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如圖3所示,所述溫控裝置包括溫控管40,所述溫控管40連接位于外腔體10外的恒溫控制器41。溫控管40的引入口及引出口與外部的恒溫控制器41連接,恒溫控制器41可用于恒溫制冷也可用于恒溫加熱,保證內(nèi)反應(yīng)腔20中的溫度可以持續(xù)恒定,從而使工藝反應(yīng)區(qū)域內(nèi)的工藝環(huán)境溫度更穩(wěn)定。經(jīng)過在真空鍍膜設(shè)備上的實(shí)際應(yīng)用驗(yàn)證,該真空腔體對于工藝成膜質(zhì)量及鍍膜均勻性均有十分有效的改善和提升。其中,溫控管40包括加熱管和/或冷卻管。一般情況下,在工藝反應(yīng)過程中,通常需要升溫以完成相關(guān)的工藝反應(yīng),因此,溫控管40包括必要的加熱管,而冷卻管可以根據(jù)實(shí)際的工藝需要選選擇性地添加即可。例如,若在工藝反應(yīng)過程中,需要進(jìn)行快速降溫,此時可以設(shè)置冷卻管。所述加熱管非限制性地例如可以為電加熱管、水加熱管或油加熱管。冷卻管例如可以為水冷卻管或油冷卻管。為了增加溫控效果,第二側(cè)壁22和第二底板21處均設(shè)有溫控管40。其中,所述溫控管40纏繞于所述第二側(cè)壁22的外部,且所述溫控管40鋪設(shè)于所述第二底板21的底部。除上述纏繞方式外,還可以用埋設(shè)的方式鋪設(shè)加熱管,例如,所述第二底板21內(nèi)和所述第二側(cè)壁22內(nèi)均設(shè)有用于穿設(shè)溫控管40的通道,所述溫控管40埋設(shè)于所述通道內(nèi)。 寶來利真空鍍膜設(shè)備性能穩(wěn)定,膜層均勻耐磨,合金膜層,有需要可以咨詢!陶瓷真空鍍膜設(shè)備規(guī)格
本實(shí)用新型涉及真空設(shè)備領(lǐng)域,尤其涉及一種真空反應(yīng)腔室和真空鍍膜設(shè)備。背景技術(shù):目前,真空設(shè)備,例如,pecvd(plasmaenhancedchemicalvaporde****ition,等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積)和pvd(physicalvaporde****ition,物寶來利相沉積)設(shè)備已被廣泛應(yīng)用于各種產(chǎn)品的生產(chǎn)過程中,如光伏電池、半導(dǎo)體器件等等。真空設(shè)備中(如pecvd設(shè)備、pvd設(shè)備)的寶來利真空反應(yīng)室通常為單個反應(yīng)腔室,傳動部件和升降部件等機(jī)械模塊部件以及濺射靶材等工藝模塊部件均設(shè)置于該單個反應(yīng)腔室內(nèi),這就造成反應(yīng)腔室內(nèi)的工藝環(huán)境不夠封閉,容易造成工藝環(huán)境污染。另外,設(shè)置單個反應(yīng)腔室時,由于工藝反應(yīng)區(qū)域較大,容易造成工藝所需原料的浪費(fèi),同時,還會造成工藝反應(yīng)過程中溫度波動大,不可控因素較多,從而影響工藝過程。技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:本實(shí)用新型的寶來利真空目的在于提供一種真空反應(yīng)腔室,以解決現(xiàn)有真空設(shè)備中由于只設(shè)置一個反應(yīng)腔室造成的工藝環(huán)境易被污染、工藝原料易被浪費(fèi)、環(huán)境溫度可控性低等問題。本實(shí)用新型的第二目的在于提供一種包含本實(shí)用新型真空反應(yīng)腔室的真空鍍膜設(shè)備。為達(dá)到上述目的,本實(shí)用新型采用的技術(shù)方案如下:一種真空反應(yīng)腔室,包括:用于提供真空環(huán)境的外腔體。 江蘇防藍(lán)光真空鍍膜設(shè)備定制品質(zhì)真空鍍膜設(shè)備膜層不易褪色,請選丹陽市寶來利真空機(jī)電有限公司,有需要可以來咨詢考察!
