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通孔41從上至下向外傾斜,通孔41的內(nèi)部固定安裝有噴頭42。鉸接的前罐體2和后罐體3方便開合,驅(qū)動裝置5能帶動清理裝置4中的u形架44、刮板43轉(zhuǎn)動,使刮板43剮蹭后罐體3、前罐體2的內(nèi)表面,從上至下向外傾斜通孔41能夠與噴頭42配合,將清洗液噴灑在后罐體3、前罐體2的內(nèi)表面。驅(qū)動裝置5包括半圓板52,前罐體2的前表面上側(cè)開設(shè)有與半圓板52匹配的半圓槽51,半圓板52的上表面開設(shè)有轉(zhuǎn)軸通孔53,半圓板52的上表面固定安裝有防護(hù)罩55和減速電機54,防護(hù)罩55罩接在減速電機54的外側(cè),減速電機54的輸出軸轉(zhuǎn)動安裝在轉(zhuǎn)軸通孔53的內(nèi)部,減速電機54輸出軸的下端與u形架44固定裝配。驅(qū)動裝置5中的半圓板52起支撐作用,與半圓槽51配合不妨礙后罐體3和前罐體2的蓋合,減速電機54能夠帶動u形架44、刮板43在后罐體3和前罐體2的內(nèi)部轉(zhuǎn)動,防護(hù)罩55能夠保護(hù)內(nèi)部的減速電機54,起防塵、保護(hù)作用。前罐體2的下表面后側(cè)安裝有集料盒7,集料盒7包括出料口71,出料口71的下側(cè)固定安裝有外螺管72,外螺管72的外側(cè)螺接有收集盒73。集料盒7能夠通過出料口71、外螺管72、收集盒73,方便收集并清理清理裝置4剮蹭下來的碎屑??刂葡?的內(nèi)部左側(cè)固定安裝有清洗箱8和泵6,清洗箱8固定安裝在泵6的右側(cè)。 上海反射膜真空鍍膜設(shè)備哪家便宜寶來利真空鍍膜設(shè)備性能穩(wěn)定,膜層均勻耐磨,鍍膜高效,有需要可以咨詢!
因此,即使外腔體10與內(nèi)反應(yīng)腔20在氣路上相互連通,但外腔體10中的污染物也很難進(jìn)入到內(nèi)反應(yīng)腔20中,從而可以保證內(nèi)反應(yīng)腔20始終保持清潔的工藝環(huán)境。由此,外腔體10與所述內(nèi)反應(yīng)腔20可共用一套抽真空系統(tǒng)。由于外腔體10與內(nèi)反應(yīng)腔20之間應(yīng)屬于相互連通的氣路環(huán)境,因此,當(dāng)對外腔體10進(jìn)行抽真空處理時,內(nèi)反應(yīng)腔20也同時進(jìn)行抽真空處理。本實施方式中,自動門設(shè)置于所述第二側(cè)壁22上,所述外腔體10內(nèi)設(shè)有傳送裝置13,所述工件自所述傳送裝置13經(jīng)所述自動門23傳遞至所述內(nèi)反應(yīng)腔20中。自動門控制器控制自動門的啟閉。抽真空完成后,自動門控制器檢測傳送裝置上是否有工件存在,經(jīng)檢測若有工件存在,則控制自動門打開,工件在傳送裝置的作用下進(jìn)入內(nèi)反應(yīng)腔中;然后自動門控制器再控制自動門關(guān)閉??梢岳斫獾氖?,傳送裝置包括轉(zhuǎn)動軸和套設(shè)在轉(zhuǎn)動軸上的傳送帶,以及驅(qū)動轉(zhuǎn)動軸旋轉(zhuǎn)的驅(qū)動機構(gòu),例如電機。其中,傳送帶的設(shè)置高度與內(nèi)反應(yīng)腔中的工件反應(yīng)載臺相對應(yīng)。繼續(xù)參照圖2,為了保證作為工藝區(qū)域的內(nèi)反應(yīng)腔20的環(huán)境溫度恒溫可控,第二底板21和/或所述第二側(cè)壁22上設(shè)有用于對所述內(nèi)反應(yīng)腔20進(jìn)行控溫的溫控裝置,以使內(nèi)反應(yīng)腔20內(nèi)的溫度始終處于所需的工藝溫度范圍內(nèi)。
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真空鍍膜設(shè)備在操作過程中,膜層不均勻的可能原因主要包括靶材與基片的距離不當(dāng)、磁場設(shè)計不均勻以及乙炔引入不均勻等。具體內(nèi)容如下:距離問題:靶材與待鍍基片之間的距離若未優(yōu)化,會影響濺射的均勻性。磁場設(shè)計問題:磁控濺射的均勻性在很大程度上依賴于磁場的設(shè)計,如果磁場分布和強度不均,則會導(dǎo)致膜層均勻度不佳。氣體引入問題:如乙炔在反應(yīng)濺射過程中引入不均,也會導(dǎo)致沉積膜層的質(zhì)量在基片上存在差異。為了解決這些問題,可以考慮以下方案:調(diào)整靶材與基片間的距離:確保兩者間距離適宜,以便改善濺射的均勻性。優(yōu)化磁場設(shè)計:通過改善和優(yōu)化磁場的分布及強度,提高靶材表面離子轟擊的均勻性,進(jìn)而提升膜層均勻度。旋轉(zhuǎn)基片或靶材:在濺射過程中,改變它們的相對位置和角度,使得材料能夠更均勻地分布在基片上。寶來利真空鍍膜設(shè)備性能穩(wěn)定,膜層均勻耐磨,AR反射膜,有需要可以咨詢!上海新能源車真空鍍膜設(shè)備規(guī)格
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所述u形架的下端通過軸承轉(zhuǎn)動安裝在后罐體的內(nèi)部下側(cè),所述u形架的外側(cè)固定安裝有刮板,所述刮板的外側(cè)與后罐體、前罐體的內(nèi)表面緊密貼合,所述后罐體和前罐體的上表面外側(cè)均勻開設(shè)有通孔,所述通孔從上至下向外傾斜,所述通孔的內(nèi)部固定安裝有噴頭。推薦的,所述驅(qū)動裝置包括半圓板,所述前罐體的前表面上側(cè)開設(shè)有與半圓板匹配的半圓槽,所述半圓板的上表面開設(shè)有轉(zhuǎn)軸通孔,所述半圓板的上表面固定安裝有防護(hù)罩和減速電機,所述防護(hù)罩罩接在減速電機的外側(cè),所述減速電機的輸出軸轉(zhuǎn)動安裝在轉(zhuǎn)軸通孔的內(nèi)部,所述減速電機輸出軸的下端與u形架固定裝配。推薦的,所述前罐體的下表面后側(cè)安裝有集料盒,所述集料盒包括出料口,所述出料口的下側(cè)固定安裝有外螺管,所述外螺管的外側(cè)螺接有收集盒。推薦的,所述控制箱的內(nèi)部左側(cè)固定安裝有清洗箱和泵,所述清洗箱固定安裝在泵的右側(cè),所述泵通過軟管與噴頭固定裝配。推薦的,所述控制箱、減速電機、泵通過導(dǎo)線電連接,且控制箱與外部電源連接。與現(xiàn)有技術(shù)相比,本實用新型的有益效果是:該磁控濺射真空鍍膜機,能夠通過清理裝置與驅(qū)動裝置的配合,對鍍膜機腔體內(nèi)壁粘黏的靶材和雜質(zhì)進(jìn)行自動刮除清理,不需人力手動擦拭。 上海水鉆真空鍍膜設(shè)備廠商