高精度。目前半導(dǎo)體工藝的典型線寬為0.25μm，并正向0.18μm過(guò)渡，2009年的預(yù)測(cè)線寬是0.07μm。如果定位要求占線寬的1/3，那么就要求10nm量級(jí)的精度，而且晶片尺寸還在增大，達(dá)到300mm。這就意味著測(cè)量定位系統(tǒng)的精度要優(yōu)于3×10的-8次方，相應(yīng)的激光穩(wěn)頻精度應(yīng)該是10的-9次方數(shù)量級(jí)。
高速度。目前加工機(jī)械的速度已經(jīng)提高到1m/sec以上，上世紀(jì)80年代以前開(kāi)發(fā)研制的儀器已不適應(yīng)市場(chǎng)的需求。例如惠普公司的干涉儀市場(chǎng)大部分被英國(guó)Renishaw所占領(lǐng)，其原因是后者的速度達(dá)到了1m/sec。 檢測(cè)軸承誤差在±5μm之間，由軸承誤差引起。廣東激光干涉儀金線檢測(cè)
5 指針不應(yīng)彎曲，與標(biāo)度盤(pán)表面間的距離要適當(dāng)。對(duì)裝有反射鏡式讀數(shù)裝置的儀表應(yīng)不大于(0.02L+1)MM；其余儀表應(yīng)不大于(0.01L+1)MM。指針與標(biāo)度尺在同一水平面上的儀表，其指針前列與標(biāo)度尺邊緣的間隙應(yīng)不超過(guò)(0.01L+0.8)MM。其中L 是標(biāo)度尺長(zhǎng)度，MM。刀形和絲形指針的前列至少應(yīng)蓋住標(biāo)度尺上較短分度線的1/2，矛形指針可為1/2～3/4；
6 檢查有無(wú)封印，外殼密封是否良好。
三相儀表應(yīng)在對(duì)稱(chēng)電壓和平衡負(fù)載的條件下檢驗(yàn)。三相系統(tǒng)中每一個(gè)線電壓或相電壓以及電流與系統(tǒng)中相應(yīng)量的平均值之差均不應(yīng)大于1%。各個(gè)相電流與對(duì)應(yīng)相電壓的相位差之間的差值不大于2°。 平臺(tái)校準(zhǔn)激光干涉儀表面粗糙度工業(yè)位移傳感器（IDS）。
用連續(xù)空間函數(shù)來(lái)運(yùn)算的光的波動(dòng)理論，在描述純悴的光學(xué)現(xiàn)象時(shí)，已被證明是十分潛能的，似乎很難用任何別的理論來(lái)替換?？墒牵粦?yīng)當(dāng)忘記，光學(xué)觀測(cè)都同時(shí)間平均值有關(guān)，而不是同瞬時(shí)值有關(guān)，而且盡管衍射、反射、折射、色散等等理論完全為實(shí)驗(yàn)所證實(shí)，但仍可以設(shè)想，當(dāng)人們把用連續(xù)空間函數(shù)進(jìn)行運(yùn)算的光的理論應(yīng)用到光的產(chǎn)生和轉(zhuǎn)化的現(xiàn)象上去時(shí)，這個(gè)理論會(huì)導(dǎo)致和經(jīng)驗(yàn)相矛盾。關(guān)于黑體輻射，光致發(fā)光、紫外光產(chǎn)生陰極射線，以及其他一些有關(guān)光的產(chǎn)生和轉(zhuǎn)化的現(xiàn)象的觀察，如果用光的能量在空間中不是連續(xù)分布的這種假說(shuō)來(lái)解釋?zhuān)坪蹙透美斫狻０凑者@里所設(shè)想的假設(shè)，從點(diǎn)光源發(fā)射出來(lái)的光束的能量在傳播中不是連續(xù)分布在越來(lái)越大的空間之中，而是由個(gè)數(shù)有限的、局限在空間各點(diǎn)的能量子所組成，這些能量子能夠運(yùn)動(dòng)，但不能再分割，而只能整個(gè)地被吸收或產(chǎn)生出來(lái)。
