干涉儀分雙光束干涉儀和多光束干涉儀兩大類， 前者有瑞利干涉儀、邁克耳孫干涉儀及其變型泰曼干涉儀、馬赫-秦特干涉儀等，后者有法布里-珀luo gan涉儀等。干涉儀的應(yīng)用極為guang fan。長(zhǎng)度測(cè)量在雙光束干涉儀中，若介質(zhì)折射率均勻且保持恒定，則干涉條紋的移動(dòng)是由兩相干光幾何路程之差發(fā)生變化所造成，根據(jù)條紋的移動(dòng)數(shù)可進(jìn)行長(zhǎng)度的精確比較或jue dui測(cè)量。邁克耳孫干涉儀和法布里-珀luo gan涉儀曾被用來以鎘紅譜線的波長(zhǎng)表示國(guó)際米。折射率測(cè)定兩光束的幾何路程保持不變，介質(zhì)折射率變化也可導(dǎo)致光程差的改變，從而引起條紋移動(dòng)。瑞利干涉儀就是通過條紋移動(dòng)來對(duì)折射率進(jìn)行相對(duì)測(cè)量的典型干涉儀。應(yīng)用于風(fēng)洞的馬赫-秦特干涉儀被用來對(duì)氣流折射率的變化進(jìn)行實(shí)時(shí)觀察。坐標(biāo)測(cè)量機(jī)軸位置捕獲。模切尺寸激光干涉儀運(yùn)動(dòng)平臺(tái)
干涉儀分雙光束干涉儀和多光束干涉儀兩大類，前者有瑞利干涉儀、邁克耳孫干涉儀及其變型泰曼干涉儀、馬赫-秦特干涉儀等，后者有法布里-珀luogan涉儀等。干涉儀的應(yīng)用極為guangfan。長(zhǎng)度測(cè)量在雙光束干涉儀中，若介質(zhì)折射率均勻且保持恒定，則干涉條紋的移動(dòng)是由兩相干光幾何路程之差發(fā)生變化所造成，根據(jù)條紋的移動(dòng)數(shù)可進(jìn)行長(zhǎng)度的精確比較或juedui測(cè)量。邁克耳孫干涉儀和法布里-珀luogan涉儀曾被用來以鎘紅譜線的波長(zhǎng)表示國(guó)際米。折射率測(cè)定兩光束的幾何路程保持不變，介質(zhì)折射率變化也可導(dǎo)致光程差的改變，從而引起條紋移動(dòng)。瑞利干涉儀就是通過條紋移動(dòng)來對(duì)折射率進(jìn)行相對(duì)測(cè)量的典型干涉儀。應(yīng)用于風(fēng)洞的馬赫-秦特干涉儀被用來對(duì)氣流折射率的變化進(jìn)行實(shí)時(shí)觀察。 模切尺寸激光干涉儀運(yùn)動(dòng)平臺(tái)不穩(wěn)定的偏航和俯仰測(cè)量。
外觀檢查規(guī)定
1.表盤上或外殼上至少應(yīng)有下述標(biāo)志符號(hào)：A.儀表名稱或被測(cè)之量的標(biāo)志符號(hào)；B.型號(hào)；C.系別符號(hào)；D.準(zhǔn)確度等級(jí)；E.廠名或廠標(biāo)；F.制造標(biāo)準(zhǔn)號(hào)；G.制造年月或出廠編號(hào)；H.電流種類或相數(shù)，三相儀表中測(cè)量機(jī)構(gòu)的元件數(shù)量；I.正常工作位置；J.互感器的變比(指與互感器聯(lián)用的儀表)；K.定值導(dǎo)線值(或符號(hào))和分流器額定電壓降值(對(duì)低量限電壓表的要求)。
2.儀表的端鈕和轉(zhuǎn)換開關(guān)上應(yīng)有用途標(biāo)志；
3.從外表看，零部件完整，無松動(dòng)，無裂縫，無明顯殘缺或污損。當(dāng)傾斜或輕搖儀表時(shí)，內(nèi)部無撞擊聲；
4.向左右兩方向旋動(dòng)機(jī)械調(diào)零器，指示器應(yīng)轉(zhuǎn)動(dòng)靈活，左右對(duì)稱；
