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光刻膠的去除在IC制造工藝流程中占非常重要的地位,其成本約占IC制造工藝的20-30%,光刻膠去膠效果太弱影響生產(chǎn)效率,去膠效果太強(qiáng)容易造成基底損傷,影響整個(gè)產(chǎn)品的成品率。傳統(tǒng)主流去膠方法采用濕法去膠,成本低效率高,但隨著技術(shù)不斷選代更新,越來越多IC制造商開始采用干法式去膠,干法式去膠工藝不同于傳統(tǒng)的濕法式去膠工藝,它不需要浸泡化學(xué)溶劑,也不用烘干,去膠過程更容易控制,避免過多算上基底,提高產(chǎn)品成品率。干法式去膠又被稱為等離子去膠,其原理同等離子清洗類似,主要通過氧原子核和光刻膠在等離子體環(huán)境中發(fā)生反應(yīng)來去除光刻膠,由于光刻膠的基本成分是碳?xì)溆袡C(jī)物,在射頻或微波作用下,氧氣電離成氧原子并與光刻膠發(fā)生化學(xué)反應(yīng),生成一氧化碳,二氧化碳和水等,再通過泵被真空抽走,完成光刻膠的去除。等離子物理去膠過程:主要是物理作用對清洗物件進(jìn)行轟擊達(dá)到去膠的目的,主要的氣體為氧氣、氬氣等,通過射頻產(chǎn)生氧離子,轟擊清洗物件,以獲得表面光滑的較大化,并且結(jié)果是親水性增大。在光伏電池制程中,等離子表面處理可用于玻璃基板表面活化,陽極表面改性,涂保護(hù)膜前處理等。上海plasma等離子清洗機(jī)用途
等離子清洗機(jī),作為現(xiàn)面處理技術(shù)中的佼佼者,其基本原理基于等離子體物理學(xué)。等離子體,作為物質(zhì)的第四態(tài),由高度電離的氣體組成,其中包含了大量的電子、離子、自由基及中性粒子等活性成分。在等離子清洗機(jī)中,通過特定的放電方式(如射頻放電、微波放電或直流放電等),將工作氣體(如氬氣、氧氣、氮?dú)饣蚧旌蠚怏w)激發(fā)成等離子體狀態(tài)。這些高能活性粒子在電場作用下,加速撞擊待處理物體的表面,與表面污染物發(fā)生物理化學(xué)反應(yīng),如剝離、氧化、還原、刻蝕等,從而實(shí)現(xiàn)表面清潔與改性的目的。等離子清洗機(jī)因其非接觸式、無化學(xué)殘留、環(huán)境友好、清洗效果明顯且可處理復(fù)雜形狀工件等優(yōu)點(diǎn),被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、精密機(jī)械、航空航天、生物醫(yī)藥等多個(gè)領(lǐng)域,成為現(xiàn)代工業(yè)中不可或缺的表面處理設(shè)備。浙江sindin等離子清洗機(jī)生產(chǎn)廠家等離子清洗機(jī)處理后的時(shí)效性會因處理時(shí)間、氣體反應(yīng)類型、處理功率大小以及材料材質(zhì)的不同而有所差異。
等離子清洗機(jī)應(yīng)用領(lǐng)域1.汽車行業(yè):點(diǎn)火線圈骨架表面活化、汽車門窗密封件的處理、控制面板在粘合前處理、內(nèi)飾皮革包裹、內(nèi)飾植絨前處理等等;2.醫(yī)療行業(yè):培養(yǎng)皿表面活化、醫(yī)療導(dǎo)管粘接前處理、輸液器粘接前的處理、酶標(biāo)板的表面活化等等;3.新能源行業(yè):新能源電池電芯的表面處理、電池藍(lán)膜的表面處理、電池表面粘接前的處理等等;4.電子行業(yè):芯片表面處理、封裝前的預(yù)處理、各類電子器件粘接前處理、支架及基板的表面處理等等;等離子清洗機(jī)設(shè)計(jì)的行業(yè)非常的大,在用戶遇到,表面粘接力、親水性、印刷困難、涂覆不均勻等等問題,都可以嘗試等離子清洗機(jī)的表面處理,通過表面活化、改性的方式解決問題。
