工業(yè)超精密晶圓卡盤

來源: 發(fā)布時間:2024-05-08

專門從事 K 半導體材料和零件!  微泰,專業(yè)制造半導體設備中的精密元件,包括半導體晶圓真空卡盤、半導體孔卡盤和半導體流量計,并在自己的研發(fā)技術實驗室?guī)椭岣弋a(chǎn)品質(zhì)量和技術開發(fā)。 積極參與公司和國家研究支持項目,幫助實現(xiàn)零件本地化,并建立了系統(tǒng)的質(zhì)量控制和檢測系統(tǒng),以及戰(zhàn)略性集成的制造基礎設施。我們?yōu)榭蛻艨焖偬峁┢焚|(zhì)好、有競爭力的產(chǎn)品。與零件和設備制造商建立了有機合作關系,從產(chǎn)品開發(fā)的早期階段開始,通過共同參與縮短了工藝流程,生產(chǎn)出具有高耐用性和高穩(wěn)定性的產(chǎn)品。美國半導體設備制造業(yè)是世界上的半導體市場。 出口到跨國公司,包括排名前位的公司。 從而以優(yōu)化的成本降低了生產(chǎn)成本,在零件設計、直接加工和裝配過程中提高了質(zhì)量。持續(xù)發(fā)展客戶所需的半導體精密元件的關鍵技術開發(fā)能力,微泰,為客戶成功做出貢獻。我們將盡極大努力創(chuàng)造新的商業(yè)機會。精密制造技術、客戶滿意的產(chǎn)品和創(chuàng)新的未來價值。超精密加工精細的品質(zhì),能大幅提升許多高科技工業(yè)的設計與技術,進而提升產(chǎn)品的競爭力。工業(yè)超精密晶圓卡盤

超精密

微泰,主要用于 MLCC 領域,包括垂直刀片、W 后跟切割刀和修剪刀片,以及 PCD 插入芯片斷路器,這些斷路器采用了原創(chuàng)先進技術。 鏡頭切割器和刀具C L切割器、TCB 拾取工具、折疊芯片模具、攝像頭模組的拾取工具、 我們?yōu)檎麄€行業(yè)提供一系列高質(zhì)量的定制和供應工具,包括用于片上薄片的焊接工具。 我們還根據(jù)您的環(huán)境和需求量身定制了各種工具,并通過縮短時間和極短的套裝來創(chuàng)造一系列附加值。我們還通過利用自動化檢測功能進行產(chǎn)品管理,通過生產(chǎn)高質(zhì)量產(chǎn)品來很大程度地提高客戶滿意度。微泰,憑借 30 年的專業(yè)經(jīng)驗和專業(yè)知識,21 世紀公司在不同領域提供定制和供應設備和部件,包括 MLCC、半導體和二次電池。 除了 MCT 之外,它還擁有高速加工機床的精密幾何加工技術、激光加工和成形技術以及使用 ELID 的超精密磨削技術,可以實現(xiàn)高精度和高質(zhì)量的多用途和幾何產(chǎn)品。 憑借精密加工技術,我們生產(chǎn)的零件包括樹脂系列、鋼系列、不銹鋼、有色金屬、硬質(zhì)合金和陶瓷膜等,質(zhì)量高,能滿足您的使用環(huán)境和需求。工業(yè)超精密晶圓卡盤當精密加工已無法達到更好的形狀精度、表面粗糙度與尺寸精度時,就會需要使用到超精密加工的技術。

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我們說的微孔,大部分是用肉眼是看不到的,用放大鏡放大,用手機鏡頭放大都看不到,這是在2毫米見方上開的25個微孔,肉眼是看不到的,在顯微鏡下才能看到。這是在直徑1厘米的鋼板上開的一百多個微孔,肉眼隱約可見,對著亮光就可以清晰可見。21 世紀公司利用獨有的飛秒激光技術,生產(chǎn)超精密零件,包括鉆孔、成形、切割和拋光。 它可以加工多種材料,包括 PCD、 PCBN、陶瓷、硬質(zhì)合金、不銹鋼、熱處理鋼、鉬,我們專注于生產(chǎn)需要高難度、高公叉和高幾何公叉的產(chǎn)品,并以 30 年的磨削技術、成型技術、鉆孔技術和激光技術為后盾,解決客戶的難題,力求客戶滿意。有問題請聯(lián)系  上海安宇泰環(huán)??萍加邢薰究偞?/p>

