實(shí)驗(yàn)室環(huán)境潔凈室檢測(cè)目的

1近年來，在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)(前工序）用潔凈廠房、TFT-LCD生產(chǎn)用潔凈廠房的建造、設(shè)計(jì)中，基本上采用多層的布置方式，在潔凈生產(chǎn)層吊頂格柵以上的上技術(shù)夾層常常作為送風(fēng)靜壓箱，潔凈空氣通過FFU向潔凈生產(chǎn)層送風(fēng)，實(shí)際上，潔凈生產(chǎn)層與上技術(shù)夾層是相通的；而潔凈生產(chǎn)層的下部是活動(dòng)地板及其支撐件和鋼筋混凝土多孔板，在活動(dòng)地板等以下是作為回風(fēng)靜壓箱的下技術(shù)夾層，在下技術(shù)夾層常常還設(shè)置一些公用動(dòng)力設(shè)備、輔助生產(chǎn)設(shè)備和公用動(dòng)力管線等，潔凈生產(chǎn)層的回風(fēng)通過活動(dòng)地板、多孔板回至下技術(shù)夾層，實(shí)際上，下技術(shù)夾層與潔凈生產(chǎn)層是相通的，所以可以認(rèn)為：電子工廠潔凈廠房垂直單向流潔凈室的空間包括活動(dòng)地板以下的下技術(shù)夾層，潔凈生產(chǎn)層和吊頂以上的上技術(shù)夾層。斷截面上風(fēng)速一致，有垂直單向潔凈室，準(zhǔn)垂直單向流，水平單向流潔凈室等。實(shí)驗(yàn)室環(huán)境潔凈室檢測(cè)目的

15.3.2有微振動(dòng)控制要求的潔凈室（區(qū))，其建筑結(jié)構(gòu)的微振動(dòng)控制設(shè)計(jì)，應(yīng)符合下列規(guī)定：1建筑物基礎(chǔ)宜置于動(dòng)力性能良好的地基土上，且基礎(chǔ)應(yīng)有足夠剛度；2應(yīng)設(shè)置**的建筑結(jié)構(gòu)微振動(dòng)控制體系，并應(yīng)與廠房主體結(jié)構(gòu)分隔；3主體結(jié)構(gòu)應(yīng)根據(jù)微振動(dòng)控制的要求，適當(dāng)加大梁、柱、墻、基礎(chǔ)等截面尺寸。15.3.3有強(qiáng)烈振動(dòng)的設(shè)備和管道，宜采取主動(dòng)隔振措施，并應(yīng)符合下列要求.1宜采用隔振臺(tái)(座）；2應(yīng)選用剛度適當(dāng)?shù)母粽衿鳎?通往潔凈室(區(qū))的管道，宜采取隔振支(吊)架、柔性連接等隔振措施。浙江國內(nèi)潔凈室檢測(cè)范圍工業(yè)管道穿過潔凈室墻壁或樓板處的管段不應(yīng)有焊縫。

5.3.9空氣潔凈度等級(jí)要求較高的潔凈室，其墻板和頂棚宜采用輕質(zhì)壁板構(gòu)造。輕質(zhì)壁板連接構(gòu)造的整體性和氣密性是很重要的，整體性除靠板與板之間的雌雄槽緊密組合外，還靠上下馬槽和板之間的嚴(yán)密結(jié)合，使?jié)崈羰倚纬梢粋€(gè)完整的匣體。板壁之間的接縫應(yīng)以硅橡膠等密封材料嵌縫密封，它的作用是防止灰塵在停機(jī)時(shí)從此進(jìn)人室內(nèi)，同時(shí)使?jié)崈羰以谡９ぷ鲿r(shí)易于保持正壓，減少能量的損耗。此外，潔凈室的關(guān)鍵密封部位是高效過濾器之間或高效過濾器與其安裝骨架之間的縫隙，一定要***密封。目前國內(nèi)使用的密封方法很多，如液槽密封、機(jī)械壓墊密封等，但必須做到涂抹或填嵌方便，操作簡單，而且還要考慮更換高效過濾器時(shí)方便拆裝?？傊?，沒有經(jīng)過高效過濾器過濾的空氣***不允許直接進(jìn)入潔凈室內(nèi)。潔凈室頂棚用輕質(zhì)壁板應(yīng)具有一定的承重能力，以便施工、運(yùn)行時(shí)人員行走。

