10.2.3氣體純化裝置的設(shè)置,應(yīng)符合下列要求:1氣體純化裝置應(yīng)根據(jù)氣源和產(chǎn)品生產(chǎn)工藝對(duì)氣體純度、容許雜質(zhì)含量要求選擇;2氣體純化裝置宜設(shè)置在氣體純化間(站)內(nèi)。當(dāng)潔凈廠房設(shè)有氣體入口室時(shí),氣體純化間宜與氣體入口室合建;3各類氣體純化裝置宜設(shè)置在同一氣體純化間(站)內(nèi)。若有特殊要求時(shí),也可根據(jù)具體要求分別設(shè)置在各自的氣體純化間內(nèi);4氣體終端純化裝置宜設(shè)置在鄰近用氣點(diǎn)處。10.2.4進(jìn)入潔凈廠房的氣體管道控制閥門、氣體過(guò)濾器、調(diào)壓裝置、壓力表、流量計(jì)、在線分析儀等,宜集中設(shè)置在氣體入口室。潔凈環(huán)境是為生產(chǎn)工藝服務(wù)的,潔凈室設(shè)計(jì)必須滿足生產(chǎn)工藝的環(huán)境要求,這是理所當(dāng)然的。浙江塵埃粒子潔凈室檢測(cè)范圍
7.1.1潔凈廠房?jī)?nèi)各潔凈室(區(qū))的空氣潔凈度等級(jí),應(yīng)根據(jù)電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝特點(diǎn)和潔凈室型式確定。7.1.2氣流流型應(yīng)根據(jù)各潔凈室(區(qū))空氣潔凈度等級(jí)和電子產(chǎn)品工藝特點(diǎn)的不同要求選用。7.1.3有下列情況之一者,凈化空調(diào)系統(tǒng)宜分開(kāi)設(shè)置:1運(yùn)行班次或使用時(shí)間不同;2生產(chǎn)過(guò)程中散發(fā)的物質(zhì)對(duì)其他工序、設(shè)備交叉污染,對(duì)產(chǎn)品質(zhì)量或操作人員健康、安全有影響;3對(duì)溫、濕度控制要求差別大;4潔凈室(區(qū))內(nèi)工藝設(shè)備發(fā)熱相差懸殊;5凈化空調(diào)系統(tǒng)與一般空調(diào)系統(tǒng),6系統(tǒng)風(fēng)量過(guò)大的凈化空調(diào)系統(tǒng)。潔凈室檢測(cè)流程非單向流潔凈室中都有渦流存在,不適宜用于高潔凈度的潔凈室中,宜用于6~9級(jí)的潔凈室中。
B.1自凈檢測(cè)是測(cè)定潔凈室設(shè)施***空氣懸浮粒子的能力。潔凈室污染潔凈度的恢復(fù)性能是設(shè)施**重要的能力之一。自凈檢測(cè)*對(duì)非單向流系統(tǒng)重要并推薦采用,因?yàn)樽詢粜阅芘c受控區(qū)內(nèi)循環(huán)空氣比例(換氣次數(shù))、送風(fēng)與出風(fēng)的幾何位置、熱條件和空氣分布特性因素相關(guān),而單向流系統(tǒng)中,污染被受控氣流置換,自凈時(shí)間只受位置和距離的影響。自凈檢測(cè)應(yīng)在設(shè)施處于空態(tài)或靜態(tài)時(shí)進(jìn)行。潔凈度ISO8級(jí)和ISO9級(jí)的潔凈室(區(qū))不推薦自凈檢測(cè)。檢測(cè)若使用人工氣溶膠,應(yīng)防止氣溶膠對(duì)設(shè)施的殘留污染。B.2自凈性能的評(píng)估方法有100:1自凈時(shí)間或潔凈度恢復(fù)率。100:1自凈時(shí)間的定義:粒子濃度降低到0.01倍初始濃度所需時(shí)間。100:1自凈時(shí)間檢測(cè)是優(yōu)先方法。潔凈恢復(fù)率的定義:粒子濃度隨時(shí)間的變化速率。該方法可以使用粒子濃度衰減曲線進(jìn)行描述(縱座標(biāo)表示濃度,為對(duì)數(shù)刻度;橫座標(biāo)表示濃度,為線性刻度)。
