首先確定烘箱工作溫度。典型的預(yù)處理程序?yàn)椋捍蜷_真空泵抽真空，待腔內(nèi)真空度達(dá)到某一高真空度后，開始充入氮?dú)猓涞侥车驼婵斩群?，再次進(jìn)行抽真空、充入氮?dú)獾倪^程，到達(dá)設(shè)定的充入氮?dú)獯螖?shù)后，開始保持一段時間，使硅片充分受熱，減少硅片表面的水分。然后再次開始抽真空，充入HMDS氣體，在到達(dá)設(shè)定時間后，停止充入HMDS藥液，進(jìn)入保持階段，使硅片充分與HMDS反應(yīng)。當(dāng)達(dá)到設(shè)定的保持時間后，再次開始抽真空。充入氮?dú)?，完成整個作業(yè)過程。HMDS與硅片反應(yīng)機(jī)理如圖：首先加熱到100℃-200℃，去除硅片表面的水分，然后HMDS與表面的OH一反應(yīng)，在硅片表面生成硅醚，消除氫鍵作，從而使極性表面變成非極性表面。整個反應(yīng)持續(xù)到空間位阻(三甲基硅烷基較大)阻止其進(jìn)一步反應(yīng)。雙門精密送風(fēng)循環(huán)烤箱。無氧化工業(yè)烤箱電話
十、設(shè)備各部分配置10-1．?dāng)?shù)量1個溫度正常使用45度，MAX60度。機(jī)臺體結(jié)構(gòu)內(nèi)有效尺寸（W*H*D）材質(zhì)1.爐膛采用全不銹鋼爐膛，巖棉保溫，具有升溫快，節(jié)能等特點(diǎn)2.不銹鋼爐膛內(nèi)箱干凈，抗腐蝕，便于清理3.外部采用冷板加烤漆，外觀整潔送風(fēng)系統(tǒng)方式1.專業(yè)的送風(fēng)，排風(fēng)系統(tǒng)，確保爐膛溫度均勻。2.熱風(fēng)循環(huán)溫度均勻，換熱迅速，廢氣帶出及時。加熱系統(tǒng)溫控器1.采用PID+SSR控制2.多點(diǎn)溫度實(shí)時監(jiān)測，工作室的溫度工藝容易掌握加熱器◇箱體上部安裝加熱管?！蠹訜峁懿馁|(zhì)為，不銹鋼304加熱器。10-5．電器控制控制柜位于爐體的右側(cè)，內(nèi)裝空氣開關(guān)、（日本歐姆龍）繼電器、等主控電器控制電路。控制面板控制面板安裝加熱開關(guān)，送風(fēng)開關(guān)、溫度控制器、故障報(bào)警燈等。操作面板上可以設(shè)定所有的參數(shù)及控制狀態(tài)；若不正常，有聲或光報(bào)警并可控制加熱器、馬達(dá)等停止工作。備注◇發(fā)熱管的安裝應(yīng)考慮維修方便?！蟛季€整齊，電線都放入線槽內(nèi)；并標(biāo)明線號?！笏须娋€接頭用線耳方式銜接。上海無氧化工業(yè)烤箱服務(wù)精密送風(fēng)循環(huán)預(yù)熱爐。
五、電源裝置1.電壓：AC380V，3相5線，50Hz2.功率：10KW/15A3.電源引線：由客戶自備六、安全保護(hù)系統(tǒng)1.空氣開關(guān)（防止過流和短路）2.真空泵電機(jī)過流保護(hù)（保護(hù)真空泵電機(jī)電流過高）3.超溫保護(hù)（防止工作室溫度過高，保護(hù)產(chǎn)品），聲光報(bào)警七、安裝場地要求1.烘箱左右后側(cè)距離墻壁不得小于600mm，用戶須提供的配電開關(guān)并負(fù)責(zé)設(shè)備外部的電源連接。2.正常工作環(huán)境條件：（1溫度：5℃~45℃（2相對濕度：不大于85%（3周圍無強(qiáng)烈的振動和氣流存在（4電源：三相交流380⊥38V，頻率：50⊥1Hz（5無腐蝕性氣體存在3.請務(wù)必接地4.不能在箱內(nèi)烘烤易燃易爆物品，可燃?xì)怏w及性物品
外部尺寸：W635*D645*H1255電熱功率：AC220V50HZ2000W電熱控制：PID+SSR測溫探頭：日制PT100鉑金電阻，不銹鋼鎧裝覆套，精度±0.5%，反應(yīng)靈敏，抗干擾，耐高溫。電氣控制：HMI大屏15寸觸摸屏+IPC(工業(yè)電腦/Advantech研華)（610L/SIMB-A21/I5-2400/16G/1T）(處理器IT,內(nèi)存16G，硬盤1T,作業(yè)系統(tǒng)64位Windows10)宏碁（ACER）23.8寸IPS硬屏顯示器。（品牌：Advantech研華+PLC品牌：西門子）軟體版本：確認(rèn)**終規(guī)格后，隨機(jī)附上殺毒軟件：360殺毒軟件V5.0正式版內(nèi)部材質(zhì)：316L外部材質(zhì)：304鏡面處理（可定制拉絲，烤漆等）使用溫度：MAX250℃真空度：<133Pa標(biāo)配國產(chǎn)旋葉真空泵，品牌：慕泓DIM-4。抽氣速度2~4升／秒，抽真空時間60秒左右，破真空時間25秒左右。德國萊寶真空計(jì)，型號TTR91,控制精度1pa。氮?dú)庀到y(tǒng)：采用**氮?dú)饪刂崎y控制（MPC浮子式流量閥控制，型號：MPC-P21/P22）。HMDS預(yù)處理系統(tǒng)的一般工作流程：HMDS藥劑容量500ml自動無氧固化爐 JCAU-OVEN4-4&6。
