單向流潔凈室的流動狀態(tài)從雷諾數(shù)看是湍流,所以所謂層流潔凈室中的層流和流體力學中的層流是完全不同的概念。因此,層流潔凈室一詞是不恰當?shù)模瑖獾囊恍藴屎臀恼乱仓赋隽诉@一點。例如,英國標準BS-5295曾將所謂的層流潔凈室定義為單向流潔凈室。層流在括號中表示。原聯(lián)邦德國標準VDl-2083使用“非湍流置換流”一詞,并在注釋中指出層流的概念只是為了區(qū)分比層流更早出現(xiàn)的湍流(turbulent)流潔凈室整理房間。在當時使用的成語中,“層流系統(tǒng)”的確切含義不是分層流,而是湍流的置換流。本章提到的概念是湍流的漸進流。在流體力學中,這種流動狀態(tài)也可以稱為平行流動或單向流動。1977年,我國在《清潔空氣技術措施》中選擇了“平行流”一詞,并指出習慣上在該詞后稱其為“層流”。氣懸浮粒子濃度受控的房間。它的建造和使用應減少室內(nèi)誘入、產(chǎn)生及滯留的粒子。江西實驗室環(huán)境檢測哪家好
A、室內(nèi)測試人員必須穿潔凈服,不得超過2人,應位于測試點下風側(cè)并遠離測試點,并應保持靜止。進行換點操作時動作要輕,應減少人員對室內(nèi)潔凈度的干擾。B、設備要在校準期內(nèi)使用。C、檢測前和檢測后設備“清零”。D、在單向流區(qū)域,所選擇的采樣探頭應接近等動力采樣,進入采樣探頭的風速與被采空氣的風速偏差不應超過20%。若無法做到這一點,將采樣口正對氣流的主方向。非單向流的采樣點,采樣口應豎直向上。E、采樣口至粒子計數(shù)器傳感器的連接管應盡量短。采樣點一般離地面0.8-1.2m左右,要均勻科學布點,而且要避開回風口。對任何小潔凈室或局部空氣凈化區(qū)域,采樣點的數(shù)目都不得少于2個,總采樣數(shù)可根據(jù)面積開2次根求得。**少采樣點數(shù)目對應懸浮粒子采樣點數(shù),工作區(qū)測點位置離地0.8-1.2m左右,送風口測點位置離開送風面30cm左右,關鍵設備或關鍵工作活動范圍處可增加測點,每個采樣點一般采樣一次。上海檢測哪家好潔凈室(區(qū))的日常運行和維護管理是保障其受控狀態(tài)持續(xù)的重要條件。
(1)將所有的門關閉,將測定用膠管口徑比較好在5mm以下從墻壁上的孔洞伸入室內(nèi)在離壁面不遠處,垂直于氣流方向設置周圍無阻擋氣流擾動**小。(2)靜壓差的測定應從平面上**里面的房間,通常也就是潔凈度級別比較高的房間,與其緊鄰的房間之間的壓差測起依次向外測定,直至測得**靠外的潔凈室與周圍附屬環(huán)境之間、與室外環(huán)境之間的壓差。(3)對于潔凈度高于5級的單向流層流潔凈室,還應測定在門開啟狀態(tài)下離門口0.6m處的室內(nèi)側(cè)工作面高度的粒子數(shù)。
潔凈室的主要作用是控制產(chǎn)品(如硅片等)所接觸的大氣的潔凈室潔凈度和溫濕度,使產(chǎn)品能夠在良好的環(huán)境空間中生產(chǎn)制造,從而我們稱之為潔凈室。按照國際慣例,無塵凈化等級主要是根據(jù)空氣中每立方米直徑大于分類標準的顆粒數(shù)量來規(guī)定的。也就是說,所謂的無塵,并不是100%沒有一點灰塵,而是控制在極少量的單位。當然,這個標準中符合粉塵標準的顆粒物,相對于我們常見的粉塵來說是非常小的,但是對于光學結(jié)構(gòu)來說,哪怕是一點點的粉塵也會產(chǎn)生非常大的負面影響蔚亞科技專注于潔凈室檢測、潔凈室3Q驗證、壓縮空氣檢測、潔凈設備檢測。
①靜態(tài)測試時室內(nèi)的測試人員不得多于2人測試報告中應標明測試時所采用的狀態(tài);②對于單向流測試應在凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)正常運行時間不少于10min后開始非單向流要不少于30min后開始;③必須按照儀器的檢定周期定期對儀器作檢定。視儀器本身特點、使用頻率、使用環(huán)境等決定;④每個采樣點可按所計算確定的**小采樣量采樣空氣。但一般根據(jù)所使用的粒子計數(shù)器的采樣量及時間設定通常實際采樣都可能高于**小采樣量。⑤測定時,進入潔凈室的人員要穿潔凈服有風淋室要經(jīng)過風淋室,在室內(nèi)盡量處于下風處并靜止少動。潔凈室檢測過程中,應注重節(jié)能降耗,實現(xiàn)綠色生產(chǎn)。湖北電子廠房環(huán)境檢測規(guī)范性強
潔凈室地面、墻面及天花板的清潔度也是檢測內(nèi)容之一。江西實驗室環(huán)境檢測哪家好
-連接氮氣,檢查氮氣供氣壓力為50psig()。,等幾分鐘后,氣溶膠到達終端過濾器。?將掃描探頭與上游濃度測試孔相連接。?按?或?鍵,使光標停留在“上游80%濃度檢測”,按“確認”;觀察上游濃度數(shù)值,調(diào)節(jié)讀數(shù)在20-80之間,讀數(shù)穩(wěn)定后記錄下讀數(shù)。?將掃描探頭與下游濃度測試孔相連接。?調(diào)整光標至“使用內(nèi)部參考值”?按“確認”鍵,調(diào)節(jié)參數(shù)值至測定的上游濃度值。?掃描過濾器表面及邊框,距濾器表面距離約3cm。?采樣頭的往復掃描速度Sr約為15/Wp,使用3cm*3cm正方形采樣頭時,Sr=5cm/s;采用5cm*1cm的長方形采樣頭,Sr=3cm/s。(Sr為掃描速度,Wp為垂直于掃描方向的采樣頭寬度)。?將上游濃度測試管與上游濃度測試孔相連接。?按?或?鍵,使光標停留在“上游80%濃度檢測”,按“確認”;觀察上游濃度數(shù)值。上游濃度隨時間變化不應超過平均測量值的±15%。?關閉氣溶膠按鈕。?氮氣繼續(xù)通過氣溶膠發(fā)生器約30秒。?關閉N2。?關閉電源。表1高效過濾器完整性測試操作步驟局部層流/房間百級(高效檢漏)非層流潔凈室(高效檢漏)A.拆除層流罩B.額定風速確定測量點距過濾器出風面約150-300mm測試點數(shù)取測試面積10倍的平方根,且不少點。江西實驗室環(huán)境檢測哪家好