平臺(tái)校準(zhǔn)激光干涉儀形貌測(cè)量

來(lái)源: 發(fā)布時(shí)間:2023-09-28

體型半導(dǎo)體應(yīng)變片這種半導(dǎo)體應(yīng)變片是將單晶硅錠切片、研磨、腐蝕壓焊引線,結(jié)尾粘貼在鋅酚醛樹(shù)脂或聚酰亞胺的襯底上制成的。體型半導(dǎo)體應(yīng)變片可分為6種。

①普通型:它適合于一般應(yīng)力測(cè)量;

②溫度自動(dòng)補(bǔ)償型:它能使溫度引起的導(dǎo)致應(yīng)變電阻變化的各種因素自動(dòng)抵消,只適用于特定的試件材料;

③靈敏度補(bǔ)償型:通過(guò)選擇適當(dāng)?shù)囊r底材料(例如不銹鋼),并采用穩(wěn)流電路,使溫度引起的靈敏度變化極??;

④高輸出(高電阻)型:它的阻值很高(2~10千歐),可接成電橋以高電壓供電而獲得高輸出電壓,因而可不經(jīng)放大而直接接入指示儀表。

⑤超線性型:它在比較寬的應(yīng)力范圍內(nèi),呈現(xiàn)較寬的應(yīng)變線性區(qū)域,適用于大應(yīng)變范圍的場(chǎng)合;

⑥P-N組合溫度補(bǔ)償型:它選用配對(duì)的P型和N型兩種轉(zhuǎn)換元件作為電橋的相鄰兩臂,從而使溫度特性和非線性特性有較大改善。   動(dòng)態(tài)(增益和偏移)重新調(diào)整。平臺(tái)校準(zhǔn)激光干涉儀形貌測(cè)量

波長(zhǎng)的測(cè)量任何一個(gè)以波長(zhǎng)為單位測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)米尺的方法也就是以標(biāo)準(zhǔn)米尺為單位來(lái)測(cè)量波長(zhǎng)的方法。以國(guó)際米為標(biāo)準(zhǔn),利用干涉儀可精確測(cè)定光波波長(zhǎng)。法布里-珀luo gan 涉儀(標(biāo)準(zhǔn)具)曾被用來(lái)確定波長(zhǎng)的初級(jí)標(biāo)準(zhǔn)(鎘紅譜線波長(zhǎng))和幾個(gè)次級(jí)波長(zhǎng)標(biāo)準(zhǔn),從而通過(guò)比較法確定其他光譜線的波長(zhǎng)。檢驗(yàn)光學(xué)元件泰曼干涉儀被普遍用來(lái)檢驗(yàn)平板、棱鏡和透鏡等光學(xué)元件的質(zhì)量。在泰曼干涉儀的一個(gè)光路中放置待檢查的平板或棱鏡,平板或棱鏡的折射率或幾何尺寸的任何不均勻性必將反映到干涉圖樣上。若在光路中放置透鏡,可根據(jù)干涉圖樣了解由透鏡造成的波面畸變,從而評(píng)估透鏡的波像差。番禺區(qū)粗糙度激光干涉儀干涉位移傳感器和低溫顯微鏡系統(tǒng)及低溫恒溫器。

從激光器發(fā)出的光束,經(jīng)擴(kuò)束準(zhǔn)直后由分光鏡分為兩路,并分別從固定反射鏡和可動(dòng)反射鏡反射回來(lái)會(huì)合在分光鏡上而產(chǎn)生干涉條紋。當(dāng)可動(dòng)反射鏡移動(dòng)時(shí),干涉條紋的光強(qiáng)變化由接受器中的光電轉(zhuǎn)換元件和電子線路等轉(zhuǎn)換為電脈沖信號(hào),經(jīng)整形、放大后輸入可逆計(jì)數(shù)器計(jì)算出總脈沖數(shù),再由電子計(jì)算機(jī)按計(jì)算式[356-11]式中λ為激光波長(zhǎng)(N為電脈沖總數(shù)),算出可動(dòng)反射鏡的位移量L。使用單頻激光干涉儀時(shí),要求周圍大氣處于穩(wěn)定狀態(tài),各種空氣湍流都會(huì)引起直流電平變化而影響測(cè)量結(jié)果。

