利用不同構(gòu)形的彈性敏感元件可測量各種物體的應(yīng)力、應(yīng)變、壓力、扭矩、加速度等機械量。半導(dǎo)體應(yīng)變片與電阻應(yīng)變片(見電阻應(yīng)變片相比，具有靈敏系數(shù)高（約高 50～100倍）、機械滯后小、體積小、耗電少等優(yōu)點。P型和N型硅的靈敏系數(shù)符號相反，適于接成電橋的相鄰兩臂測量同一應(yīng)力。早期的半導(dǎo)體應(yīng)變片采用機械加工、化學(xué)腐蝕等方法制成，稱為體型半導(dǎo)體應(yīng)變片。它的缺點是電阻和靈敏系數(shù)的溫度系數(shù)大、非線性大和分散性大等。這曾限制了它的應(yīng)用和發(fā)展。自70年代以來，隨著半導(dǎo)體集成電路工藝的迅速發(fā)展，相繼出現(xiàn)擴散型、外延型和薄膜型半導(dǎo)體應(yīng)變片，上述缺點得到一定克服。半導(dǎo)體應(yīng)變片主要應(yīng)用于飛機、導(dǎo)彈、車輛、船舶、機床、橋梁等各種設(shè)備的機械量測量。激光電流以高頻調(diào)幅（~MHz）。韶關(guān)激光干涉儀共焦
這些內(nèi)容不局限于一種技術(shù)方案，而是幾種不同技術(shù)方案中概括出來的共同點。如采用無導(dǎo)軌干涉儀，對跟蹤系統(tǒng)的要求可以降低；采用二維精密跟蹤測角系統(tǒng)在1M3測量范圍內(nèi)可以得到高精度；有了超半球反射鏡可以提高4路跟蹤方案的精度。在現(xiàn)場進行介入制造和裝配不能等待很長時間，力和熱變形的補償是必須的而且需要足夠快，現(xiàn)在的技術(shù)還有相當(dāng)大的差距，所以這些進展是關(guān)鍵性的。應(yīng)用范圍：新型并行機構(gòu)機床的鑒定，飛機裝配型架的鑒定，大型設(shè)備安裝，用于生物芯片精密機器人校準等。福建段差激光干涉儀實時通訊接口：HSSL，AquadB和Sin / Cos。
高精度。目前半導(dǎo)體工藝的典型線寬為0.25μm，并正向0.18μm過渡，2009年的預(yù)測線寬是0.07μm。如果定位要求占線寬的1/3，那么就要求10nm量級的精度，而且晶片尺寸還在增大，達到300mm。這就意味著測量定位系統(tǒng)的精度要優(yōu)于3×10的-8次方，相應(yīng)的激光穩(wěn)頻精度應(yīng)該是10的-9次方數(shù)量級。
高速度。目前加工機械的速度已經(jīng)提高到1m/sec以上，上世紀80年代以前開發(fā)研制的儀器已不適應(yīng)市場的需求。例如惠普公司的干涉儀市場大部分被英國Renishaw所占領(lǐng)，其原因是后者的速度達到了1m/sec。
(4)計算機輔助測量理論。信號處理系統(tǒng)的標準化、模塊化、兼容和集成。例如，目前多數(shù)采用ISA總線、IEEE488口，今后計算機可能取消ISA總線，用于筆記本電腦的USB接口將廣泛應(yīng)用。過去，中國生產(chǎn)的儀器滿足于數(shù)字顯示，沒有數(shù)據(jù)交換接口，難以進入國際市場。國外生產(chǎn)的儀器普遍配備IEEE488(GPIB)口。RS232：目前有可能成為替代物的高性能標準是USB、IEEE1394和VXI。在此轉(zhuǎn)折期為我們提供了機遇。目前虛擬儀器的工作頻段在千赫數(shù)量級，對于干涉信號處理顯得太低，可以采取聯(lián)合互補的方法形成模塊系列，同時降低成本，從總體上提高研發(fā)工作的效率。根據(jù)已有基礎(chǔ)，發(fā)展特長，有利于克服重復(fù)研究。檢測電機的軸承誤差。
在物理學(xué)家關(guān)于氣體或其他有重物體所形成的理論觀念同麥克斯韋關(guān)于所謂空虛空間中的電磁過程的理論之間，有著深刻的形式上的分歧。這就是，我們認為一個物體的狀態(tài)是由數(shù)目很大但還是有限個數(shù)的原子和電子的坐標和速度來完全確定的；與此相反，為了確定一個空間的電磁狀態(tài)，我們就需要用連續(xù)的空間函數(shù)，因此，為了完全確定一個空間的電磁狀態(tài)，就不能認為有限個數(shù)的物理量就足夠了。按照麥克斯韋的理論，對于一切純電磁現(xiàn)象因而也對于光來說，應(yīng)當(dāng)把能量看作是連續(xù)的空間函數(shù)，而按照物理學(xué)家的看法，一個有重客體的能量，則應(yīng)當(dāng)用其中原子和電子所帶能量的總和來表示。一個有重物體的能量不可能分成任意多個、任意小的部分，而按照光的麥克斯韋理論（或者更一般地說，按照任何波動理論），從一個點光源發(fā)射出來的光束的能量，則是在一個不斷增大的體積中連續(xù)地分布的。提供： 反射器表面誤差，s（Φ）。 XY-跳動運動誤差，εX（Φ）和εy（Φ）。福建段差激光干涉儀
除基頻外，還確定了其第二次和第四次諧波。韶關(guān)激光干涉儀共焦
內(nèi)光電效應(yīng)：
當(dāng)光照在物體上，使物體的電導(dǎo)率發(fā)生變化，或產(chǎn)生光生電動勢的現(xiàn)象。分為光電導(dǎo)效應(yīng)和光生伏特別的效果應(yīng)（光伏效應(yīng)）。
1 光電導(dǎo)效應(yīng)在光線作用下，電子吸收光子能量從鍵合狀態(tài)過度到自由狀態(tài)，而引起材料電導(dǎo)率的變化。當(dāng)光照射到光電導(dǎo)體上時，若這個光電導(dǎo)體為本征半導(dǎo)體材料，且光輻射能量又足夠強，光電材料價帶上的電子將被激發(fā)到導(dǎo)帶上去，使光導(dǎo)體的電導(dǎo)率變大。基于這種效應(yīng)的光電器件有光敏電阻。
2 光生伏特別的效果應(yīng)“光生伏特別的效果應(yīng)”，簡稱“光伏效應(yīng)”。 韶關(guān)激光干涉儀共焦