以上圖作為參考示意，實(shí)際制作依后續(xù)設(shè)計(jì)為準(zhǔn)?；亓鳚L筒線：1000L*1048W*800H數(shù)量:1條1、輸送線支架焊接框架結(jié)構(gòu)，鏈條拖動滾筒輸送方式;2、線體支架采用8#槽鋼支架焊接,表面油漆處理;3、線體橫梁支架8#槽鋼制作，與支架螺絲連接固定。4、輸送滾筒采用鍍鋅滾筒，一端配置雙鏈鏈輪傳動;5、滾筒上安裝導(dǎo)向輪邊，直徑120MM，滾筒間距266.7MM;6、滾筒之間傳動采用12A滾子鏈條傳動7、輸送寬度:910MM,滾筒總長約960MM;8、動力采用0.37KW齒輪減速馬達(dá)驅(qū)動，動力布置滾筒下方;9、電機(jī)使用歐邦/東元馬達(dá)，馬達(dá)配套減速機(jī)使用。10、滾筒線輸送速度約5米/分鐘，可以采用變頻調(diào)速。樣式參考下圖以上圖作為參考示意，實(shí)際制作依后續(xù)設(shè)計(jì)為準(zhǔn)。兩端移載小車1000L*1048W行程2500MM。數(shù)量:2臺.1、輸送線支架焊接框架結(jié)構(gòu)，鏈條拖動滾筒輸送方式;2、輸送軌道機(jī)身采用8#槽鋼支架焊接制作,表面烤漆處理;3、輸送滾筒采用鍍鋅滾筒，一端配置雙鏈鏈輪傳動;4、滾筒上安裝導(dǎo)向輪邊，直徑120MM，滾筒間距257MM;5、滾筒之間傳動采用12A滾子鏈條傳動半導(dǎo)體無塵烤箱MOL-2DS。相城區(qū)耐用工業(yè)烤箱服務(wù)
VC均熱板輸送氣氛燒結(jié)爐。無氧化工業(yè)烤箱電話
二.溫度范圍:1.使用溫度：10℃~50℃三．機(jī)器精度:儀表控制精度:±0.3全刻度.溫度分布均勻度:±5~10℃.(空爐測量恒溫段有效區(qū)域內(nèi)為準(zhǔn))配置風(fēng)路循環(huán)（手動變頻調(diào)節(jié)）四.機(jī)械板金結(jié)構(gòu)：1.內(nèi)部材質(zhì)：SUS1.0t不銹鋼板.2.外部材質(zhì):SS41+粉體金屬漆。3.保溫材質(zhì):高溫耐熱巖棉(最高耐溫700℃)。4.設(shè)有排氣系統(tǒng)，及時將爐內(nèi)廢氣排出，可調(diào)節(jié)大小。五.恒溫系統(tǒng):1.采用不銹鋼，均布式平面布局，保證均溫性.2.完全單獨(dú)系統(tǒng)，不影響控制線路.六.電路控制系統(tǒng):1.PID溫度控制器。2.溫度傳感器采用KTYPE.3.無熔絲電源開關(guān)，鐵線槽堅(jiān)固耐用.4.控制系統(tǒng)附電源燈、風(fēng)車指示燈，加熱指示燈…….七.安全保護(hù)系統(tǒng):1.附有施耐德無熔絲保護(hù)開關(guān).2.超溫控制超過設(shè)定最大值,自動斷電.3.控制器超溫控制接點(diǎn)+蜂鳴.4.控制線路電源加裝保險(xiǎn)絲.無氧化工業(yè)烤箱電話
昆山臺上品工業(yè)自動化有限公司位于昆山市巴城鎮(zhèn)石牌中華路1083號，擁有一支專業(yè)的技術(shù)團(tuán)隊(duì)。HOTTSP是昆山臺上品工業(yè)自動化有限公司的主營品牌，是專業(yè)的非標(biāo)自動化設(shè)備研發(fā)、設(shè)計(jì)、生產(chǎn)、組裝、銷售、維修;加熱設(shè)備、通風(fēng)集成設(shè)備、電氣控制軟件硬件的研發(fā)、設(shè)計(jì)、銷售;電氣元器件及配件、電線電纜、機(jī)械設(shè)備、五金制品的銷售;建筑安裝工程，室內(nèi)室外裝飾工程;貨物及技術(shù)的進(jìn)出口業(yè)務(wù)。(依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項(xiàng)目，經(jīng)相關(guān)部門批準(zhǔn)后方可開展經(jīng)營活動)公司，擁有自己**的技術(shù)體系。公司不僅*提供專業(yè)的非標(biāo)自動化設(shè)備研發(fā)、設(shè)計(jì)、生產(chǎn)、組裝、銷售、維修;加熱設(shè)備、通風(fēng)集成設(shè)備、電氣控制軟件硬件的研發(fā)、設(shè)計(jì)、銷售;電氣元器件及配件、電線電纜、機(jī)械設(shè)備、五金制品的銷售;建筑安裝工程，室內(nèi)室外裝飾工程;貨物及技術(shù)的進(jìn)出口業(yè)務(wù)。(依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項(xiàng)目，經(jīng)相關(guān)部門批準(zhǔn)后方可開展經(jīng)營活動)，同時還建立了完善的售后服務(wù)體系，為客戶提供良好的產(chǎn)品和服務(wù)。自公司成立以來，一直秉承“以質(zhì)量求生存，以信譽(yù)求發(fā)展”的經(jīng)營理念，始終堅(jiān)持以客戶的需求和滿意為重點(diǎn)，為客戶提供良好的工業(yè)烤箱，鐘罩爐，推板爐，鏈條爐，從而使公司不斷發(fā)展壯大。