擴(kuò)散閘閥BUTTERFLY VALVE

微泰半導(dǎo)體閘閥具有獨(dú)特的特點(diǎn)：其插板閥主滑閥采用球機(jī)構(gòu)方式，并且在量產(chǎn)工藝設(shè)備上經(jīng)過(guò)了性能驗(yàn)證。該閘閥由半永久性鋼球陶瓷和板簧組成，陶瓷與金屬接觸驅(qū)動(dòng)時(shí)不會(huì)產(chǎn)生顆粒。目前已向中國(guó)臺(tái)灣的 Micron、UMC、AKT，新加坡的 Micron、Global Foundries，馬來(lái)西亞的英菲尼亞半導(dǎo)體，日本的 Micron、三星半導(dǎo)體等眾多設(shè)備廠批量供貨，且品質(zhì)得到認(rèn)可，同時(shí)也完成了對(duì)半導(dǎo)體 Utility 設(shè)備和批量生產(chǎn)設(shè)備的驗(yàn)證。與其他廠家閘閥的金屬與金屬接觸驅(qū)動(dòng)會(huì)產(chǎn)生大量顆粒不同，微泰半導(dǎo)體閘閥采用鋼陶瓷球，在與金屬摩擦?xí)r不會(huì)損壞，且金屬與陶瓷球之間不會(huì)產(chǎn)生 Particle。半永久板簧（SUS 鋼板）的應(yīng)用確保了閥門(mén)驅(qū)動(dòng)的同步性，同時(shí)還采用了固定球?qū)蚱骱弯撎沾?。微泰半?dǎo)體閘閥廣泛應(yīng)用于 Evaporation（蒸發(fā)）、Sputtering（濺射）、Diamond growth by MW-PACVD（通過(guò) MW-PACVD 生長(zhǎng)金剛石）、PECV、PVD(Cluster,Roll to Roll)（集群、卷對(duì)卷）、Coating（涂層）、Etch（蝕刻）、Diffusion（擴(kuò)散）、CVD（化學(xué)氣相沉積）等設(shè)備上，可替代 HVIA閘閥、VAT 閘閥。此外，該閘閥由上海安宇泰環(huán)?？萍加邢薰咎峁Ｎ⑻┛刂葡到y(tǒng)閥門(mén)是安裝在半導(dǎo)體CVD設(shè)備中的主要閥門(mén)?？刂葡到y(tǒng)閥門(mén)起到調(diào)節(jié)腔內(nèi)壓力的作用。擴(kuò)散閘閥BUTTERFLY VALVE

微泰半導(dǎo)體閘閥具有諸多特點(diǎn)：其閥門(mén)驅(qū)動(dòng)部分的所有滾子和軸承都經(jīng)過(guò)精心防護(hù)處理，形成屏蔽和保護(hù)環(huán)（Shield Blocker 和 Protection Ring），通過(guò)三重預(yù)防方式有效切斷粉末（Powder），從而延長(zhǎng)閥門(mén)驅(qū)動(dòng)及使用壽命。該閘閥采用的三重預(yù)防驅(qū)動(dòng)方式中的 Shield 功能，能夠出色地防止氣體和粉末侵入閥體內(nèi)部，同時(shí)具備三重保護(hù)驅(qū)動(dòng)保護(hù)環(huán)，可延長(zhǎng) GV 壽命的 Shield 方法，并已供應(yīng)給海外半導(dǎo)體 T 公司、M 公司和 I 公司的 Utility 設(shè)備。此外，擋板與閥體之間的距離小于 1mm，能夠強(qiáng)力阻擋內(nèi)部粉末和氣體的流入，屏蔽擋板采用 1.5t AL 材料制成，充分考慮了其復(fù)原力，并通過(guò) Viton 粉末熱壓工藝制成。而三重保護(hù)保護(hù)環(huán)的主要功能則包括：AL 材料的重量減輕和保護(hù)環(huán)內(nèi)部照明的改善、保護(hù)環(huán)內(nèi)部流速的增加以及三元環(huán)的應(yīng)用確保了驅(qū)動(dòng)性能的提升。超高真空閘閥UMC高壓閘閥只許介質(zhì)單向流動(dòng)，安裝時(shí)有方向性。它的結(jié)構(gòu)長(zhǎng)度大于閘閥，同時(shí)流體阻力大。

