半導(dǎo)體凈化車(chē)間潔凈室檢測(cè)規(guī)范性強(qiáng)

D.3.7噪聲檢測(cè)，應(yīng)符合下列規(guī)定：1潔凈室（區(qū)）內(nèi)的噪聲檢測(cè)應(yīng)采用帶倍頻程分析的聲級(jí)計(jì)。2潔凈室(區(qū))內(nèi)的噪聲檢測(cè)點(diǎn)應(yīng)根據(jù)電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求確定。噪聲檢測(cè)點(diǎn)宜距地面1.1～1.5m,距墻應(yīng)大于3m；檢測(cè)點(diǎn)的布置宜按潔凈室(區(qū))面積均分，宜每100m2設(shè)一檢測(cè)點(diǎn)。D.3.8照度測(cè)試，應(yīng)符合下列規(guī)定：1潔凈室(區(qū)）內(nèi)照度檢測(cè)宜采用便攜式自動(dòng)記錄照度計(jì)。2照度檢測(cè)應(yīng)在室內(nèi)溫度穩(wěn)定、光源光輸出穩(wěn)定后進(jìn)行。潔凈室（區(qū))照度檢測(cè)不應(yīng)包括生產(chǎn)設(shè)備等的局部照明和備用照明。3照度檢測(cè)點(diǎn)應(yīng)設(shè)在工作高度，宜距地面0.85m，應(yīng)每25m2設(shè)一個(gè)測(cè)點(diǎn)。單向流潔凈室靠送風(fēng)氣流“活塞”般的擠壓作用，迅速把室內(nèi)污染排出。半導(dǎo)體凈化車(chē)間潔凈室檢測(cè)規(guī)范性強(qiáng)

9.2.1潔凈室的照明一般要求照度高，但燈具安裝的數(shù)量受到送風(fēng)風(fēng)口數(shù)量和位置等條件的限制，這就要求在達(dá)到同一照度值情況下，安裝燈具的個(gè)數(shù)極少。熒光燈的發(fā)光效率一般是白熾燈的3倍~4倍，而且發(fā)熱量小，有利于空調(diào)節(jié)能。此外，潔凈室天然采光少，在選用光源時(shí)還需考慮它的光譜分布盡量接近于天然光，熒光燈基本能滿足這一要求。因此，目前國(guó)內(nèi)外潔凈室一般均采用熒光燈作為照明光源。當(dāng)有些潔凈室層高較高，采用一般熒光燈照明很難達(dá)到設(shè)計(jì)照度值，在此情況下，可采用其他光色好、光效更高的光源。由于某些生產(chǎn)工藝對(duì)光源光色有特殊要求，或熒光燈對(duì)生產(chǎn)工藝和測(cè)試設(shè)備有干擾時(shí)，也可采用其他形式光源。上海過(guò)濾器潔凈室檢測(cè)服務(wù)商不同等級(jí)的潔凈室之間的壓差不宜小于5Pa。

5.1.1隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展，電子產(chǎn)品的更新?lián)Q代、產(chǎn)品生產(chǎn)技術(shù)的發(fā)展十分迅速，以集成電路為**的微電子產(chǎn)品尤為***，集成電路產(chǎn)品基本上是2~3年或更短的時(shí)間就會(huì)提升一代產(chǎn)品；以TFT-LCD為**的顯示器件正在取代彩色顯像管的顯示器件生產(chǎn)；微型計(jì)算機(jī)的迅速發(fā)展，使各種元器件生產(chǎn)發(fā)展十分迅速。因此，電子工業(yè)潔凈廠房的設(shè)計(jì)、建造必須適應(yīng)這種快速發(fā)展的需要，從潔凈廠房的規(guī)劃開(kāi)始，對(duì)于電子工廠、潔凈廠房的工藝設(shè)計(jì)、工藝布局應(yīng)充分考慮電子產(chǎn)品發(fā)展的靈活性，以滿足電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝改造和擴(kuò)大生產(chǎn)的需求。

