山東激光干涉儀形貌測量

電壓影響

1 當(dāng)電壓自額定值偏離±10%(對(duì)比率表和由化學(xué)電源和交流電網(wǎng)作供電電源的兆歐表)、±15%(對(duì)整流系儀表和鉗形表)或±20%(對(duì)其它儀表)時(shí)，由此引起儀表指示值的改變應(yīng)不超過規(guī)定值。儀表輔助電路用電源、由內(nèi)附手搖發(fā)電機(jī)作供電電源的兆歐表，當(dāng)其電壓自額定值偏離±10%時(shí)，指示值改變應(yīng)不超過表7 規(guī)定值的一半。指示值改變的表示方法與基本誤差表示方法相同。試驗(yàn)在標(biāo)度尺的幾何中心附近和上量限附近的兩點(diǎn)進(jìn)行，整步表在同步點(diǎn)進(jìn)行。如果在儀表上注明額定電壓范圍，則在此范圍內(nèi)的任一電壓下，儀表基本誤差應(yīng)不超過規(guī)定值。

2 檢驗(yàn)電壓影響時(shí)應(yīng)遵守有關(guān)規(guī)定(對(duì)電壓的規(guī)定除外)，且應(yīng)除去變差影響(可輕敲表殼)。檢驗(yàn)相位表和功率因數(shù)表時(shí)，在額定電流下進(jìn)行；檢驗(yàn)功率表時(shí)在額定功率因數(shù)下進(jìn)行。 超精密和非接觸式表面分析。山東激光干涉儀形貌測量

穿心式電流互感器其本身結(jié)構(gòu)不設(shè)一次繞組，載流（負(fù)荷電流）導(dǎo)線由L1至L2穿過由硅鋼片搟卷制成的圓形（或其他形狀）鐵心起一次繞組作用。二次繞組直接均勻地纏繞在圓形鐵心上，與儀表、繼電器、變送器等電流線圈的二次負(fù)荷串聯(lián)形成閉合回路，由于穿心式電流互感器不設(shè)一次繞組，其變比根據(jù)一次繞組穿過互感器鐵心中的匝數(shù)確定，穿心匝數(shù)越多，變比越小；反之，穿心匝數(shù)越少，變比越大，額定電流比I1/n：式中I1——穿心一匝時(shí)一次額定電流；n——穿心匝數(shù)。廣東激光干涉儀高精度測量非接觸式檢測軸承誤差。

高精度。目前半導(dǎo)體工藝的典型線寬為0.25μm，并正向0.18μm過渡，2009年的預(yù)測線寬是0.07μm。如果定位要求占線寬的1/3，那么就要求10nm量級(jí)的精度，而且晶片尺寸還在增大，達(dá)到300mm。這就意味著測量定位系統(tǒng)的精度要優(yōu)于3×10的-8次方，相應(yīng)的激光穩(wěn)頻精度應(yīng)該是10的-9次方數(shù)量級(jí)。

高速度。目前加工機(jī)械的速度已經(jīng)提高到1m/sec以上，上世紀(jì)80年代以前開發(fā)研制的儀器已不適應(yīng)市場的需求。例如惠普公司的干涉儀市場大部分被英國Renishaw所占領(lǐng)，其原因是后者的速度達(dá)到了1m/sec。

波長的測量任何一個(gè)以波長為單位測量標(biāo)準(zhǔn)米尺的方法也就是以標(biāo)準(zhǔn)米尺為單位來測量波長的方法。以國際米為標(biāo)準(zhǔn)，利用干涉儀可精確測定光波波長。法布里-珀luo gan 涉儀（標(biāo)準(zhǔn)具）曾被用來確定波長的初級(jí)標(biāo)準(zhǔn)（鎘紅譜線波長）和幾個(gè)次級(jí)波長標(biāo)準(zhǔn)，從而通過比較法確定其他光譜線的波長。檢驗(yàn)光學(xué)元件泰曼干涉儀被普遍用來檢驗(yàn)平板、棱鏡和透鏡等光學(xué)元件的質(zhì)量。在泰曼干涉儀的一個(gè)光路中放置待檢查的平板或棱鏡，平板或棱鏡的折射率或幾何尺寸的任何不均勻性必將反映到干涉圖樣上。若在光路中放置透鏡，可根據(jù)干涉圖樣了解由透鏡造成的波面畸變，從而評(píng)估透鏡的波像差。熱力或磁力應(yīng)變作為ΔL與初始長度（Lo）之間的比率。

利用不同構(gòu)形的彈性敏感元件可測量各種物體的應(yīng)力、應(yīng)變、壓力、扭矩、加速度等機(jī)械量。半導(dǎo)體應(yīng)變片與電阻應(yīng)變片(見電阻應(yīng)變片相比，具有靈敏系數(shù)高（約高 50～100倍）、機(jī)械滯后小、體積小、耗電少等優(yōu)點(diǎn)。P型和N型硅的靈敏系數(shù)符號(hào)相反，適于接成電橋的相鄰兩臂測量同一應(yīng)力。早期的半導(dǎo)體應(yīng)變片采用機(jī)械加工、化學(xué)腐蝕等方法制成，稱為體型半導(dǎo)體應(yīng)變片。它的缺點(diǎn)是電阻和靈敏系數(shù)的溫度系數(shù)大、非線性大和分散性大等。這曾限制了它的應(yīng)用和發(fā)展。自70年代以來，隨著半導(dǎo)體集成電路工藝的迅速發(fā)展，相繼出現(xiàn)擴(kuò)散型、外延型和薄膜型半導(dǎo)體應(yīng)變片，上述缺點(diǎn)得到一定克服。半導(dǎo)體應(yīng)變片主要應(yīng)用于飛機(jī)、導(dǎo)彈、車輛、船舶、機(jī)床、橋梁等各種設(shè)備的機(jī)械量測量。擺動(dòng)，θx（Φ）和θy（Φ），它是通過組合兩個(gè)XY-跳動(dòng)誤差水平計(jì)算出來的。 其中Φ是圍繞Z軸的樣本旋轉(zhuǎn)。上海激光干涉儀儀器

100pm/步的線性偏移被確定。山東激光干涉儀形貌測量

干涉儀主要特點(diǎn)

1.同時(shí)測量線性定位誤差、直線度誤差（雙軸）、偏擺角、俯仰角和滾動(dòng)角2.設(shè)計(jì)用于安裝在機(jī)床主軸上的5D/6D傳感器3.可選的無線遙控傳感器極長的控制距離可到25米4.可測量速度、加速度、振動(dòng)等參數(shù)，并評(píng)估機(jī)床動(dòng)態(tài)特性5.全套系統(tǒng)重量只15公斤，設(shè)計(jì)緊湊、體積小，測量機(jī)床時(shí)不需三角架6.集成干涉鏡與激光器于一體，簡化了調(diào)整步驟，減少了調(diào)整時(shí)間7、激光干涉儀可以同時(shí)測量線性定位誤差、直線度誤差(雙軸)、偏擺角、俯仰角和滾動(dòng)角等，以及測量速度、加速度、振動(dòng)等參數(shù)，并評(píng)估機(jī)床動(dòng)態(tài)特性等。8、激光干涉儀的光源——激光，具有g(shù)ao qiang度、高度方向性、空間同調(diào)性、窄帶寬和高度單色性等優(yōu)點(diǎn)。9、激光干涉儀可配合各種折射鏡、反射鏡等來使用。 山東激光干涉儀形貌測量