微泰，大閘閥、大型閘閥應(yīng)用于? Evaporation（蒸發(fā)）? Sputtering（濺射）? Diamond growth by MW-PACVD（通過(guò)MW-PACVD生長(zhǎng)金剛石）? PECV? PVD(Cluster,Roll to Roll)（集群、卷對(duì)卷）? Coating（涂層）? Etch（蝕刻）? Diffusion（擴(kuò)散）?CVD（化學(xué)氣相沉積）等設(shè)備上?？商娲鶹AT閘閥。微泰大閘閥、大型閘閥其特點(diǎn)是*陶瓷球機(jī)構(gòu)產(chǎn)生的低顆粒*使用維修配件工具包易于維護(hù)*應(yīng)用:用于研發(fā)和工業(yè)的隔離閥。大閘閥、大型閘閥規(guī)格如下：驅(qū)動(dòng)方式：氣動(dòng)、法蘭尺寸（內(nèi)徑）：16? ~ 30?、 法蘭型：ISO、JIS、ASA 、饋通：Viton O-Rin、閥門(mén)密封：氟橡膠O型圈/Kalrez O型環(huán)/EPDM、閥蓋密封：氟橡膠O型圈、響應(yīng)時(shí)間：可調(diào)節(jié)、工作壓力范圍：1×10-8 mbar to 1000 mbar 、維護(hù)前可用次數(shù)：10,000 ~ 100,000次、開(kāi)啟時(shí)壓差 ≤ 30 mba、泄漏率 < 1×10 -9  mbar ?/sec、閥體溫度≤ 150 °、機(jī)構(gòu)溫度≤ 80 °C、烤爐溫度≤ 150 °C、材料：閥體(不銹鋼304或316L)/驅(qū)動(dòng)器(鋁6061陽(yáng)極氧化)、安裝位置：任意、操作壓力(N2)：6~ 8 bar。有中國(guó)臺(tái)灣Micron、UMC、AKT、新加坡Micron,Global Foundries、馬來(lái)西亞的英菲尼亞半導(dǎo)體、日本Micron、三星半導(dǎo)體和其它的設(shè)備使用業(yè)績(jī)，上海安宇泰環(huán)?？萍加邢薰尽?

微泰半導(dǎo)體閘閥的特點(diǎn)：已向中國(guó)臺(tái)灣Micron、UMC、AKT、新加坡Micron,Global Foundries、馬來(lái)西亞的英菲尼亞半導(dǎo)體、日本Micron、三星半導(dǎo)體和其它的設(shè)備，設(shè)備廠批量供貨，已得到品質(zhì)認(rèn)可，已完成對(duì)半導(dǎo)體Utility設(shè)備和批量生產(chǎn)設(shè)備的驗(yàn)證。1，采用陶瓷球機(jī)構(gòu)，抗沖擊和震動(dòng)，保證使用25萬(wàn)次，檢修方便，較低維護(hù)成本。2，無(wú)Particle（顆粒）產(chǎn)生，采用陶瓷球無(wú)腐蝕和顆粒產(chǎn)。3，屏蔽保護(hù)：屏蔽式保護(hù)功能，閘閥閥體與擋板之間的距離小于1mm，可防止粉末侵入閥內(nèi)，壽命為半永久性。4，保護(hù)環(huán)：Protecrion Ring通過(guò)流速上升設(shè)計(jì)防止粉末凝固，并通過(guò)打磨（研磨）工藝防止粉末堆積。微泰半導(dǎo)體閘閥應(yīng)用于? Evaporation（蒸發(fā)）? Sputtering（濺射）? Diamond growth by MW-PACVD（通過(guò)MW-PACVD生長(zhǎng)金剛石）? PECV? PVD(Cluster,Roll to Roll)（集群、卷對(duì)卷）? Coating（涂層）? Etch（蝕刻）? Diffusion（擴(kuò)散）?CVD（化學(xué)氣相沉積）等設(shè)備上?？商娲鶫VA閘閥、VAT閘閥。上海安宇泰環(huán)?？萍加邢薰?。介質(zhì)可向兩側(cè)任意方向流動(dòng)，易于安裝。閘閥通道兩側(cè)是對(duì)稱(chēng)的。