BLL系列真空離子鍍膜機(jī)是當(dāng)今世界上用于表面涂裝PVD膜層的**寶來利設(shè)備,運(yùn)用PLC及觸摸屏實(shí)現(xiàn)自動化邏輯程序控制操作,設(shè)備結(jié)構(gòu)合理、外觀優(yōu)雅、性能穩(wěn)定、操作達(dá)到人機(jī)對話,簡便,鍍出的膜層牢固且細(xì)密,是工業(yè)化生產(chǎn)的理想設(shè)備,其比較大特點(diǎn)是它的**性,真空鍍膜設(shè)備屬于無三廢、無污染的清潔生產(chǎn)設(shè)備,無須**部門審批。由于配有**的電器控制系統(tǒng)及穩(wěn)定的工藝界面,針對各種金屬進(jìn)行表面鍍膜.例如:鐘表行業(yè)(表帶、表殼、表盤等)、五金行業(yè)(衛(wèi)生潔具、門把手、拉手、門鎖等)、建筑行業(yè)(不銹鋼板、樓梯扶手、立柱等)、精密模具業(yè)(沖棒標(biāo)準(zhǔn)件模具、成型模具等)、工具行業(yè)(鉆頭、硬質(zhì)合金、銑刀、拉刀、刀頭)、汽車工業(yè)(活塞、活塞環(huán)、合金輪轂等)以及鋼筆、眼鏡等等,使其表面得到既美觀又耐磨的功能性磨層.主要鍍制的膜層有:離子金、離子銀、氮化鈦膜、碳化鈦膜、氮化鋯膜、鈦鋁合金膜、氮化鉻以及RP鍍等超硬功能性金屬膜,經(jīng)離子鍍膜加工后的工件,可以提高硬度、耐磨度,抗腐蝕和美化的作用??慑冎祁伾锈伣鹣盗?、鋯金系列、拉絲系列、黑色系列、彩色膜層系列共十多種色系。PVD多弧離子鍍原理是把真空弧光放電技術(shù)用于蒸發(fā)源的技術(shù)。
進(jìn)一步地,所述第二底板內(nèi)和所述第二側(cè)壁內(nèi)均設(shè)有用于穿設(shè)溫控管的通道,所述溫控管埋設(shè)于所述通道內(nèi)。一種真空鍍膜設(shè)備,包括機(jī)械模塊部件、工藝模塊部件和本實(shí)用新型所述的真空反應(yīng)腔室,所述工藝模塊部件位于所述內(nèi)反應(yīng)腔內(nèi),部分所述機(jī)械模塊部件位于所述外腔體內(nèi)。本實(shí)用新型實(shí)施例提供的上述技術(shù)方案與現(xiàn)有技術(shù)相比具有如下***:本實(shí)用新型提供的真空反應(yīng)腔室,包括用于提供真空環(huán)境的外腔體,以及位于所述外腔體內(nèi)的用于進(jìn)行工藝反應(yīng)的內(nèi)反應(yīng)腔;并且,內(nèi)反應(yīng)腔的側(cè)壁上設(shè)有自動門,工件自外腔體經(jīng)自動門進(jìn)入內(nèi)反應(yīng)腔中。其中,外腔室和內(nèi)反應(yīng)腔為嵌套結(jié)構(gòu),其內(nèi)反應(yīng)腔位于外腔室內(nèi)。該結(jié)構(gòu)中,相當(dāng)于設(shè)置了兩個腔室,其中外腔體用于提供真空環(huán)境,而工藝反應(yīng)則在內(nèi)反應(yīng)腔中進(jìn)行。由于采用雙腔室結(jié)構(gòu),可以將工藝模塊部件設(shè)置于內(nèi)反應(yīng)腔中,而與工藝反應(yīng)無直接關(guān)系的機(jī)械模塊部件則被設(shè)置于外腔室中。經(jīng)抽真空處理后,位于外腔體中的工件再經(jīng)自動門進(jìn)入內(nèi)反應(yīng)腔中進(jìn)行工藝反應(yīng),可以有效避免設(shè)備雜質(zhì)和工件雜質(zhì)進(jìn)入內(nèi)反應(yīng)腔中。該結(jié)構(gòu)可以避免工藝環(huán)境外的污染源進(jìn)入工藝反應(yīng)區(qū)域,避免工藝污染,提供工藝質(zhì)量。由于設(shè)置雙腔室,作為工藝反應(yīng)區(qū)的內(nèi)反應(yīng)腔相對較小。 寶來利真空鍍膜設(shè)備性能穩(wěn)定,膜層均勻耐磨,檔次高,有需要可以咨詢!
