以上圖作為參考示意，實(shí)際制作依后續(xù)設(shè)計(jì)為準(zhǔn)。兩側(cè)銜接緩沖滾筒線：1000L*1048W*800-1280H數(shù)量:2條1、輸送線支架焊接框架結(jié)構(gòu)，鏈條拖動滾筒輸送方式;2、線體支架采用8#槽鋼支架焊接,表面油漆處理;3、線體橫梁支架8#槽鋼制作，與支架螺絲連接固定。4、輸送滾筒采用鍍鋅滾筒，一端配置雙鏈鏈輪傳動;5、滾筒上安裝導(dǎo)向輪邊，直徑120MM,滾筒間距257MM;6、滾筒之間傳動采用12A滾子鏈條傳動7、輸送寬度:810MM,滾筒總長約960MM;8、動力采用0.37KW齒輪減速馬達(dá)驅(qū)動，動力布置滾筒下方;9、電機(jī)使用歐邦/東元馬達(dá)，馬達(dá)配套減速機(jī)使用。10、滾筒線輸送速度約5米/分鐘，可以采用變頻調(diào)速。下圖為參考端面示意圖以上圖作為參考示意，實(shí)際制作依后續(xù)設(shè)計(jì)為準(zhǔn)。兩端升降滾筒線：1000L*1048W*800-1280H數(shù)量:2套1、升降裝置采用方管焊接框架結(jié)構(gòu)方式。2、升降導(dǎo)向立柱采用80方管，與框架焊接成整體。3、導(dǎo)向輪采用度尼龍輪，強(qiáng)度好耐磨性優(yōu)。4、軸承采用國家質(zhì)量品牌哈爾濱軸承。5、升降采用鏈條升降方式，運(yùn)行平穩(wěn)。6、升降動力齒輪減速馬達(dá)驅(qū)動。7、輸送線結(jié)構(gòu)同滾筒線輸送線結(jié)構(gòu)。升降裝置樣式參考下圖精密送風(fēng)循環(huán)隧道烤箱。鎮(zhèn)江性價比高工業(yè)烤箱電話
二.溫度范圍:1.最高溫度：60℃2.使用溫度：50℃三．機(jī)器精度:儀表控制精度:±0.3全刻度.溫度分布均勻度:±5~10℃.(空爐測量恒溫段有效區(qū)域內(nèi)為準(zhǔn))配置熱風(fēng)循環(huán)（手動變頻調(diào)節(jié)）四.機(jī)械板金結(jié)構(gòu)：1.內(nèi)部材質(zhì)：SUS1.0t不銹鋼板.2.外部材質(zhì):SS41+粉體金屬漆。3.保溫材質(zhì):高溫耐熱巖棉(最高耐溫700℃)。4.烘干爐設(shè)有排氣系統(tǒng)，及時將爐內(nèi)廢氣排出爐外，可調(diào)節(jié)大小。五.加熱系統(tǒng):1.采用不銹鋼，均布式平面布局，保證均溫性.2.完全單獨(dú)系統(tǒng)，不影響控制線路.六.電路控制系統(tǒng):1.PID溫度控制器。2.溫度傳感器采用KTYPE.3.無熔絲電源開關(guān)，鐵線槽堅(jiān)固耐用.4.控制系統(tǒng)附電源燈、風(fēng)車指示燈，加熱指示燈…….七.安全保護(hù)系統(tǒng):1.附有施耐德無熔絲保護(hù)開關(guān).2.超溫控制超過設(shè)定最大值,自動斷電.3.控制器超溫控制接點(diǎn)+蜂鳴.4.控制線路電源加裝保險(xiǎn)絲.南通電子工業(yè)烤箱維保蘇州自動化隧道爐（標(biāo)準(zhǔn)）。