微泰半導(dǎo)體主加工設(shè)備腔內(nèi)精確壓力控制的閘閥，晶圓輸送閥Transfer Valve，傳輸閥、轉(zhuǎn)換閥、輸送閥、轉(zhuǎn)移閥是安裝在半導(dǎo)體PVDCVD設(shè)備工藝模塊和工藝室之間的閥門(mén)系統(tǒng)。I型輸送閥，-閘門(mén)動(dòng)作時(shí)無(wú)震動(dòng)或沖擊-通過(guò)饋通波紋管Feedthrough bellows防止閥體污染，確保高耐用性-采用LM導(dǎo)軌和單鏈路（LM-guide&Single Link）結(jié)構(gòu)/小齒輪驅(qū)動(dòng)方式，使其具有簡(jiǎn)單的運(yùn)動(dòng)、耐用性和高精度。I型輸送閥有爪式（Jaw type）和夾式（Clamp type）。微泰晶圓輸送閥Transfer Valve，傳輸閥、轉(zhuǎn)換閥、輸送閥、轉(zhuǎn)移閥Butterfly Valve有中國(guó)臺(tái)灣Micron、UMC、AKT、新加坡Micron,Global Foundries、馬來(lái)西亞的英菲尼亞半導(dǎo)體、日本Micron、三星半導(dǎo)體和其它的設(shè)備使用業(yè)績(jī)。微泰轉(zhuǎn)移閥是安裝在半導(dǎo)體PVDCVD設(shè)備工藝模塊和工藝室之間的閥門(mén)系統(tǒng)。擴(kuò)散閘閥BUTTERFLY VALVE

閘閥高度大，啟閉時(shí)間長(zhǎng)。閘板的啟閉行程較大，升降是通過(guò)螺桿進(jìn)行的。擴(kuò)散閘閥BUTTERFLY VALVE

微泰半導(dǎo)體主加工設(shè)備腔內(nèi)精確壓力控制的閘閥，應(yīng)用于? Evaporation（蒸發(fā)）? Sputtering（濺射）? Diamond growth by MW-PACVD（通過(guò)MW-PACVD生長(zhǎng)金剛石）? PECV? PVD(Cluster,Roll to Roll)（集群、卷對(duì)卷）? Coating（涂層）? Etch（蝕刻）? Diffusion（擴(kuò)散）?CVD（化學(xué)氣相沉積）等設(shè)備上。這節(jié)介紹加熱閘閥、加熱式閘閥護(hù)套、加熱器插入式閥門(mén)。帶加熱器閘閥，加熱器插入閘閥：產(chǎn)品范圍：2~12英寸?高壓/超高壓都可用?維護(hù)前可用次數(shù)：20萬(wàn)次?響應(yīng)時(shí)間：0.2秒~3秒；客戶指定法蘭，加熱溫度：450℃；蝶形閥；蝶閥：產(chǎn)品范圍：DN40、DN50隔離?泄漏率：1.0E-9mbar·l/秒；有中國(guó)臺(tái)灣Micron、UMC、AKT、新加坡Micron,Global Foundries、馬來(lái)西亞的英菲尼亞半導(dǎo)體、日本Micron、三星半導(dǎo)體和其它的設(shè)備使用業(yè)績(jī)，可替代HVA閘閥、VAT閘閥。上海安宇泰環(huán)?？萍加邢薰緮U(kuò)散閘閥BUTTERFLY VALVE