真空鍍膜是真空應(yīng)用領(lǐng)域的一個(gè)重要方面，它是以真空技術(shù)為基礎(chǔ)，利用物理或化學(xué)方法，并吸收電子束、分子束、離子束、等離子束、射頻和磁控等一系列新技術(shù)，為科學(xué)研究和實(shí)際生產(chǎn)提供薄膜制備的一種新工藝。簡單地說，在真空中把金屬、合金或化合物進(jìn)行蒸發(fā)或?yàn)R射，使其在被涂覆的物體（稱基板、基片或基體）上凝固并沉積的方法，稱為真空鍍膜。眾所周知，在某些材料的表面上，只要鍍上一層薄膜，就能使材料具有許多新的、良好的物理和化學(xué)性能。20世紀(jì)70年代，在物體表面上鍍膜的方法主要有電鍍法和化學(xué)鍍法。前者是通過通電，使電解液電解，被電解的離子鍍到作為另一個(gè)電極的基體表面上，因此這種鍍膜的條件，基體須是電的良導(dǎo)體，而且薄膜厚度也難以控制。后者是采用化學(xué)還原法，須把膜材配制成溶液，并能迅速參加還原反應(yīng)，這種鍍膜方法不只薄膜的結(jié)合強(qiáng)度差，而且鍍膜既不均勻也不易控制，同時(shí)還會(huì)產(chǎn)生大量的廢液，造成嚴(yán)重的污染。因此，這兩種被人們稱之為濕式鍍膜法的鍍膜工藝受到了比較大的限制。真空鍍膜機(jī)真空壓鑄是一項(xiàng)可供鈦鑄件生產(chǎn)廠選用，真空鍍膜機(jī)能提高鑄件質(zhì)量，降低成本的技術(shù)。天津玻璃真空鍍膜
真空在鍍膜工業(yè)中的應(yīng)用：1、首先在光學(xué)方面，一塊光學(xué)玻璃或石英表面上鍍一層或幾層不同物質(zhì)的薄膜后，即可成為高反射或無反射(即增透膜)或者作任何預(yù)期比例的反射或透射材料，也可以作成對(duì)某種波長的吸收，而對(duì)另一種波長的透射的濾色。高反射膜從大口徑的天文望遠(yuǎn)鏡和各種激光器開始、一直到新型建筑物的大窗鍍膜茉莉，都比較需要。2、增透膜則大量用于照相和各種激光器開始、一直到新型建筑物的大窗鍍膜玻璃，都比較需要。增透膜則大量用于照相機(jī)和電視攝象機(jī)的鏡頭上。在電子學(xué)方面真空鍍膜更占有極為重要的地位。各種規(guī)模的繼承電路。包括存貯器、運(yùn)算器、告訴邏輯元件等都要采用導(dǎo)電膜、絕緣膜和保護(hù)膜。作為制備電路的掩膜則用到鉻膜。磁帶、磁盤、半導(dǎo)體激光器，約瑟夫遜器件、電荷耦合器件( CCD )也都甬道各種薄膜。山西傳感器真空鍍膜材料真空鍍膜機(jī)的優(yōu)點(diǎn):其封口性能好，尤其包裝粉末狀產(chǎn)品時(shí)，不會(huì)污染封口部分，保證了包裝的密封性能。
真空電鍍?cè)O(shè)備的監(jiān)控方法：1、目視監(jiān)控：使用眼睛監(jiān)控，因?yàn)楸∧ぴ谏L的過程中，由于干涉現(xiàn)象會(huì)有顏色變化，我們就是根據(jù)顏色變化來控制膜厚度的，此種方式有誤差，所以不是比較準(zhǔn)確，需要依靠經(jīng)驗(yàn)。2、極值監(jiān)控法：當(dāng)膜厚度增加的時(shí)候其反射率和穿透率會(huì)跟著起變化，當(dāng)反射率或穿透率走到極值點(diǎn)的時(shí)候，就可以知道鍍膜之光學(xué)厚度ND是監(jiān)控波長的四分之一的整倍數(shù)。但是極值的方法誤差比較大，因?yàn)楫?dāng)反射率或者透過率在極值附近變化比較慢，亦就是膜厚ND增加許多，R/T才有變化。反映比較靈敏的位置在八分之一波長處。3.定值監(jiān)控法：此方法利用停鍍點(diǎn)不在監(jiān)控波長四分之一波位，然后由計(jì)算機(jī)計(jì)算在波長一時(shí)總膜厚之反射率是多少，此即為停止鍍膜點(diǎn)。4.水晶振蕩監(jiān)控：利用石英晶體振動(dòng)頻率與其質(zhì)量成反比的原理工作的。但是石英監(jiān)控有一個(gè)不好之處就是當(dāng)膜厚增加到厚度后，振動(dòng)頻率不全然由于石英本身的特性使厚度與頻率之間有線性關(guān)系，此時(shí)須使用新的石英振蕩片。