在電子電路行業(yè)中,PCB作為電子產(chǎn)品的主要部件,其表面粘附性對產(chǎn)品的性能有著直接影響。通過等離子處理,可以提高錫膏與PCB之間的粘附力。有助于確保錫膏印刷的均勻性和穩(wěn)定性,提高電子產(chǎn)品的可靠性和穩(wěn)定性。在PCBA涂敷三防漆前處理中,等離子技術(shù)也發(fā)揮著關(guān)鍵作用。三防漆是一種具有防潮、防塵和防霉功能的涂料,廣泛應(yīng)用于電子設(shè)備的保護(hù)。通過真空等離子處理,可以提高線路板表面潤濕性能,有效去除表面有機(jī)污染物,增強(qiáng)線路板表面貼合力,提升三防漆涂覆質(zhì)量。攝像頭模組需在DB前、WB前、HM前、封裝前進(jìn)行真空等離子清洗,活化材料表面,提高親水性和黏附性能。
等離子清洗機(jī)通過使用物理或化學(xué)方法,可以有效地清潔、活化或改性材料表面。對于陶瓷基板,等離子清洗的主要作用是去除表面的污垢、氧化物、層間介質(zhì)等雜質(zhì),同時(shí)通過活化表面,提高其潤濕性和粘合性。陶瓷基板處理后的主要優(yōu)勢:1.提高附著力:通過等離子清洗,陶瓷基板的表面可以得到明顯改善,其粗糙度和清潔度均提高。這不僅可以提高基板與涂層或貼片的附著力,還能有效防止由于附著力不足導(dǎo)致的涂層脫落或翹曲等問題。2.增強(qiáng)潤濕性:等離子清洗處理能夠提高陶瓷基板的表面潤濕性。對于需要液態(tài)材料覆蓋或浸潤的場合,如封接、焊接等,這種改善將極大地提高生產(chǎn)效率和良品率。3.改性表面:等離子清洗還可以對陶瓷基板表面進(jìn)行改性。例如,通過引入特定的官能團(tuán)或改變表面的化學(xué)組成,可以提高基板的耐腐蝕性、耐磨性等關(guān)鍵性能。全自動等離子表面處理機(jī)結(jié)合了自動化優(yōu)勢,可以搭載生產(chǎn)線進(jìn)行工作,帶來穩(wěn)定持續(xù)的處理效果。安徽sindin等離子清洗機(jī)技術(shù)參數(shù)
等離子清洗機(jī)對所處理的材料無嚴(yán)格要求,無論是金屬、半導(dǎo)體、氧化物,都能進(jìn)行良好的處理。上海plasma等離子清洗機(jī)用途
等離子表面處理機(jī)是一種廣泛應(yīng)用于電子、航空、汽車、醫(yī)療器械等領(lǐng)域的設(shè)備,它通過等離子體技術(shù)對材料表面進(jìn)行處理,以改善材料的表面性能,提高其穩(wěn)定性和使用壽命。工作原理:等離子表面處理機(jī)的工作原理是將材料放置于真空室內(nèi),在低壓環(huán)境下放入工藝氣體,通過放電等離子體技術(shù)對材料表面進(jìn)行處理。在放電過程中,氣體分子被電離成帶電的離子和自由電子,這些離子和電子在電場的作用下以高速度移動,并與材料表面發(fā)生反應(yīng),從而改善其表面性能。等離子表面處理技術(shù)具有許多優(yōu)點(diǎn)。首先,它可以改善材料的表面性能,提高其粘接、邦定、封膠等工藝品質(zhì)。其次,等離子表面處理技術(shù)可以保障處理面效果均勻,從而提高材料的表面質(zhì)量和一致性。此外,與傳統(tǒng)的表面處理方法相比,等離子表面處理技術(shù)具有更低的成本,從而降低了生產(chǎn)成本。上海plasma等離子清洗機(jī)用途