電壓影響
1 當(dāng)電壓自額定值偏離±10%(對(duì)比率表和由化學(xué)電源和交流電網(wǎng)作供電電源的兆歐表)、±15%(對(duì)整流系儀表和鉗形表)或±20%(對(duì)其它儀表)時(shí)，由此引起儀表指示值的改變應(yīng)不超過規(guī)定值。儀表輔助電路用電源、由內(nèi)附手搖發(fā)電機(jī)作供電電源的兆歐表，當(dāng)其電壓自額定值偏離±10%時(shí)，指示值改變應(yīng)不超過表7 規(guī)定值的一半。指示值改變的表示方法與基本誤差表示方法相同。試驗(yàn)在標(biāo)度尺的幾何中心附近和上量限附近的兩點(diǎn)進(jìn)行，整步表在同步點(diǎn)進(jìn)行。如果在儀表上注明額定電壓范圍，則在此范圍內(nèi)的任一電壓下，儀表基本誤差應(yīng)不超過規(guī)定值。
2 檢驗(yàn)電壓影響時(shí)應(yīng)遵守有關(guān)規(guī)定(對(duì)電壓的規(guī)定除外)，且應(yīng)除去變差影響(可輕敲表殼)。檢驗(yàn)相位表和功率因數(shù)表時(shí)，在額定電流下進(jìn)行；檢驗(yàn)功率表時(shí)在額定功率因數(shù)下進(jìn)行。 檢測(cè)軸承誤差在±5μm之間，由軸承誤差引起。福建激光干涉儀彩色共焦技術(shù)
高精度。目前半導(dǎo)體工藝的典型線寬為0.25μm，并正向0.18μm過渡，2009年的預(yù)測(cè)線寬是0.07μm。如果定位要求占線寬的1/3，那么就要求10nm量級(jí)的精度，而且晶片尺寸還在增大，達(dá)到300mm。這就意味著測(cè)量定位系統(tǒng)的精度要優(yōu)于3×10的-8次方，相應(yīng)的激光穩(wěn)頻精度應(yīng)該是10的-9次方數(shù)量級(jí)。
高速度。目前加工機(jī)械的速度已經(jīng)提高到1m/sec以上，上世紀(jì)80年代以前開發(fā)研制的儀器已不適應(yīng)市場(chǎng)的需求。例如惠普公司的干涉儀市場(chǎng)大部分被英國Renishaw所占領(lǐng)，其原因是后者的速度達(dá)到了1m/sec。 惠州激光干涉儀測(cè)量規(guī)定電動(dòng)機(jī)的振動(dòng)小于100nm。
互感器分為電壓互感器和電流互感器兩大類。電壓互感器可在高壓和超高壓的電力系統(tǒng)中用于電壓和功率的測(cè)量等。電流互感器可用在交換電流的測(cè)量、交換電度的測(cè)量和電力拖動(dòng)線路中的保護(hù)。
電壓互感器
按用途分
測(cè)量用電壓互感器或電壓互感器的測(cè)量繞組：在正常電壓范圍內(nèi)，向測(cè)量、計(jì)量裝置提供電網(wǎng)電壓信息；保護(hù)用電壓互感器或電壓互感器的保護(hù)繞組：在電網(wǎng)故障狀態(tài)下，向繼電保護(hù)等裝置提供電網(wǎng)故障電壓信息。
按絕緣介質(zhì)分
干式電壓互感器：由普通絕緣材料浸漬絕緣漆作為絕緣，多用在及以下低電壓等級(jí)；澆注絕緣電壓互感器：由環(huán)氧樹脂或其他樹脂混合材料澆注成型，多用在及以下電壓等級(jí)；油浸式電壓互感器：由絕緣紙和絕緣油作為絕緣，是我國較為常見的結(jié)構(gòu)型式，常用于及以下電壓等級(jí)；氣體絕緣電壓互感器：由氣體作主絕緣，多用在較高電壓等級(jí)。通常只提供測(cè)量用的低電壓互感器是干式，高壓或超高壓密封式氣體絕緣(如六氟化硫)互感器也是干式。澆注式適用于35kV及以下的電壓互感器，35kV以上的產(chǎn)品均為油浸式。