產(chǎn)品特點(diǎn)：●獨(dú)特的爐門設(shè)計(jì)，使開門操作安全簡便，確保爐內(nèi)高溫?zé)釟獠煌饴?。●微電腦PID控制器，操作簡便，控溫精確、可靠、安全?！衲透g輕質(zhì)爐膛，確保經(jīng)久耐用。（耐火磚爐膛或陶瓷纖維爐膛任意選擇）●極好的門密封使得熱量損失**小，增加了爐膛內(nèi)溫度的均勻性?！窨删幊炭刂破鳎?0段程序,每段可設(shè)定升溫或停留,并提供程序化的溫度、時間、加熱功率的循環(huán)。（可程式箱式電爐具有此功能）●多段可編程控制,可以簡化復(fù)雜的試驗(yàn)過程真正實(shí)現(xiàn)自動控制和運(yùn)行。爐門內(nèi)膽和箱體面板均采用不銹鋼材料制作，具有抗腐蝕、高溫不變型等特點(diǎn)。（可程式箱式電爐具有此功能）安全功能：●操作時只需開啟爐門，爐門安全開關(guān)會自動斷開加熱電源，確保操作者安全?！裨O(shè)有過流、過壓、過熱等多種安全保護(hù)措施，確保電爐安全使用?！襁x用陶瓷纖維板作為隔熱保溫材料，具有隔熱效果好，箱殼表面溫度低等特點(diǎn)。
尾氣處理：多余的HMDS蒸汽（尾氣）將由底部真空泵抽出，背部1寸管路排除，品牌：慕泓DIM-4。排放到**廢氣收集管道。在無**廢氣收集管道時需做專門處理。設(shè)備配置試驗(yàn)室用電源設(shè)備及注意事項(xiàng)電源：AC220V50Hz電壓允許變動范圍：額定值的±5%（但是可運(yùn)行的范圍為±10%）（2）最大負(fù)荷容量：3KW（3）最大電流：15A（4）放置箱體時注意與墻面距離應(yīng)大于300mm。特別要求：文檔到指定的網(wǎng)絡(luò)路徑：透過txt或者csv拋檔案到ip位置路徑。然後他生產(chǎn)使用量監(jiān)控要求：通過流量計(jì)+電池閥延時控制，量化氣體，控制成本。剩馀量是從藥水那邊的液位監(jiān)控,低位報(bào)警。HMDS藥液流量需可卡控上下限，超出范圍報(bào)警提醒，機(jī)臺拋檔使用TXT格式，數(shù)據(jù)：HMDS藥劑流量，溫度、壓力、作業(yè)批號、作業(yè)人員工號、作業(yè)開始時間、結(jié)束時間、報(bào)警信息、制程信息。load/unload高度/方向：(上下貨放cassette在機(jī)臺上的高度/備注cassette放置于設(shè)備前方或左右側(cè)）芯片傳送方式：（具備cassetteincassetteout)上下貨門需要能自動感測開啟程序自動調(diào)檔：（當(dāng)cassette至于上貨平臺即能掃檔帶出該批貨的程序自動執(zhí)行）軟件支持SEMI自動化標(biāo)準(zhǔn)SECS/GEM通訊接口冷卻隧道爐箱體冷卻爐。
HMDS預(yù)處理系統(tǒng)的原理：HMDS預(yù)處理系統(tǒng)通過對烘箱HMDS預(yù)處理過程的工作溫度、處理時間、處理時保持時間等參數(shù)可以在硅片、基片表面均勻涂布一層HMDS，降低了HMDS處理后的硅片接觸角，降低了光刻膠的用量，提高光刻膠與硅片的黏附性。HMDS預(yù)處理系統(tǒng)的一般工作流程：首先確定烘箱工作溫度。典型的預(yù)處理程序?yàn)椋捍蜷_真空泵抽真空，待腔內(nèi)真空度達(dá)到某一高真空度后，開始充入氮?dú)猓涞侥车驼婵斩群?，再次進(jìn)行抽真空、充入氮?dú)獾倪^程，到達(dá)設(shè)定的充入氮?dú)獯螖?shù)后，開始保持一段時間，使硅片充分受熱，減少硅片表面的水分。然后再次開始抽真空，充入HMDS氣體，在到達(dá)設(shè)定時間后，停止充入HMDS藥液，進(jìn)入保持階段，使硅片充分與HMDS反應(yīng)。