數控轉臺分度精度的檢測:數控轉臺分度精度的檢測及其自動補償現(xiàn)在，利用ML10激光干涉儀加上RX10轉臺基準還能進行回轉軸的自動測量。它可對任意角度位置，以任意角度間隔進行全自動測量，其精度達±1。新的國際標準已推薦使用該項新技術。它比傳統(tǒng)用自準直儀和多面體的方法不僅節(jié)約了大量的測量時間，而且還得到完整的回轉軸精度曲線，知曉其精度的每一細節(jié)，并給出按相關標準處理的統(tǒng)計結果。知曉其精度的每一細節(jié)，并給出按相關標準處理的統(tǒng)計結果。 在測量軟件WAVE的FFT圖中，實時顯示位移數據，可快速簡便地進行頻譜分析，以識別共振頻率！皮米精度激光干涉儀深度測量
頻率影響
1.當頻率自額定值偏離±10%(但對相位表和功率因數表為±2%，對單相無功功率表為±5%)時，由此所引起的儀表指示值的改變應不超過表7中的規(guī)定值。如果在儀表上注明額定頻率范圍，則在此范圍內的任一頻率下，儀表的基本誤差都應不超過規(guī)定值。如果在儀表上除注明額定頻率外，還注明有擴大的頻率范圍時，則在此范圍內的任一頻率下，儀表的基本誤差應不超過表7中規(guī)定值的兩倍。儀表輔助電路的電源，當其頻率自額定值偏離±2%時，由此引起的儀表指示值的改變，應不超過表7規(guī)定值的一半。
2.檢驗頻率的影響時，應遵守有關規(guī)定(對頻率的規(guī)定除外)，且應除去變差影響。試驗是在標度尺的幾何中心附近和上量限附近的兩點分度線上進行。相位表在額定電流下進行，功率表在額定功率因數下進行。 翹曲度激光干涉儀形貌測量除基頻外，還確定了其第二次和第四次諧波。
(3)非接觸測頭以及各種掃描探針顯微鏡。航空航天行業(yè)對此已經提出迫切要求，這是今后坐標測量機發(fā)展的關鍵技術。目前接觸式測頭已完全被國外所壟斷，非接觸測頭還沒有發(fā)展成熟，我們有參與競爭的機遇。以前較多采用的激光三角法原理受到很多限制，難以有突破性進展，但可在原理創(chuàng)新上下功夫。應該突破0.1～0.5μm分辨率。(5)新器件，新材料。過去，科研評價體系存在偏重于整機和系統(tǒng)，忽視材料和器件的趨向。新的突破點可能出現(xiàn)在新光源、新型高頻探測器。目前探測器的響應頻率只有10的9次方，而光頻高達10的14次方，目前干涉儀實際上是起著混頻器的作用，適應探測器的不足(如果探測器的響應果真能超過光頻，干涉儀也就沒有用了)。如果探測器的性能得到顯著提高，對于通訊也是很大的突破。
不同變比電流互感器。這種型號的電流互感器具有同一個鐵心和一次繞組，而二次繞組則分為兩個匝數不同、各自獨自的繞組，以滿足同一負荷電流情況下不同變比、不同準確度等級的需要，例如在同一負荷情況下，為了保證電能計量準確，要求變比較小一些（以滿足負荷電流在一次額定值的2/3左右），準確度等級高一些（如1K1.1K2為200/5.0.2級）；而用電設備的繼電保護，考慮到故障電流的保護系數較大，則要求變比較大一些，準確度等級可以稍低一點（如2K1.2K2為300/5.1級）。 中國物聯(lián)網校企聯(lián)盟認為，傳感器的存在和發(fā)展。
按一次繞組對地運行狀態(tài)分一次繞組接地的電壓互感器：單相電壓互感器一次繞組的末端或三相電壓互感器一次繞組的中性點直接接地；一次繞組不接地的電壓互感器：單相電壓互感器一次繞組兩端子對地都是絕緣的；三相電壓互感器一次繞組的各部分，包括接線端子對地都是絕緣的，而且絕緣水平與額定絕緣水平一致。按磁路結構分單級式電壓互感器：一次繞組和二次繞組 （根據需要可設多個二次繞組同繞在一個鐵芯上，鐵芯為地電位。我國在及以下電壓等級均用單級式；串級式電壓互感器：一次繞組分成幾個匝數相同的單元串接在相與地之間，每一單元有各自獨自的鐵芯，具有多個鐵芯，且鐵芯帶有高電壓，二次繞組（根據需要可設多個二次繞組處在較為末一個與地連接的單元。我國在電壓等級常用此種結構型式；組合式互感器：由電壓互感器和電流互感器組合并形成一體的互感器稱為組合式互感器，也有把與組合電器配套生產的互感器稱為組合式互感器。 晶圓表面測量可以在各種各樣的目標上進行測量!翹曲度激光干涉儀形貌測量
振動分析有助于檢測共振頻率。皮米精度激光干涉儀深度測量
按相數分絕大多數產品是單相的，因為電壓互感器容量小，器身體積不大，三相高壓套管間的內外絕緣要求難以滿足，所以只有3-15kV的產品有時采用三相結構。按電壓變換原理分電磁式電壓互感器：根據電磁感應原理變換電壓，原理與基本結構和變壓器完全相似，我國多在及以下電壓等級采用；電容式電壓互感器：由電容分壓器、補償電抗器、中間變壓器、阻尼器及載波裝置防護間隙等組成，用在中性點接地系統(tǒng)里作電壓測量、功率測量、繼電防護及載波通訊用；光電式電壓互感器：通過光電變換原理以實現(xiàn)電壓變換，還在研制中。按使用條件分戶內型電壓互感器：安裝在室內配電裝置中，一般用在及以下電壓等級；戶外型電壓互感器：安裝在戶外配電裝置中，多用在及以上電壓等級。皮米精度激光干涉儀深度測量