刂泼姘蹇刂泼姘灏惭b加熱開關(guān)，送風(fēng)開關(guān)、溫度控制器、故障報警燈等。操作面板上可以設(shè)定所有的參數(shù)及控制狀態(tài)；若不正常，有聲或光報警并可控制加熱器、馬達等停止工作。備注◇發(fā)熱管的安裝應(yīng)考慮維修方便。◇布線整齊，電線都放入線槽內(nèi)；并標明線號?！笏须娋€接頭用線耳方式銜接。蘇州自動化隧道爐（標準）。
3.1.3骨架:在室體的長度方向上採用矩型方管作為結(jié)構(gòu)框架,在長度方向上間隔的安裝焊接柱子，牆板和柱子用U形槽連接，在室體頂部採用矩型方管作為加固梁連接寬度方向倆邊的柱子，從而保證整套室體的結(jié)構(gòu)性能。3.1.4送排風(fēng)風(fēng)道：在烘烤爐體二側(cè)面設(shè)有送風(fēng)風(fēng)道，送風(fēng)風(fēng)道採用高品質(zhì)耐溫鍍鋅板製作，在烘烤爐體上側(cè)部設(shè)有排風(fēng)風(fēng)道，在排風(fēng)風(fēng)道上設(shè)有調(diào)節(jié)閥，用來調(diào)節(jié)室內(nèi)溫度的均勻性。3.2迴圈風(fēng)機系統(tǒng)：主要由風(fēng)機、高品質(zhì)耐溫鍍鋅板、型材框架等組成。由設(shè)計依據(jù)，本設(shè)計砂芯烘烤爐配置3組加熱送風(fēng)系統(tǒng)。配置3臺離心式高溫風(fēng)機。且迴圈風(fēng)管採用高品質(zhì)耐溫鍍鋅板製作，進風(fēng)口處安裝風(fēng)量調(diào)節(jié)板。3.3加熱系統(tǒng)：配3套加熱系統(tǒng)，使用燃氣燃燒機加熱方式，升溫速度快，成本低。從而保證砂芯烘烤爐溫度的需要。高精密隧道爐方案說明。太倉自動化工業(yè)烤箱
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自公司年成立以來，HOTTSP一直致力于為客戶提工業(yè)烤箱，鐘罩爐，推板爐，鏈條爐解決方案，專業(yè)從事工業(yè)烤箱，鐘罩爐，推板爐，鏈條爐生產(chǎn)、研發(fā)、銷售和服務(wù)。經(jīng)過多年的努力，我們逐漸獲取到機械及行業(yè)設(shè)備行業(yè)內(nèi)更多客戶的認可。機械及行業(yè)設(shè)備是動密集型產(chǎn)業(yè)，除了需要科技創(chuàng)新人才和管理人才以外，還需要高級技工工人等。HOTTSP擁有多名技術(shù)服務(wù)型人才，幫助客戶提供售前、售后技術(shù)支持。更豐富的產(chǎn)品工業(yè)烤箱，鐘罩爐，推板爐，鏈條爐及更完善的服務(wù)為客戶創(chuàng)造價值；我們秉著持續(xù)改進產(chǎn)品為宗旨，不知疲倦的精神服務(wù)于廣大客戶。HOTTSP在長期發(fā)展過程中，憑借雄厚的實力和深入人心的服務(wù)理念，產(chǎn)品贏得了客戶認同和信賴。堅持不斷創(chuàng)新，不斷進步，不斷提升服務(wù)，持續(xù)追求每一個用戶的滿意度。張家港半導(dǎo)體工業(yè)烤箱維保
昆山臺上品工業(yè)自動化有限公司是一家集研發(fā)、制造、銷售為一體的****，公司位于昆山市巴城鎮(zhèn)石牌中華路1083號，成立于2014-08-20。公司秉承著技術(shù)研發(fā)、客戶優(yōu)先的原則，為國內(nèi)工業(yè)烤箱，鐘罩爐，推板爐，鏈條爐的產(chǎn)品發(fā)展添磚加瓦。公司主要經(jīng)營工業(yè)烤箱，鐘罩爐，推板爐，鏈條爐等產(chǎn)品，產(chǎn)品質(zhì)量可靠，均通過機械及行業(yè)設(shè)備行業(yè)檢測，嚴格按照行業(yè)標準執(zhí)行。目前產(chǎn)品已經(jīng)應(yīng)用與全國30多個省、市、自治區(qū)。我們以客戶的需求為基礎(chǔ)，在產(chǎn)品設(shè)計和研發(fā)上面苦下功夫，一份份的不懈努力和付出，打造了HOTTSP產(chǎn)品。我們從用戶角度，對每一款產(chǎn)品進行多方面分析，對每一款產(chǎn)品都精心設(shè)計、精心制作和嚴格檢驗。昆山臺上品工業(yè)自動化有限公司嚴格規(guī)范工業(yè)烤箱，鐘罩爐，推板爐，鏈條爐產(chǎn)品管理流程，確保公司產(chǎn)品質(zhì)量的可控可靠。公司擁有銷售/售后服務(wù)團隊，分工明細，服務(wù)貼心，為廣大用戶提供滿意的服務(wù)。