當(dāng)達(dá)到設(shè)定的保持時間后，再次開始抽真空。充入氮?dú)?，完成整個作業(yè)過程。HMDS與硅片反應(yīng)機(jī)理如圖：首先加熱到100℃-200℃，去除硅片表面的水分，然后HMDS與表面的OH一反應(yīng)，在硅片表面生成硅醚，消除氫鍵作，從而使極性表面變成非極性表面。整個反應(yīng)持續(xù)到空間位阻(三甲基硅烷基較大)阻止其進(jìn)一步反應(yīng)。精密送風(fēng)循環(huán)隧道爐。上海性價比高工業(yè)烤箱價格
方型鐘罩燒結(jié)爐 2. 用 途 銅金屬基材熱導(dǎo)管燒結(jié)、退火熱處理用。鎮(zhèn)江性價比高工業(yè)烤箱電話
3.1.3骨架:在室體的長度方向上採用矩型方管作為結(jié)構(gòu)框架,在長度方向上間隔的安裝焊接柱子，牆板和柱子用U形槽連接，在室體頂部採用矩型方管作為加固梁連接寬度方向倆邊的柱子，從而保證整套室體的結(jié)構(gòu)性能。3.1.4送排風(fēng)風(fēng)道：在烘烤爐體二側(cè)面設(shè)有送風(fēng)風(fēng)道，送風(fēng)風(fēng)道採用高品質(zhì)耐溫鍍鋅板製作，在烘烤爐體上側(cè)部設(shè)有排風(fēng)風(fēng)道，在排風(fēng)風(fēng)道上設(shè)有調(diào)節(jié)閥，用來調(diào)節(jié)室內(nèi)溫度的均勻性。3.2迴圈風(fēng)機(jī)系統(tǒng)：主要由風(fēng)機(jī)、高品質(zhì)耐溫鍍鋅板、型材框架等組成。由設(shè)計(jì)依據(jù)，本設(shè)計(jì)砂芯烘烤爐配置3組加熱送風(fēng)系統(tǒng)。配置3臺離心式高溫風(fēng)機(jī)。且迴圈風(fēng)管採用高品質(zhì)耐溫鍍鋅板製作，進(jìn)風(fēng)口處安裝風(fēng)量調(diào)節(jié)板。3.3加熱系統(tǒng)：配3套加熱系統(tǒng)，使用燃?xì)馊紵龣C(jī)加熱方式，升溫速度快，成本低。從而保證砂芯烘烤爐溫度的需要。鎮(zhèn)江性價比高工業(yè)烤箱電話
昆山臺上品工業(yè)自動化有限公司坐落于昆山市巴城鎮(zhèn)石牌中華路1083號，是集設(shè)計(jì)、開發(fā)、生產(chǎn)、銷售、售后服務(wù)于一體，機(jī)械及行業(yè)設(shè)備的生產(chǎn)型企業(yè)。公司在行業(yè)內(nèi)發(fā)展多年，持續(xù)為用戶提供整套工業(yè)烤箱，鐘罩爐，推板爐，鏈條爐的解決方案。公司主要經(jīng)營工業(yè)烤箱，鐘罩爐，推板爐，鏈條爐等，我們始終堅(jiān)持以可靠的產(chǎn)品質(zhì)量，良好的服務(wù)理念，優(yōu)惠的服務(wù)價格誠信和讓利于客戶，堅(jiān)持用自己的服務(wù)去打動客戶。HOTTSP致力于開拓國內(nèi)市場，與機(jī)械及行業(yè)設(shè)備行業(yè)內(nèi)企業(yè)建立長期穩(wěn)定的伙伴關(guān)系，公司以產(chǎn)品質(zhì)量及良好的售后服務(wù)，獲得客戶及業(yè)內(nèi)的一致好評。我們本著客戶滿意的原則為客戶提供工業(yè)烤箱，鐘罩爐，推板爐，鏈條爐產(chǎn)品售前服務(wù)，為客戶提供周到的售后服務(wù)。價格低廉優(yōu)惠，服務(wù)周到，歡迎您的來電！