測(cè)控技術(shù)與儀器優(yōu)先領(lǐng)域
在基礎(chǔ)研究的初期，對(duì)于能否有突破性進(jìn)展是很難預(yù)測(cè)的。但是，當(dāng)已經(jīng)取得突破性進(jìn)展時(shí)，則需要有一個(gè)轉(zhuǎn)化機(jī)制以進(jìn)入市場(chǎng)。
（1）納米溯源技術(shù)和系統(tǒng)。
(2)介入安裝和制造的坐標(biāo)跟蹤測(cè)量系統(tǒng)。
關(guān)鍵理論和技術(shù)：超半球反射器(n=2或在機(jī)構(gòu)上創(chuàng)新)，快速、多路干涉儀(頻差3～5兆)，二維精密跟蹤測(cè)角系統(tǒng)(0.2″～0.5″)，通用信號(hào)處理系統(tǒng)(工作頻率5兆)，無導(dǎo)軌半導(dǎo)體激光測(cè)量系統(tǒng)(分辨率1μm)，熱變形仿真，力變形仿真。 測(cè)試齒條齒輪傳動(dòng)系統(tǒng)中，行星齒輪機(jī)械參數(shù)的長期穩(wěn)定性。
內(nèi)光電效應(yīng)：
當(dāng)光照在物體上，使物體的電導(dǎo)率發(fā)生變化，或產(chǎn)生光生電動(dòng)勢(shì)的現(xiàn)象。分為光電導(dǎo)效應(yīng)和光生伏特別的效果應(yīng)（光伏效應(yīng)）。
1 光電導(dǎo)效應(yīng)在光線作用下，電子吸收光子能量從鍵合狀態(tài)過度到自由狀態(tài)，而引起材料電導(dǎo)率的變化。當(dāng)光照射到光電導(dǎo)體上時(shí)，若這個(gè)光電導(dǎo)體為本征半導(dǎo)體材料，且光輻射能量又足夠強(qiáng)，光電材料價(jià)帶上的電子將被激發(fā)到導(dǎo)帶上去，使光導(dǎo)體的電導(dǎo)率變大?；谶@種效應(yīng)的光電器件有光敏電阻。
2 光生伏特別的效果應(yīng)“光生伏特別的效果應(yīng)”，簡(jiǎn)稱“光伏效應(yīng)”。 超精密和非接觸式表面分析。非接觸激光干涉儀外形尺寸測(cè)量
易于集成（只?1.2mm，重量只幾克）。福建激光干涉儀彩色共焦技術(shù)
高靈敏，高分辨，小型化。如將光譜儀集成到一塊電路板上。
標(biāo)準(zhǔn)化。通訊接口過去常用GPIB，RS232，目前有可能成為替代物的高性能標(biāo)準(zhǔn)是USB、IEEE1394和VXI?，F(xiàn)在，技術(shù)前面者設(shè)法控制技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)，參與標(biāo)準(zhǔn)制訂是儀器開發(fā)的基礎(chǔ)研究工作之一。
配合數(shù)控設(shè)備的技術(shù)創(chuàng)新(如主軸速度，精度創(chuàng)成)
數(shù)控設(shè)備的主要誤差來源可分為幾何誤差（共有21項(xiàng)）和熱誤差。對(duì)于重復(fù)出現(xiàn)的系統(tǒng)誤差，可采用軟件修正；對(duì)于隨機(jī)誤差較大的情況，要采用實(shí)時(shí)修正方法。對(duì)于熱誤差，一般要通過溫度測(cè)量進(jìn)行修正。 福建激光干涉儀彩色共焦技術(shù)