膜材料質(zhì)量問題:膜材料的質(zhì)量也會影響膜層的均勻性。使用質(zhì)量不佳的膜材料可能導(dǎo)致膜層出現(xiàn)缺陷或不均勻。因此,應(yīng)選用經(jīng)過質(zhì)量檢驗(yàn)的膜材料,確保膜層的均勻性和穩(wěn)定性。針對上述問題,可以采取以下措施解決:定期清洗設(shè)備:定期對真空鍍膜機(jī)內(nèi)部進(jìn)行清洗,去除雜質(zhì)和殘留物,確保設(shè)備內(nèi)部的清潔度。優(yōu)化材料分布:確保目標(biāo)材料在真空鍍膜機(jī)內(nèi)均勻分布,避免局部堆積或缺失。調(diào)整工藝參數(shù):根據(jù)實(shí)際需求調(diào)整真空鍍膜機(jī)的真空度、沉積速度、溫度等參數(shù),以獲得比較好的膜層均勻性。選用質(zhì)量膜材料:選擇質(zhì)量可靠的膜材料供應(yīng)商,確保膜材料的質(zhì)量符合要求。此外,定期進(jìn)行設(shè)備的校準(zhǔn)和維護(hù)也是確保真空鍍膜機(jī)性能和膜層均勻性的重要措施。通過定期檢查和維護(hù),可以及時發(fā)現(xiàn)并解決潛在問題,確保真空鍍膜機(jī)的穩(wěn)定運(yùn)行和高效生產(chǎn)。寶來利真空鍍膜設(shè)備性能穩(wěn)定,膜層均勻耐磨,膜層完美細(xì)膩,有需要可以咨詢!刀具真空鍍膜設(shè)備廠家
品質(zhì)刀具模具真空鍍膜設(shè)備,請選丹陽市寶來利真空機(jī)電有限公司,有需要可以來咨詢考察!陶瓷真空鍍膜設(shè)備規(guī)格
多弧離子鍍膜設(shè)備是一種常用的薄膜鍍膜設(shè)備,具有以下優(yōu)點(diǎn)和寶來利的市場應(yīng)用:優(yōu)點(diǎn):1.高質(zhì)量膜層:多弧離子鍍膜設(shè)備可以在物體表面形成均勻、致密、硬度高、抗腐蝕的膜層,提供優(yōu)異的物理和化學(xué)性能。2.高鍍膜效率:該設(shè)備采用多個電弧源,可同時進(jìn)行多個材料的鍍膜,提高了鍍膜效率和生產(chǎn)能力。3.多種材料可鍍:多弧離子鍍膜設(shè)備可用于鍍膜各類材料,如金屬、合金、陶瓷、塑料等,具有很強(qiáng)的適應(yīng)性和靈活性。4.環(huán)保節(jié)能:采用真空技術(shù),減少了材料的浪費(fèi)和對環(huán)境的污染,具有較高的資源利用率和節(jié)能效果。市場應(yīng)用:1.光學(xué)膜層:多弧離子鍍膜設(shè)備被廣泛應(yīng)用于光學(xué)領(lǐng)域,如鏡片、濾光片、反射鏡、透鏡等的鍍膜,提高了光學(xué)元件的透光率和耐磨性。2.金屬薄膜:該設(shè)備可用于鍍膜金屬薄膜,如金、銀、銅、鋁等,廣泛應(yīng)用于電子、航空、汽車等領(lǐng)域,提供裝飾性、防腐蝕和導(dǎo)電等功能。3.陶瓷涂層:多弧離子鍍膜設(shè)備可為陶瓷材料提供保護(hù)性涂層,增加其硬度、耐磨性和耐腐蝕性,應(yīng)用于陶瓷工具、陶瓷模具等領(lǐng)域。4.醫(yī)療器械:該設(shè)備可用于醫(yī)療器械的表面涂層,如人工關(guān)節(jié)、牙科器械等,提高其生物相容性和耐磨性。陶瓷真空鍍膜設(shè)備規(guī)格