飛秒激光利用相對較短的激光脈沖,熱損傷很小,加工對象沒有物性變形層,表面平整,可以實現(xiàn)超精密微孔加工。微泰 利用先進的飛秒激光高速螺旋鉆削技術,用掃描儀,可以在任何位置自由調(diào)整聚焦點,還可以調(diào)節(jié)激光束的入射角,從而實現(xiàn)錐度、直錐度可以進行倒錐度等,所需的微孔的幾何加工。本系統(tǒng)通過調(diào)整入射角和焦距,可以進行產(chǎn)業(yè)所需的各種形狀的加工,可以進行5um到200um的精密孔加工。此外,還可以進行MAX10度角的倒錐孔和三維加工。激光加工完成后,用微孔檢測系統(tǒng),將載入相應的坐標信息。通過視覺掃描,確認每個微孔的大小和位置信息,并將其識別合格還是不合格。收集完成后,按下返工按鈕即可進行再加工。本技術適用于,需要超精密加工的半導體制造設備零件、醫(yī)療領域設備及器材配件,各種傳感器相關配件,適用于光學相關設備和零件的精密加工領域。特別是用于MLCC制造中的薄膜片疊層用真空板微孔加工。有微孔加工需求,超精密加工需求,請聯(lián)系!超精密激光切割技術已經(jīng)被應用于精密電子、裝飾、模具、手機數(shù)碼、鈑金和五金等行業(yè)。

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我們說的微孔,大部分是用肉眼是看不到的,用放大鏡放大,用手機鏡頭放大都看不到,這是在2毫米見方上開的25個微孔,肉眼是看不到的,在顯微鏡下才能看到。這是在直徑1厘米的鋼板上開的一百多個微孔,肉眼隱約可見,對著亮光就可以清晰可見。韓國21世紀株式會社,利用自主自主技術,飛秒激光螺旋鉆孔系統(tǒng)和獨有ELID(電解在線砂輪修正技術),飛秒激光拋光技術,生產(chǎn)各種超精密零部件。有三星電子,三星電機等諸多企業(yè)的業(yè)績,四百四十毫米平面方板,平坦度可以做到5微米以下,表面粗糙度RA達0.01微米以下,可以鉆5微米的孔,圓度可以達到95%以上,可以加工不同形狀和尺寸的微孔,MAX可處理八十萬個微孔,刀具方面,刀鋒可以加工到0.2微米厚度,刀片對稱度到達3微米以下,刀片邊緣線性低于5微米以下。我們特別專注于生產(chǎn)需要高難度、高公叉、高幾何公叉的產(chǎn)品,超精密零件,包括耗散零件、噴嘴、索引表和夾鉗,以及用于 MLCC 和半導體領域的各種精密零件,真空板。 可以加工和制造各種材料,包括不銹鋼、硬質(zhì)合金、氧化鋯和陶瓷,刀具,刀片,超高精密治具,鏡頭切割器和刀具C L切割器、TCB 拾取工具、折疊芯片模具、攝像頭模組的拾取工具,上海安宇泰環(huán)保科技有限公司總代理激光束可以聚焦到很小的尺寸,因而特別適合于超精密加工。激光精密加工質(zhì)量的影響因素少,加工精度高。工業(yè)超精密晶圓卡盤

目前超精密加工技術能應用在所有的金屬材料、塑料、木材、石磨與玻璃上。工業(yè)超精密晶圓卡盤

現(xiàn)有物理打磨技術,接觸式加工,磨損基石,需要切削油, 加工后需要清洗,異形件打磨和局部打磨有難度。納秒激光打磨有以下問題:產(chǎn)生細微裂紋,熔化-再凝固產(chǎn)生熱變形, 表面物性發(fā)生變化, 周圍會產(chǎn)生多個顆粒。飛秒激光打磨:改善現(xiàn)有打磨技術的問題 -熱影響極小,可以局部打磨,異形件打磨,不需要化學藥劑  -細微裂紋極少化  表面物理特性變化少,在不改變物性值的情況下,提高表面粗糙度。 高功率激光打磨:測量高度→獲取高度數(shù)據(jù)→轉(zhuǎn)換成面數(shù)據(jù)→去除表面凸起  中等功率,利用中等功率激光可以刻畫  低功率時具有,清洗效果;拋光效果(也有去除微孔邊緣毛刺的效果) 拋光后,[A O I(自動光學檢查)]  對孔不良進行檢測(手動或自動) (光學相機掃描儀)材料的邊緣測量和修正材料位置誤差。非常適合異形件打磨、拋光。局部打磨拋光。工業(yè)超精密晶圓卡盤