600度高溫回火爐技術(shù)規(guī)格書一、設(shè)備名稱：HOTTSP-HT600度高溫回火爐二、設(shè)備型號：HOTTSP-HT600三、設(shè)備型號定義：HOTTSP-昆山臺上品工業(yè)自動化有限公司簡稱；600—整機(jī)最高溫度600度；HT—H表示高溫設(shè)備；T表示非標(biāo)設(shè)備。四、設(shè)備用途：五金件、電子零件、精密零部件產(chǎn)品前后的熱間加工。五、溫度要求：5．1熱間有效范圍內(nèi)，溫控的控制精度正負(fù)5度，均溫性2%。5．2正常使用500度，比較大溫度600度。六、設(shè)備能力:溫度到計(jì)時(shí)，時(shí)間到報(bào)警。（后改為程式表，并增加了電壓表）七、設(shè)備工作原理及組成描述：7.1工作原理：運(yùn)用大功率加熱器將空氣加熱，升溫到設(shè)定溫度后自動保溫計(jì)時(shí)，時(shí)間到報(bào)警提示。7.2設(shè)備組成：HOTTSP-HT600高溫回火爐一臺。八、工藝流程8.1加熱流程1上料→2關(guān)門密封→3加熱升溫→4溫度到計(jì)時(shí)保溫→5保溫時(shí)間到報(bào)警→6斷電降溫→7開門下料高溫隧道固化爐高溫鼓風(fēng)干燥箱。昆山重型工業(yè)烤箱
1)外殼SUS304不銹鋼材質(zhì)，內(nèi)膽316L不銹鋼材料；采用不銹鋼加熱管，加熱管4個(gè)，總功率2650W,均勻分布在內(nèi)膽外壁，上下左右四面加熱，內(nèi)膽內(nèi)無任何電氣配件及易燃易爆裝置；采用鋼化、防彈雙層玻璃觀察窗,便于觀察工作室內(nèi)物品實(shí)驗(yàn)情況。無發(fā)塵材料，適用百級光刻間凈化環(huán)境使用。2)箱門閉合松緊能調(diào)節(jié)，整體成型的硅橡膠門封圈，確保箱內(nèi)保持高真空度。3)溫度采用微電腦PID控制,系統(tǒng)具有自動控溫,定時(shí),超溫報(bào)警等,LCD液晶顯示,觸摸式按鈕,簡單易用,性能穩(wěn)定可靠.4)智能化觸摸屏控制系統(tǒng)配套PLC模塊可供用戶根據(jù)不同制程條件改變程序、溫度、真空度及每一程序時(shí)間。5)HMDS氣體密閉式自動吸取添加設(shè)計(jì)，使真空箱密封性能極好，確保HMDS氣體無外漏顧慮。南京自動化工業(yè)烤箱費(fèi)用主要用于 Wafer 基板，OVEN 主要是在制程中。
八.選材要求:選材品牌參照招標(biāo)文件中品牌要求和投標(biāo)文件中主要外購件清單序號名稱類別制造商序號名稱類別制造商1變頻器臺達(dá)/三菱18訊響器中國臺灣2接觸器及熱保護(hù)開關(guān)施耐德19線材無錫南亞電纜3空氣開關(guān)正泰/德力西20觸摸屏威綸/三菱4光電開關(guān)OMRON/同等品牌21驅(qū)動電機(jī)及減速器歐邦/同等品牌5繼電器及座OMRON22鏈條環(huán)球/匯利興6微動開關(guān)OMRON23止擋器亞德客/同等品牌7行程開關(guān)OMRON24氣動組件亞德客/同等品牌8可編程控制器三菱/OMRON25電磁閥亞德客/同等品牌9可編程控制器擴(kuò)展三菱/OMRON26氣缸亞德客/同等品牌10馬達(dá)開關(guān)正泰/德力西27吸盤SMC/同等品牌11斷路器正泰/德力西28電源插座飛雕12漏電保護(hù)附件OMRON29饋電子國產(chǎn)質(zhì)量13按鈕開關(guān)天逸30主線鋁型材國產(chǎn)質(zhì)量電泳處理14轉(zhuǎn)換開關(guān)天逸3115急停開關(guān)天逸3216指示燈天逸3317直流電源明緯34
九、設(shè)備參數(shù)9-1.回火工件：名稱:五金零部件9-2.設(shè)備要求：設(shè)備電源:380V±10%/50Hz三相五線（接地接零）額定功率為30KW9-3.占地要求：設(shè)備整機(jī)尺寸：約W1767×D1560×H2317（mm）（配電柜在右側(cè)面）主機(jī)占地尺寸：約L3500×W2500（mm）廠房高度要求：約3.5米9-4.環(huán)境要求：空氣溫度：5～40℃相對濕度：≤80%十、設(shè)備各部分配置10-1．?dāng)?shù)量1個(gè)溫度正常使用500度，MAX600度。