中國(guó)機(jī)床行業(yè)市場(chǎng)萎縮同時(shí)又大量進(jìn)口國(guó)外設(shè)備的原因之一就是因?yàn)檫@方面的技術(shù)沒有得到推廣應(yīng)用。為此，需要高速多通道激光干涉儀：其測(cè)量速度達(dá)60m/min以上，采樣速度達(dá)5000次/sec以上，以適應(yīng)熱誤差和幾何誤差測(cè)量的需要?？諝庹凵渎蕦?shí)時(shí)測(cè)量應(yīng)達(dá)到2×10的-7次方水平，其測(cè)量結(jié)果和長(zhǎng)度測(cè)量結(jié)果可同步輸入計(jì)算機(jī)。運(yùn)行和制造過程的監(jiān)控和在線檢測(cè)技術(shù)綜合運(yùn)用圖像、頻譜、光譜、光纖以及其它光與物質(zhì)相互作用原理的傳感器具有非接觸、高靈敏度、高柔性、應(yīng)用范圍廣的優(yōu)點(diǎn)。在這個(gè)領(lǐng)域綜合創(chuàng)新的天地十分廣闊，如振動(dòng)、粗糙度、污染物、含水量、加工尺寸及相互位置等。3軸：測(cè)量不穩(wěn)定的俯仰pitch和偏航運(yùn)動(dòng)yaw。
引力波測(cè)量干涉儀也可以用于引力波探測(cè)(Saulson,1994)。激光干涉儀引力波探測(cè)器的概念是前蘇聯(lián)科學(xué)家Gertsenshtein和Pustovoit在1962年提出的（Gertsenshtein和Pustovoit 1962。1969年美國(guó)科學(xué)家Weiss和Forward則分別在1969年即于麻省理工和休斯實(shí)驗(yàn)室建造初步的試驗(yàn)系統(tǒng)（Weiss 1972）。截止jin ri，激光干涉儀引力波探測(cè)器已經(jīng)發(fā)展了40余年。目前LIGO激光干涉儀實(shí)驗(yàn)宣稱shou ci直接測(cè)量到了引力波 (LIGO collaboration 2016)。LIGO可以認(rèn)為是兩路光線的干涉儀，而另外一類引力波探測(cè)實(shí)驗(yàn)， 脈沖星測(cè)時(shí)陣列則可認(rèn)為是多路光線干涉儀（Hellings和Downs,1983）。實(shí)時(shí)通訊接口：HSSL，AquadB和Sin/Cos！模切尺寸激光干涉儀運(yùn)動(dòng)平臺(tái)
IDS與各種目標(biāo)和目標(biāo)材料兼容！模切尺寸激光干涉儀運(yùn)動(dòng)平臺(tái)
雙頻激光干涉儀：在氦氖激光器上，加上一個(gè)約0.03特斯拉的軸向磁場(chǎng)。由于塞曼分裂效應(yīng)和頻率牽引效應(yīng),激光器產(chǎn)生1和2兩個(gè)不同頻率的左旋和右旋圓偏振光。雙頻激光干涉儀是應(yīng)用頻率變化來測(cè)量位移的，這種位移信息載于f1和f2的頻差上，對(duì)由光強(qiáng)變化引起的直流電平變化不敏感，所以抗干擾能力強(qiáng)。它常用于檢定測(cè)長(zhǎng)機(jī)、三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)、光刻機(jī)和加工中心等的坐標(biāo)精度，也可用作測(cè)長(zhǎng)機(jī)、高精度三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)等的測(cè)量系統(tǒng)。利用相應(yīng)附件，還可進(jìn)行高精度直線度測(cè)量、平面度測(cè)量和小角度測(cè)量。模切尺寸激光干涉儀運(yùn)動(dòng)平臺(tái)