4.1.1潔凈廠房位置的選擇,應(yīng)根據(jù)下列要求經(jīng)技術(shù)經(jīng)濟(jì)比較后確定:1應(yīng)布置在大氣含塵和有害氣體或化學(xué)污染物濃度較低、自然環(huán)境較好的區(qū)域;2應(yīng)遠(yuǎn)離鐵路、碼頭、飛機(jī)場(chǎng)、交通要道以及散發(fā)大量粉塵和有害氣體或化學(xué)污染物的工廠、貯倉(cāng)、堆場(chǎng)等有嚴(yán)重空氣污染、振動(dòng)或噪聲干擾或強(qiáng)電磁場(chǎng)的區(qū)域。不能遠(yuǎn)離嚴(yán)重空氣污染源時(shí),則應(yīng)位于全年**小頻率風(fēng)向下風(fēng)側(cè);3在廠區(qū)內(nèi)應(yīng)布置在環(huán)境清潔、污染物少、人流和物流不穿越或少穿越的地段。..有足夠的風(fēng)量,既為了稀釋空氣的含塵濃度,又保證有穩(wěn)定的氣流流型。
12.4.1潔凈廠房的自動(dòng)控制系統(tǒng)宜采用集散式網(wǎng)絡(luò)結(jié)構(gòu),并應(yīng)具有穩(wěn)定、可靠、節(jié)能、開(kāi)放和可擴(kuò)展性。12.4.2潔凈廠房應(yīng)對(duì)凈化空調(diào)、供熱、供冷、純水和氣體供應(yīng)等系統(tǒng)進(jìn)行自動(dòng)監(jiān)控。12.4.3潔凈室(區(qū))內(nèi)外的壓差監(jiān)測(cè),宜采用壓差變送器通過(guò)控制系統(tǒng)調(diào)節(jié)潔凈室(區(qū))的送風(fēng)量或回風(fēng)量。12.4.4凈化空調(diào)系統(tǒng)采用電加熱器時(shí),電加熱器與風(fēng)機(jī)應(yīng)聯(lián)鎖控制,并應(yīng)設(shè)置無(wú)風(fēng)、超溫?cái)嚯姳Wo(hù);當(dāng)采用電加濕器時(shí),應(yīng)設(shè)置無(wú)水、無(wú)風(fēng)斷電保護(hù)。12.4.5在滿足生產(chǎn)工藝要求的前提下,宜對(duì)風(fēng)機(jī)、水泵等動(dòng)力設(shè)備采取變頻調(diào)速等節(jié)能控制措施。正壓潔凈室聯(lián)鎖程序應(yīng)先啟動(dòng)送風(fēng)機(jī),再啟動(dòng)回風(fēng)機(jī)和排風(fēng)機(jī)。浙江實(shí)驗(yàn)室環(huán)境潔凈室檢測(cè)報(bào)告
潔凈室系指對(duì)空氣潔凈度、溫度、濕度、壓力、噪聲等參數(shù)根據(jù)需要都進(jìn)行控制的密閉性較好的空間。浙江塵埃粒子潔凈室檢測(cè)范圍
(1)潔凈廠房是現(xiàn)代科學(xué)技術(shù)發(fā)展的產(chǎn)物。隨著科學(xué)技術(shù)的日新月異,新技術(shù)、新工藝、新產(chǎn)品不斷出現(xiàn),產(chǎn)品精密度的日益提高,對(duì)無(wú)塵提出了越來(lái)越高的要求。目前,潔凈廠房已廣泛應(yīng)用于電子、生物制藥、宇航、精密儀器制造等重要部門。(2)潔凈廠房的空氣潔凈度對(duì)有凈化要求的產(chǎn)品質(zhì)量有很大影響。因此,必須保持凈化空調(diào)系統(tǒng)的正常運(yùn)行。據(jù)了解,在規(guī)定的空氣潔凈度下生產(chǎn)的產(chǎn)品合格率可提高約10%~30%。一旦停電,室內(nèi)空氣會(huì)很快污染,影響產(chǎn)品質(zhì)量。(3)潔凈廠房是個(gè)相對(duì)的密閉體,由于停電造成送風(fēng)中斷,室內(nèi)的新鮮空氣得不到補(bǔ)充,有害氣體不能排出,對(duì)工作人員的健康是不利的。浙江塵埃粒子潔凈室檢測(cè)范圍