不同變比電流互感器。這種型號(hào)的電流互感器具有同一個(gè)鐵心和一次繞組,而二次繞組則分為兩個(gè)匝數(shù)不同、各自獨(dú)自的繞組,以滿足同一負(fù)荷電流情況下不同變比、不同準(zhǔn)確度等級(jí)的需要,例如在同一負(fù)荷情況下,為了保證電能計(jì)量準(zhǔn)確,要求變比較小一些(以滿足負(fù)荷電流在一次額定值的2/3左右),準(zhǔn)確度等級(jí)高一些(如1K1.1K2為200/5.0.2級(jí));而用電設(shè)備的繼電保護(hù),考慮到故障電流的保護(hù)系數(shù)較大,則要求變比較大一些,準(zhǔn)確度等級(jí)可以稍低一點(diǎn)(如2K1.2K2為300/5.1級(jí))。電機(jī)振動(dòng)的非接觸頻率分析。

干涉儀分雙光束干涉儀和多光束干涉儀兩大類,前者有瑞利干涉儀、邁克耳孫干涉儀及其變型泰曼干涉儀、馬赫-秦特干涉儀等,后者有法布里-珀luogan涉儀等。干涉儀的應(yīng)用極為guangfan。長(zhǎng)度測(cè)量在雙光束干涉儀中,若介質(zhì)折射率均勻且保持恒定,則干涉條紋的移動(dòng)是由兩相干光幾何路程之差發(fā)生變化所造成,根據(jù)條紋的移動(dòng)數(shù)可進(jìn)行長(zhǎng)度的精確比較或juedui測(cè)量。邁克耳孫干涉儀和法布里-珀luogan涉儀曾被用來(lái)以鎘紅譜線的波長(zhǎng)表示國(guó)際米。折射率測(cè)定兩光束的幾何路程保持不變,介質(zhì)折射率變化也可導(dǎo)致光程差的改變,從而引起條紋移動(dòng)。瑞利干涉儀就是通過(guò)條紋移動(dòng)來(lái)對(duì)折射率進(jìn)行相對(duì)測(cè)量的典型干涉儀。應(yīng)用于風(fēng)洞的馬赫-秦特干涉儀被用來(lái)對(duì)氣流折射率的變化進(jìn)行實(shí)時(shí)觀察。           用于齒輪箱和驅(qū)動(dòng)動(dòng)力傳動(dòng)系的機(jī)械負(fù)載測(cè)試的運(yùn)動(dòng)跟蹤。三維輪廓激光干涉儀缺陷檢測(cè)儀器

非接觸式檢測(cè)軸承誤差。平臺(tái)校準(zhǔn)激光干涉儀形貌測(cè)量

雙頻激光干涉儀:在氦氖激光器上,加上一個(gè)約0.03特斯拉的軸向磁場(chǎng)。由于塞曼分裂效應(yīng)和頻率牽引效應(yīng),激光器產(chǎn)生1和2兩個(gè)不同頻率的左旋和右旋圓偏振光。雙頻激光干涉儀是應(yīng)用頻率變化來(lái)測(cè)量位移的,這種位移信息載于f1和f2的頻差上,對(duì)由光強(qiáng)變化引起的直流電平變化不敏感,所以抗干擾能力強(qiáng)。它常用于檢定測(cè)長(zhǎng)機(jī)、三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)、光刻機(jī)和加工中心等的坐標(biāo)精度,也可用作測(cè)長(zhǎng)機(jī)、高精度三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)等的測(cè)量系統(tǒng)。利用相應(yīng)附件,還可進(jìn)行高精度直線度測(cè)量、平面度測(cè)量和小角度測(cè)量。平臺(tái)校準(zhǔn)激光干涉儀形貌測(cè)量