結(jié)構(gòu)原理：普通電流互感器結(jié)構(gòu)原理：電流互感器的結(jié)構(gòu)較為簡(jiǎn)單，由相互絕緣的一次繞組、二次繞組、鐵心以及構(gòu)架、殼體、接線端子等組成。其工作原理與變壓器基本相同，一次繞組的匝數(shù)（N1）較少，直接串聯(lián)于電源線路中，一次負(fù)荷電流(I1)通過(guò)一次繞組時(shí)，產(chǎn)生的交變磁通感應(yīng)產(chǎn)生按比例減小的二次電流（I2）；二次繞組的匝數(shù)（N2）較多，與儀表、繼電器、變送器等電流線圈的二次負(fù)荷（Z）串聯(lián)形成閉合回路，由于一次繞組與二次繞組有相等的安培匝數(shù)，I1N1=I2N2，電流互感器額定電流比電流互感器實(shí)際運(yùn)行中負(fù)荷阻抗很小，二次繞組接近于短路狀態(tài)，相當(dāng)于一個(gè)短路運(yùn)行的變壓器。提供： 反射器表面誤差，s（Φ）。 XY-跳動(dòng)運(yùn)動(dòng)誤差，εX（Φ）和εy（Φ）。
激光干涉儀，以激光波長(zhǎng)為已知長(zhǎng)度，利用邁克耳遜干涉系統(tǒng)測(cè)量位移的通用長(zhǎng)度測(cè)量。激光具有高的強(qiáng)度、高度方向性、空間同調(diào)性、窄帶寬和高度單色性等優(yōu)點(diǎn)。目前常用來(lái)測(cè)量長(zhǎng)度的干涉儀，主要是以邁克爾遜干涉儀為主，并以穩(wěn)頻氦氖激光為光源，構(gòu)成一個(gè)具有干涉作用的測(cè)量系統(tǒng)。激光干涉儀可配合各種折射鏡、反射鏡等來(lái)作線性位置、速度、角度、真平度、真直度、平行度和垂直度等測(cè)量工作，并可作為精密工具機(jī)或測(cè)量?jī)x器的校正工作。英文名稱(chēng)：laser interferometer坐標(biāo)測(cè)量機(jī)軸位置捕獲。黃浦區(qū)激光干涉儀厚度測(cè)量
膨脹計(jì)：熱膨脹和磁致伸縮測(cè)量。廣東激光干涉儀金線檢測(cè)
波長(zhǎng)的測(cè)量任何一個(gè)以波長(zhǎng)為單位測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)米尺的方法也就是以標(biāo)準(zhǔn)米尺為單位來(lái)測(cè)量波長(zhǎng)的方法。以國(guó)際米為標(biāo)準(zhǔn)，利用干涉儀可精確測(cè)定光波波長(zhǎng)。法布里-珀luo gan 涉儀（標(biāo)準(zhǔn)具）曾被用來(lái)確定波長(zhǎng)的初級(jí)標(biāo)準(zhǔn)（鎘紅譜線波長(zhǎng)）和幾個(gè)次級(jí)波長(zhǎng)標(biāo)準(zhǔn)，從而通過(guò)比較法確定其他光譜線的波長(zhǎng)。檢驗(yàn)光學(xué)元件泰曼干涉儀被普遍用來(lái)檢驗(yàn)平板、棱鏡和透鏡等光學(xué)元件的質(zhì)量。在泰曼干涉儀的一個(gè)光路中放置待檢查的平板或棱鏡，平板或棱鏡的折射率或幾何尺寸的任何不均勻性必將反映到干涉圖樣上。若在光路中放置透鏡，可根據(jù)干涉圖樣了解由透鏡造成的波面畸變，從而評(píng)估透鏡的波像差。廣東激光干涉儀金線檢測(cè)
上海岱珂機(jī)電設(shè)備有限公司是我國(guó)光譜共焦傳感器，高精度3D測(cè)量系統(tǒng)，涂層厚度檢測(cè)傳感器，同軸激光位移傳感器專(zhuān)業(yè)化較早的有限責(zé)任公司（自然）之一，岱珂機(jī)電是我國(guó)儀器儀表技術(shù)的研究和標(biāo)準(zhǔn)制定的重要參與者和貢獻(xiàn)者。公司承擔(dān)并建設(shè)完成儀器儀表多項(xiàng)重點(diǎn)項(xiàng)目，取得了明顯的社會(huì)和經(jīng)濟(jì)效益。將憑借高精尖的系列產(chǎn)品與解決方案，加速推進(jìn)全國(guó)儀器儀表產(chǎn)品競(jìng)爭(zhēng)力的發(fā)展。