7.4.5干表冷器的設(shè)置應(yīng)符合下列要求：1安裝位置、外形尺寸應(yīng)根據(jù)潔凈廠房的平面和空間布置確定；2迎面風(fēng)速、結(jié)構(gòu)形式應(yīng)根據(jù)潔凈室（區(qū))冷負(fù)荷、風(fēng)機(jī)過(guò)濾器機(jī)組所提供的機(jī)外余壓確定；3冷凍水進(jìn)水溫度，宜高于潔凈室（區(qū))內(nèi)空氣的**溫度；4應(yīng)設(shè)置排水設(shè)施。7.4.6凈化空調(diào)系統(tǒng)空氣處理機(jī)組的選用和布置，應(yīng)符合下列要求：1應(yīng)有良好的氣密性，漏風(fēng)率不得大于1%；2整體結(jié)構(gòu)應(yīng)有足夠的強(qiáng)度和剛度，內(nèi)表面應(yīng)平整、光滑，外表面不應(yīng)結(jié)露；3布置應(yīng)整齊，并應(yīng)便于運(yùn)行和維修；當(dāng)多套空氣處理機(jī)組為同一潔凈室（區(qū))服務(wù)時(shí)，宜選用相同規(guī)格的空氣處理機(jī)組；送風(fēng)機(jī)宜采取變頻調(diào)速措施。送風(fēng)機(jī)可按凈化空調(diào)系統(tǒng)的總風(fēng)量和總阻力值進(jìn)行選擇。計(jì)算系統(tǒng)總阻力時(shí)，中效(高中效）、高效(亞高效、超高效）空氣過(guò)濾器的阻力宜按其初阻力的1.5～2.0倍取值；5應(yīng)設(shè)置排水裝置。潔凈室等級(jí)劃分世界各國(guó)均有自定規(guī)格。

6.1.1潔凈廠房的建筑平面和空間布局，應(yīng)根據(jù)電子產(chǎn)品發(fā)展以及生產(chǎn)工藝改造和擴(kuò)大生產(chǎn)規(guī)模的要求確定。6.1.2潔凈廠房的主體結(jié)構(gòu)宜采用大空間及大跨度柱網(wǎng)，不應(yīng)采用內(nèi)墻承重體系。6.1.3潔凈廠房的立面設(shè)計(jì)應(yīng)簡(jiǎn)潔、明快，并應(yīng)適應(yīng)潔凈室(區(qū))的布置要求。潔凈廠房圍護(hù)結(jié)構(gòu)的材料選型應(yīng)滿足保溫、隔熱、防火、防潮、少產(chǎn)塵、易清潔等要求。6.1.4潔凈廠房主體結(jié)構(gòu)的耐久性應(yīng)與電子產(chǎn)品生產(chǎn)線設(shè)備、生產(chǎn)環(huán)境控制設(shè)施協(xié)調(diào)，并應(yīng)具有防火、控制溫度變形和不均勻沉陷性能。廠房變形縫不宜穿越潔凈區(qū)。6.1.5設(shè)有上技術(shù)夾層、下技術(shù)夾層的潔凈廠房的建筑平面、空間布局和構(gòu)造，應(yīng)滿足產(chǎn)品生產(chǎn)工藝、自動(dòng)化運(yùn)輸和公用動(dòng)力設(shè)施安裝和維修的要求。潔凈室(區(qū))工業(yè)管道的設(shè)計(jì)應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《工業(yè)金屬管道設(shè)計(jì)規(guī)范》GB50316的有關(guān)規(guī)定。安徽電子廠房環(huán)境潔凈室檢測(cè)誠(chéng)信推薦

負(fù)壓潔凈室聯(lián)鎖程序應(yīng)與上述正壓潔凈室相反。半導(dǎo)體凈化車(chē)間潔凈室檢測(cè)規(guī)范性強(qiáng)

5.5.2當(dāng)設(shè)備安裝在跨越不同空氣潔凈度等級(jí)的潔凈室(區(qū))時(shí)，宜采取密封隔斷措施。5.5.3潔凈室（區(qū))內(nèi)的設(shè)備宜選用低噪聲產(chǎn)品。當(dāng)所選設(shè)備超過(guò)潔凈室噪聲容許值時(shí)，應(yīng)采取隔聲措施。5.5.4潔凈室(區(qū))應(yīng)設(shè)置對(duì)電子產(chǎn)品生產(chǎn)過(guò)程所使用的工器具進(jìn)行凈化處理的設(shè)施。5.5.5潔凈室（區(qū)）內(nèi)，電子產(chǎn)品生產(chǎn)過(guò)程中各種零、部件存放和傳送，宜采用容器。用于存放和傳送的**容器，應(yīng)符合下列規(guī)定：1制作材料應(yīng)光潔、不吸濕、不銹蝕、不散發(fā)污染物、防靜電，并在空氣中不應(yīng)被氧化；2應(yīng)密封性能好；3當(dāng)存放物有嚴(yán)格的潔凈度要求時(shí)，宜充填高純度或干燥氮?dú)猓?構(gòu)造、外形應(yīng)滿足生產(chǎn)工藝要求，并應(yīng)方便操作和運(yùn)送。半導(dǎo)體凈化車(chē)間潔凈室檢測(cè)規(guī)范性強(qiáng)