機(jī)臺體結(jié)構(gòu)內(nèi)有效尺寸層架結(jié)構(gòu)，貴司現(xiàn)有設(shè)備樣式（見附件圖紙）材質(zhì)保溫墻體為硅酸鋁棉隔熱材料，主體為冷板、鍍鋅板、不銹鋼材料組成。外板為SS415.0T&2.0T&1.5T電箱為SS411.2T其他材料為SUS1.0T&2.0T&3.0T不銹鋼。結(jié)構(gòu)穩(wěn)固、耐用。送風(fēng)系統(tǒng)方式采用電機(jī)帶動皮帶使風(fēng)輪轉(zhuǎn)動&加長軸散熱系統(tǒng)。電機(jī)功率為1/2HP加熱系統(tǒng)溫控器YUDIAN自動數(shù)顯程序溫控器，溫控范圍：RT~500℃MAX600℃。加熱器◇箱體兩側(cè)安裝加熱管、加熱功率25KW?！蠹訜峁懿馁|(zhì)為，耐高溫鎳鉻特制加熱器，耐溫1200度。方型鐘罩燒結(jié)爐 2. 用 途 銅金屬基材熱導(dǎo)管燒結(jié)、退火熱處理用。
HMDS預(yù)處理系統(tǒng)的原理：HMDS預(yù)處理系統(tǒng)通過對烘箱HMDS預(yù)處理過程的工作溫度、處理時(shí)間、處理時(shí)保持時(shí)間等參數(shù)可以在硅片、基片表面均勻涂布一層HMDS，降低了HMDS處理后的硅片接觸角，降低了光刻膠的用量，提高光刻膠與硅片的黏附性。HMDS預(yù)處理系統(tǒng)的一般工作流程：首先確定烘箱工作溫度。典型的預(yù)處理程序?yàn)椋捍蜷_真空泵抽真空，待腔內(nèi)真空度達(dá)到某一高真空度后，開始充入氮?dú)?，充到某低真空度后，再次進(jìn)行抽真空、充入氮?dú)獾倪^程，到達(dá)設(shè)定的充入氮?dú)獯螖?shù)后，開始保持一段時(shí)間，使硅片充分受熱，減少硅片表面的水分。然后再次開始抽真空，充入HMDS氣體，在到達(dá)設(shè)定時(shí)間后，停止充入HMDS藥液，進(jìn)入保持階段，使硅片充分與HMDS反應(yīng)。當(dāng)達(dá)到設(shè)定的保持時(shí)間后，再次開始抽真空。充入氮?dú)?，完成整個(gè)作業(yè)過程。HMDS與硅片反應(yīng)機(jī)理如圖：首先加熱到100℃-200℃，去除硅片表面的水分，然后HMDS與表面的OH一反應(yīng)，在硅片表面生成硅醚，消除氫鍵作，從而使極性表面變成非極性表面。整個(gè)反應(yīng)持續(xù)到空間位阻(三甲基硅烷基較大)阻止其進(jìn)一步反應(yīng)。熱處理高溫?zé)犸L(fēng)循環(huán)烤箱。太倉省電工業(yè)烤箱出售
推板式氣氛燒結(jié)爐 2. 用 途 銅金屬基材熱導(dǎo)管燒結(jié)、退火熱處理用。昆山重型工業(yè)烤箱
真空烘箱規(guī)格書一、箱體結(jié)構(gòu)尺寸1.內(nèi)尺寸（W*D*H）mm：550mm×(300×3)mm×430mm（W×H×D）2.外尺寸（W*D*H）mm：按實(shí)物3.控制器：位于機(jī)臺右側(cè)4.門：由左邊往右邊開5.內(nèi)膽材質(zhì)：質(zhì)量不銹鋼SUS304#3.0T板6.外箱材質(zhì)：鋼板粉體靜電烤漆1.2T，涂裝采用酸洗脫脂與皮膜處理與采高黏著力液體噴涂7.保溫材質(zhì)：采用質(zhì)量高溫耐熱巖棉（最高耐溫700℃）,保溫性能佳，節(jié)能省電，環(huán)保無污染8.爐門保溫材質(zhì)：高溫耐熱巖棉（最高耐溫700℃），配備硅膠門條，有效防止熱量流失，保持溫度平穩(wěn)，節(jié)能效果佳9.分層：分3層，3個(gè)不銹鋼烤盤10.門口裝不銹鋼方鋼框20T*W30昆山重型工業(yè)烤箱
昆山臺上品工業(yè)自動化有限公司致力于機(jī)械及行業(yè)設(shè)備，是一家生產(chǎn)型公司。公司業(yè)務(wù)分為工業(yè)烤箱，鐘罩爐，推板爐，鏈條爐等，目前不斷進(jìn)行創(chuàng)新和服務(wù)改進(jìn)，為客戶提供良好的產(chǎn)品和服務(wù)。公司秉持誠信為本的經(jīng)營理念，在機(jī)械及行業(yè)設(shè)備深耕多年，以技術(shù)為先導(dǎo)，以自主產(chǎn)品為重點(diǎn)，發(fā)揮人才優(yōu)勢，打造機(jī)械及行業(yè)設(shè)備良好品牌。臺上品憑借創(chuàng)新的產(chǎn)品、專業(yè)的服務(wù)、眾多的成功案例積累起來的聲譽(yù)和口碑，讓企業(yè)發(fā)展再上新高。