D.3.2靜壓差測(cè)試，應(yīng)符合下列規(guī)定：1靜壓差的測(cè)定應(yīng)在所有的門關(guān)閉時(shí)進(jìn)行。2儀器宜采用各種型式的微壓計(jì)，儀表靈敏度應(yīng)小于1.0Pa。3潔凈廠房有多個(gè)潔凈室（區(qū))時(shí)，應(yīng)從極里面的房間與相鄰房間的壓差測(cè)試開始，并應(yīng)按順序向外進(jìn)行檢測(cè)。D.3.3已安裝的空氣過濾器泄漏測(cè)試，應(yīng)符合下列規(guī)定：1儀器應(yīng)使用采樣量大于11/mn的光學(xué)粒子計(jì)數(shù)器。2應(yīng)在過濾器上風(fēng)側(cè)引入大于等于0.1pm(0.5um)粒子，粒子濃度應(yīng)大于3.5×10'P/m3的大氣塵或其他氣溶膠；在過濾器下風(fēng)側(cè)應(yīng)用粒子計(jì)數(shù)器的等動(dòng)力采樣頭放在距離被檢過濾器表面20～30mm處，并應(yīng)以5～20mm/s速度移動(dòng)。應(yīng)檢測(cè)包括過濾器的整個(gè)面和過濾器周邊、過濾器框架及其密封處的掃描。管道系統(tǒng)應(yīng)設(shè)必需的吹除口、放凈口和取樣口。

9.4.2凈化空調(diào)系統(tǒng)的空氣過濾器隨運(yùn)行時(shí)間的增加，阻力逐漸增大，為保持送風(fēng)風(fēng)量，經(jīng)常手動(dòng)調(diào)節(jié)系統(tǒng)中的風(fēng)閥，以增加風(fēng)量，調(diào)整很麻煩；在空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)調(diào)試中，系統(tǒng)啟動(dòng)時(shí)為使風(fēng)機(jī)空載啟動(dòng)，首先將風(fēng)機(jī)出口處風(fēng)閥關(guān)閉，風(fēng)機(jī)啟動(dòng)后，由于風(fēng)閥上承受壓力很大，打開十分困難。當(dāng)采用空氣過濾器前后壓力差的變化控制送風(fēng)機(jī)的變頻調(diào)速裝置后，送風(fēng)量的調(diào)節(jié)變得十分容易，送風(fēng)壓力穩(wěn)定。同時(shí)潔凈室凈化空調(diào)系統(tǒng)的送風(fēng)機(jī)采用變頻調(diào)速后節(jié)能十分***。9.4.3為避免凈化空調(diào)系統(tǒng)因風(fēng)機(jī)停轉(zhuǎn)無風(fēng)或超溫時(shí)，電加熱器繼續(xù)送電加熱會(huì)造成設(shè)備損壞甚至發(fā)生火災(zāi)，本條強(qiáng)制性規(guī)定應(yīng)設(shè)置無風(fēng)、超溫?cái)嚯姷缺Ｗo(hù)裝置。對(duì)較大型的潔凈廠房的凈化空調(diào)系統(tǒng)的新風(fēng)宜集中進(jìn)行空氣凈化處理。實(shí)驗(yàn)室環(huán)境潔凈室檢測(cè)目的

不同等級(jí)的潔凈室、潔凈室與非潔凈室或潔凈室與室外之間均應(yīng)保持一定的正壓值。實(shí)驗(yàn)室環(huán)境潔凈室檢測(cè)目的

C.1.1檢測(cè)目的檢測(cè)的目的是確認(rèn)過濾系統(tǒng)安裝正確，使用過程中無滲漏發(fā)生，不要將已裝過濾器系統(tǒng)的檢漏與過濾器出廠時(shí)的效率檢測(cè)混為一談，過濾器出廠前應(yīng)經(jīng)過檢漏雨測(cè)試。此項(xiàng)檢測(cè)用于驗(yàn)證過濾系統(tǒng)不存在影響設(shè)施潔凈狀況的滲漏；確認(rèn)過濾系統(tǒng)下風(fēng)向空氣中懸浮粒子的濃度足夠滿足潔凈室設(shè)計(jì)潔凈度。C.1.2檢測(cè)過程檢測(cè)中，在過濾器的上風(fēng)向注入氣溶膠，在下風(fēng)向緊靠過濾器的安裝框架的地方掃描，或在風(fēng)管中的過濾器下風(fēng)向采樣。檢漏包括濾材、過濾器邊框、密封墊和支撐架在內(nèi)的整個(gè)過濾系統(tǒng)。已裝過濾系統(tǒng)的檢漏只在“空態(tài)”或“靜態(tài)”下進(jìn)行，且該項(xiàng)檢測(cè)是在新建潔凈室調(diào)試時(shí)，或現(xiàn)有設(shè)施需要再檢測(cè)時(shí)，或更換了末端過濾器之后進(jìn)行。實(shí)驗(yàn)室環(huán)境潔凈室檢測(cè)目的