用作高分辨率光譜儀。法布里-珀luo gan涉儀等多光束干涉儀具有很尖銳的干涉極大，因而有極高的光譜分辨率，常用作光譜的精細結(jié)構(gòu)和超精細結(jié)構(gòu)分析。歷史上的作用。19世紀的波動論者認為光波或電磁波必須在彈性介質(zhì)中才得以傳播，這種假想的彈性介質(zhì)稱為以太。人們做了一系列實驗來驗證以太的存在并探求其屬性。以干涉原理為基礎的實驗極為精確，其中極有名的是菲佐實驗和邁克耳孫-莫雷實驗。1851年，A.H.L.菲佐用特別設計的干涉儀做了關于運動介質(zhì)中的光速的實驗，以驗明運動介質(zhì)是否曳引以太。1887年，A.A.邁克耳孫和E.W.莫雷合作利用邁克耳孫干涉儀試圖檢測地球相對jue dui靜止的以太的運動。對以太的研究為A.愛因斯坦的狹義相對論提供了佐證。定位器的觸發(fā)運動控制。電子激光干涉儀位移
干涉儀維護：1、儀器應妥善地放在干燥、清潔的房間內(nèi)，防止振動，儀器搬動時，應托住底座，以防導軌變形。2、光學零件不用時，應存放在清潔的干燥盆內(nèi)，以防止發(fā)霉。反光鏡、分光鏡一般不允許擦拭，必要擦拭時，須先用備件毛刷小心撣去灰塵，再用脫脂清潔棉花球滴上酒精和yi mi混合液輕拭。3、傳動部件應有良好的潤滑。特別是導軌、絲桿、螺母與軸孔部分，應用T5精密儀表油潤滑。4、使用時，各調(diào)整部位用力要適當，不要強旋、硬扳。5、導軌面絲桿應防止劃傷、銹蝕，用畢后，仍保持不失油狀態(tài)。6、經(jīng)過精密調(diào)整的儀器部件上的螺絲，都涂有紅漆，不要擅自轉(zhuǎn)動。浦東新區(qū)激光干涉儀外形尺寸測量Beamline Fac。需要具有<100nrad RMS機械指向穩(wěn)定性的鏡架。
這些內(nèi)容不局限于一種技術方案，而是幾種不同技術方案中概括出來的共同點。如采用無導軌干涉儀，對跟蹤系統(tǒng)的要求可以降低；采用二維精密跟蹤測角系統(tǒng)在1M3測量范圍內(nèi)可以得到高精度；有了超半球反射鏡可以提高4路跟蹤方案的精度。在現(xiàn)場進行介入制造和裝配不能等待很長時間，力和熱變形的補償是必須的而且需要足夠快，現(xiàn)在的技術還有相當大的差距，所以這些進展是關鍵性的。應用范圍：新型并行機構(gòu)機床的鑒定，飛機裝配型架的鑒定，大型設備安裝，用于生物芯片精密機器人校準等。
干涉儀分雙光束干涉儀和多光束干涉儀兩大類，前者有瑞利干涉儀、邁克耳孫干涉儀及其變型泰曼干涉儀、馬赫-秦特干涉儀等，后者有法布里-珀luo gan涉儀等。干涉儀的應用極為guang fan。長度測量在雙光束干涉儀中，若介質(zhì)折射率均勻且保持恒定，則干涉條紋的移動是由兩相干光幾何路程之差發(fā)生變化所造成，根據(jù)條紋的移動數(shù)可進行長度的精確比較或jue dui測量。邁克耳孫干涉儀和法布里-珀luo gan涉儀曾被用來以鎘紅譜線的波長表示國際米。折射率測定兩光束的幾何路程保持不變，介質(zhì)折射率變化也可導致光程差的改變，從而引起條紋移動。瑞利干涉儀就是通過條紋移動來對折射率進行相對測量的典型干涉儀。應用于風洞的馬赫-秦特干涉儀被用來對氣流折射率的變化進行實時觀察。電機振動的非接觸頻率分析。
用連續(xù)空間函數(shù)來運算的光的波動理論，在描述純悴的光學現(xiàn)象時，已被證明是十分潛能的，似乎很難用任何別的理論來替換?？墒?，不應當忘記，光學觀測都同時間平均值有關，而不是同瞬時值有關，而且盡管衍射、反射、折射、色散等等理論完全為實驗所證實，但仍可以設想，當人們把用連續(xù)空間函數(shù)進行運算的光的理論應用到光的產(chǎn)生和轉(zhuǎn)化的現(xiàn)象上去時，這個理論會導致和經(jīng)驗相矛盾。關于黑體輻射，光致發(fā)光、紫外光產(chǎn)生陰極射線，以及其他一些有關光的產(chǎn)生和轉(zhuǎn)化的現(xiàn)象的觀察，如果用光的能量在空間中不是連續(xù)分布的這種假說來解釋．似乎就更好理解。按照這里所設想的假設，從點光源發(fā)射出來的光束的能量在傳播中不是連續(xù)分布在越來越大的空間之中，而是由個數(shù)有限的、局限在空間各點的能量子所組成，這些能量子能夠運動，但不能再分割，而只能整個地被吸收或產(chǎn)生出來。皮 米 精 度 位 移 傳 感 器。北京測量激光干涉儀
樣品和細胞的擴張/收縮 長度相對變化（ΔL）。電子激光干涉儀位移
干涉儀應用：幾何精度檢測可用于檢測直線度、垂直度、俯仰與偏擺、平面度、平行度等。位置精度的檢測及其自動補償可檢測數(shù)控機床定位精度、重復定位精度、微量位移精度等。利用雷尼紹ML10激光干涉儀不僅能自動測量機器的誤差，而且還能通過RS232接口自動對其線性誤差進行補償，比通常的補償方法節(jié)省了大量時間，并且避免了手工計算和手動數(shù)控鍵入而引起的操作者誤差，同時可比較大限度地選用被測軸上的補償點數(shù)，使機床達到比較好精度，另外操作者無需具有機床參數(shù)及補償方法的知識。電子激光干涉儀位移