蒸發(fā)物質(zhì)的分子被電子碰撞電離后以離子沉積在固體表面，稱為離子鍍。這種技術(shù)是D.麥托克斯于1963年提出的。離子鍍是真空蒸發(fā)與陰極濺射技術(shù)的結(jié)合。一種離子鍍系統(tǒng),將基片臺(tái)作為陰極，外殼作陽極，充入惰性氣體(如氬)以產(chǎn)生輝光放電。從蒸發(fā)源蒸發(fā)的分子通過等離子區(qū)時(shí)發(fā)生電離。正離子被基片臺(tái)負(fù)電壓加速打到基片表面。未電離的中性原子(約占蒸發(fā)料的95%)也沉積在基片或真空室壁表面。電場對(duì)離化的蒸氣分子的加速作用(離子能量約幾百~幾千電子伏)和氬離子對(duì)基片的濺射清洗作用，使膜層附著強(qiáng)度較大提高。離子鍍工藝綜合了蒸發(fā)(高沉積速率)與濺射(良好的膜層附著力)工藝的特點(diǎn)，并有比較好的繞射性，可為形狀復(fù)雜的工件鍍膜。在真空中制備膜層，包括鍍制晶態(tài)的金屬、半導(dǎo)體、絕緣體等單質(zhì)或化合物膜。
真空電鍍是真空鍍膜工藝的一項(xiàng)新發(fā)展。真空電鍍當(dāng)高溫蒸發(fā)源通電加熱后，真空電鍍促使待鍍材料—蒸發(fā)料熔化蒸發(fā)。真空電鍍蒸發(fā)料粒子獲得動(dòng)能，真空電鍍則沿著視線方向徐徐上升，真空電鍍附著于工件外表上堆積成膜。真空電鍍用這種工藝形成的鍍層，真空電鍍與零件外表既無牢固的化學(xué)結(jié)合。真空電鍍的簡單作用過程：真空電鍍接通蒸發(fā)源交流電源，真空電鍍蒸發(fā)料粒子熔化蒸發(fā)，真空電鍍進(jìn)入輝光放電區(qū)并被電離。真空電鍍帶正電荷的蒸發(fā)料離子，陰極吸引下，隨同氬離子一同沖向工件，真空電鍍當(dāng)拋鍍于工件表面上的蒸發(fā)料離子逾越濺失離子的數(shù)量時(shí)，真空電鍍則逐漸堆積形成一層牢固粘附于工件表面的鍍層。真空鍍膜技術(shù)是一種新穎的材料合成與加工的新技術(shù)，是表面工程技術(shù)領(lǐng)域的重要組成部分。天津玻璃真空鍍膜
在真空鍍膜機(jī)運(yùn)轉(zhuǎn)正常情況下，開動(dòng)真空鍍膜機(jī)時(shí)，必須先開水管，工作中應(yīng)隨時(shí)注意水壓。天津玻璃真空鍍膜
蒸發(fā)鍍膜與其他真空鍍膜方法相比，具有較高的沉積速率，可鍍制單質(zhì)和不易熱分解的化合物膜。為沉積高純單晶膜層，可采用分子束外延方法。生長摻雜的GaAlAs單晶層的分子束外延裝置。噴射爐中裝有分子束源，在真空下當(dāng)它被加熱到溫度時(shí)，爐中元素以束狀分子流射向基片?；患訜岬綔囟龋练e在基片上的分子可以徙動(dòng)，按基片晶格次序生長結(jié)晶用分子束外延法可獲得所需化學(xué)計(jì)量比的高純化合物單晶膜，薄膜慢生長速度可控制在1單層／秒。通過控制擋板,可做出所需成分和結(jié)構(gòu)的單晶薄膜。分子束外延法普遍用于制造各種光集成器件和各種超晶格結(jié)構(gòu)薄膜。天津玻璃真空鍍膜
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