非接觸式晶圓厚度測量系統(tǒng)非接觸式晶圓厚度測量系統(tǒng)是一種利用氣體動靜壓原理工作的非接觸式軸承,由于工作在平面度較好的花崗巖表面,因此本身也能獲得非常理想的運動平面度及平順性,特別適用于高精度檢測以及超精加工領(lǐng)域。對射式非接觸式同軸激光位移傳感器測量?直線電機高精度龍門運動機構(gòu)?兼容拋光、未拋光、透明及非透明晶圓測量?共面氣浮移動軸承確保樣品的移動獲得極高的平面度及平順性?兼容1-8英寸規(guī)格晶圓樣品(可擴展至300mm12英寸產(chǎn)品)?晶圓的測量厚度范圍為10um-20mm?抗震式花崗巖底座及高隔振一體式機架?比較大掃描速度1m/s?可自定義生成快速便捷的自動化測量模式?直觀簡單的2D或3D數(shù)據(jù)呈現(xiàn)方式?適用于厚度,TTV,LTV,TIR,Sori,Taper,Bow和Warp測量參數(shù)及標(biāo)準(zhǔn)馬波斯測量科技為您提供專業(yè)的光譜共焦傳感器,歡迎您的來電!江西馬波斯傳感器原理
所有不同波長的可見光重疊在一起,形成白光。人類肉眼可見光的波長范圍從400nm(藍(lán)光)到700nm(紅光)。通過透鏡,不同顏色的光不會聚焦到同一個點上。這種現(xiàn)象稱為色差透鏡錯誤或者叫色差透鏡偏差。眾所周知,自然界的日光屬白光一種,白光不是純潔的光,而是許多單色光組成的。光在不同介質(zhì)中傳播可能會有角度偏差的現(xiàn)象產(chǎn)生,而實際的白光照射下不同介質(zhì)將有很多單線光的折射。光學(xué)材料(透鏡)對于不同單色光的折射率是不同的,也就是折射角度不同波長愈短折射率愈**長愈長折射率愈小(這也是不同望遠(yuǎn)鏡所謂的色差不同的原因),同一薄透鏡對不同單色光,每一種單色光都有不同的焦距,按色光的波長由短到長,它們的像點離開透鏡由近到遠(yuǎn)地排列在光軸上(不同的單色光的波長是不同的)這樣成像就產(chǎn)生了所謂色差透鏡錯誤。色差透鏡錯誤使成像產(chǎn)生色斑或暈環(huán)。在攝影器材中,應(yīng)通過特殊處理,盡量消減色差透鏡錯誤導(dǎo)致的成像問題。常用的消除方法有雙膠合系統(tǒng)與雙分離系統(tǒng)。江西馬波斯傳感器原理馬波斯測量科技為您提供專業(yè)的光譜共焦傳感器,有需要可以聯(lián)系我司哦!
線激光位移傳感器高精度高性價的線激光位移傳感器操作簡單易懂出廠時已作標(biāo)定,用戶開箱即用。重新定義3D視覺,讓3D相機的使用和2D相機一樣簡單明了,方便快捷。算法系統(tǒng)強大一體式3D智能激光傳感器,依托自主研發(fā)的強大算法,不僅可以實現(xiàn)多路數(shù)據(jù)拼接,更具備與3D算法平臺對接,實現(xiàn)入工智能技術(shù)的三維處理。應(yīng)用場景豐富適用于各種工業(yè)現(xiàn)場檢測及測量環(huán)境。目前產(chǎn)品已廣泛應(yīng)用于消費類電子制造、新能源制造、汽車制造、鈑金加工等領(lǐng)域。
生物醫(yī)療-人造膝關(guān)節(jié)粗糙度測量符合ISO標(biāo)準(zhǔn)25178-602,傳感器適用任何反射表面機械手表特別用于于在線測量的傳感器比較大樣本斜率±45°;高達(dá)±88°的漫反射微流體類通過塑料或玻璃等透明層,使用亞微米級分辨率測量微流體每秒可測量360,000點渦輪葉片特別用于于在線測量的傳感器比較大樣本斜率±45°;高達(dá)±88°的漫反射電池點對點厚度測量2個傳感器和2個單通道控制器或1個雙通道控制器點對點測量對于邊緣區(qū)域可使用卡鉗結(jié)構(gòu)測量非接觸式測量,一體化設(shè)計,3D輪廓掃描,多功能數(shù)據(jù)處理適用于各種材料的精確測量;使用簡單,拆裝方便,掃描速度快,定位精度高重復(fù)精度±0.5~±1μm;穩(wěn)定性高,抗干擾能力強膜厚其他半導(dǎo)體用于膜厚的在線測量和質(zhì)量控制非接觸測量,適用于易變形和不透明的材料小厚度測量5μm,適用于在線應(yīng)用高靈敏度和高精度可提供卡鉗結(jié)構(gòu)或測量設(shè)備可結(jié)合馬波斯Quick-SPC軟件進(jìn)行數(shù)據(jù)處理馬波斯測量科技是一家專業(yè)提供光譜共焦傳感器的公司,有想法可以來我司咨詢!
Irix?彩色共焦技術(shù)?適用于多種應(yīng)用領(lǐng)域:汽車玻璃玻璃容器與包裝工業(yè)電子工業(yè)(PCB)半導(dǎo)體工業(yè)(硅片)用于測量卷對卷、透明和非透明薄膜(例如EV電池蓋)的應(yīng)用3C行業(yè)電動汽車工業(yè)(電池)機器人學(xué)微觀力學(xué)醫(yī)學(xué)航空手表用于輪廓測量的傾斜角度高達(dá)±45°的光學(xué)元件用于縮小尺寸設(shè)備的縮小直徑為4毫米、6毫米和8毫米的光學(xué)元件7“集成顯示器,具有易于使用的實驗室用圖形界面2個同步通道,用于卷對卷應(yīng)用中的非透明目標(biāo)厚度測量同步測量與編碼器精確輪廓重建。3個編碼器輸入(TTL和HTL型號)2個模擬輸出(0÷10V)多達(dá)32個校準(zhǔn)圖以CSV格式保存數(shù)據(jù)馬波斯測量科技致力于提供專業(yè)的光譜共焦傳感器,有需要可以聯(lián)系我司哦!天津點光譜共焦傳感器應(yīng)用案例
使用簡單,拆裝方便,掃描速度快,定位精度高重復(fù)精度±0.5~±1μm;穩(wěn)定性高,抗干擾能力強。江西馬波斯傳感器原理
什么是光譜共焦干涉儀?非接觸式輪廓測量技術(shù)中的測量精度,通常受機械振動和微掃描臺位置不準(zhǔn)確的限制。為不再受此類環(huán)境干擾,開發(fā)了對振動不敏感的全新干涉測量法。采用這種新型干涉儀系統(tǒng),干涉儀顯微鏡的精度可達(dá)亞納米級。光譜共焦干涉測量原理干涉測量法基于白光干涉圖(SAWLI)的光譜分析。它包括分析在光譜儀上觀察到的干擾信號,以便測量參比板和樣品之間的氣隙厚度。成熟系統(tǒng)的**性在于將參考板固定在檢測目標(biāo)上。由于參考板和樣品固定在一起,機械振動不會影響測量結(jié)果。此外,該傳感器可用于測量太薄而不允許使用光譜共焦技術(shù)的透明薄膜。**小可測厚度為0.4μm。江西馬波斯傳感器原理