10.2.3氣體純化裝置的設置,應符合下列要求:1氣體純化裝置應根據(jù)氣源和產(chǎn)品生產(chǎn)工藝對氣體純度、容許雜質含量要求選擇;2氣體純化裝置宜設置在氣體純化間(站)內。當潔凈廠房設有氣體入口室時,氣體純化間宜與氣體入口室合建;3各類氣體純化裝置宜設置在同一氣體純化間(站)內。若有特殊要求時,也可根據(jù)具體要求分別設置在各自的氣體純化間內;4氣體終端純化裝置宜設置在鄰近用氣點處。10.2.4進入潔凈廠房的氣體管道控制閥門、氣體過濾器、調壓裝置、壓力表、流量計、在線分析儀等,宜集中設置在氣體入口室。潔凈室系指對空氣潔凈度、溫度、濕度、壓力、噪聲等參數(shù)根據(jù)需要都進行控制的密閉性較好的空間。潔凈傳遞窗潔凈室檢測服務商
C.1.1檢測目的檢測的目的是確認過濾系統(tǒng)安裝正確,使用過程中無滲漏發(fā)生,不要將已裝過濾器系統(tǒng)的檢漏與過濾器出廠時的效率檢測混為一談,過濾器出廠前應經(jīng)過檢漏雨測試。此項檢測用于驗證過濾系統(tǒng)不存在影響設施潔凈狀況的滲漏;確認過濾系統(tǒng)下風向空氣中懸浮粒子的濃度足夠滿足潔凈室設計潔凈度。C.1.2檢測過程檢測中,在過濾器的上風向注入氣溶膠,在下風向緊靠過濾器的安裝框架的地方掃描,或在風管中的過濾器下風向采樣。檢漏包括濾材、過濾器邊框、密封墊和支撐架在內的整個過濾系統(tǒng)。已裝過濾系統(tǒng)的檢漏只在“空態(tài)”或“靜態(tài)”下進行,且該項檢測是在新建潔凈室調試時,或現(xiàn)有設施需要再檢測時,或更換了末端過濾器之后進行。江蘇消毒液凈化車間環(huán)境潔凈室檢測評估凈化空調系統(tǒng)設計應合理利用回風。
6.1.1潔凈廠房的建筑平面和空間布局,應根據(jù)電子產(chǎn)品發(fā)展以及生產(chǎn)工藝改造和擴大生產(chǎn)規(guī)模的要求確定。6.1.2潔凈廠房的主體結構宜采用大空間及大跨度柱網(wǎng),不應采用內墻承重體系。6.1.3潔凈廠房的立面設計應簡潔、明快,并應適應潔凈室(區(qū))的布置要求。潔凈廠房圍護結構的材料選型應滿足保溫、隔熱、防火、防潮、少產(chǎn)塵、易清潔等要求。6.1.4潔凈廠房主體結構的耐久性應與電子產(chǎn)品生產(chǎn)線設備、生產(chǎn)環(huán)境控制設施協(xié)調,并應具有防火、控制溫度變形和不均勻沉陷性能。廠房變形縫不宜穿越潔凈區(qū)。6.1.5設有上技術夾層、下技術夾層的潔凈廠房的建筑平面、空間布局和構造,應滿足產(chǎn)品生產(chǎn)工藝、自動化運輸和公用動力設施安裝和維修的要求。
D.3.2靜壓差測試,應符合下列規(guī)定:1靜壓差的測定應在所有的門關閉時進行。2儀器宜采用各種型式的微壓計,儀表靈敏度應小于1.0Pa。3潔凈廠房有多個潔凈室(區(qū))時,應從極里面的房間與相鄰房間的壓差測試開始,并應按順序向外進行檢測。D.3.3已安裝的空氣過濾器泄漏測試,應符合下列規(guī)定:1儀器應使用采樣量大于11/mn的光學粒子計數(shù)器。2應在過濾器上風側引入大于等于0.1pm(0.5um)粒子,粒子濃度應大于3.5×10'P/m3的大氣塵或其他氣溶膠;在過濾器下風側應用粒子計數(shù)器的等動力采樣頭放在距離被檢過濾器表面20~30mm處,并應以5~20mm/s速度移動。應檢測包括過濾器的整個面和過濾器周邊、過濾器框架及其密封處的掃描??扇細怏w管道、氧氣管道的末端或極高點均應設置放散管。
C.3已裝過濾系統(tǒng)氣溶膠光度計掃描檢漏規(guī)程C.3.1進行已裝過濾系統(tǒng)掃描檢漏前,應已完成風速合格性檢測。C.3.2過濾器上風向氣溶膠適當粒徑范圍[質量中值粒徑(MMD)一般為0.5μm~0.7μm,幾何標準差可高達1.7];濃度為10mg/m~100mg/m。濃度低于20mg/m時檢漏的靈敏度欠佳;高于80mg/m,長時間檢測會過度污染過濾器。注入氣溶膠與送風應均勻混合,上風向氣溶膠濃度隨時間的變化不應超過平均測量值的士15%。C.3.3按規(guī)定的掃描速度,移動采樣探頭往復掃描。采樣頭往復掃描速度為15/Wp,cm/s(Wp為垂直于掃描方向的采樣口寬度。掃描速度為5cm/s。注:當使用3cm×3cm正方形采樣頭掃描時,掃描的覆蓋面之間略有重疊。C.3.4采樣口的風速接近過濾器出風面的風速(接近“等動力采樣”)。采樣探頭距過濾器出風面和框架結構約3cm。C.3.5掃描應遍及過濾器的整個出風面、過濾器的周邊、過濾器邊框與安裝構架之間的密封處及安裝構架的結合點。C.3.6驗收限值:當讀數(shù)大于上風向氣溶膠濃度的0.01%時,就認為存在滲漏。供需雙方也可商定其他驗收限值。掃描時任何顯示大于或等于滲漏限值處,采樣頭應停留持續(xù)測量一段時間,光度計獲得比較大讀數(shù)時采樣頭的位置應判定為滲漏位置。潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)之間的壓差不應小于5Pa。安徽靜電潔凈室檢測頻率
凈化空調系統(tǒng)的風機宜采取變頻措施。潔凈傳遞窗潔凈室檢測服務商
D.3.10自凈時間檢測,應符合下列規(guī)定:1自凈時間的檢測,宜用于非單向流潔凈室。2自凈時間的檢測,宜采用大氣塵或煙霧發(fā)生器等人工塵源為基準,并宜以粒子計數(shù)器進行檢測,同時應符合下列要求.1)以大氣塵為基準時,則必須將潔凈室停止運行相當時間,在室內含塵濃度已接近于大氣濃度時,測出潔凈室內靠近回風口處的含塵濃度(N。)。然后開機,定時讀數(shù)(一般可設置每間隔6s讀數(shù)一次),直到回風口處的含塵濃度回復到原來的穩(wěn)定狀態(tài),記錄下所需的時間(t)。2)以人工塵源為基準時,應將煙霧發(fā)生器放置在離地面1.8m以上室中心,發(fā)煙1~2min后停止,等待1min,測出潔凈室內靠近回風口處的含塵濃度(N。)。然后開機,方法同上。3由初始濃度(No)、室內達到穩(wěn)定的濃度(N)、實際換氣次數(shù)(n),可得到計算自凈時間(to),與實測自凈時間(t)進行對比,如果t≤12to,為合格。4自凈時間檢測方法除上述方法外,還有微粒濃度變化率評估法等。自凈時間檢測方法應洽商確定。潔凈傳遞窗潔凈室檢測服務商