安徽半導體凈化車間潔凈室檢測分析

5.5.2當設備安裝在跨越不同空氣潔凈度等級的潔凈室(區(qū))時，宜采取密封隔斷措施。5.5.3潔凈室（區(qū))內的設備宜選用低噪聲產(chǎn)品。當所選設備超過潔凈室噪聲容許值時，應采取隔聲措施。5.5.4潔凈室(區(qū))應設置對電子產(chǎn)品生產(chǎn)過程所使用的工器具進行凈化處理的設施。5.5.5潔凈室（區(qū)）內，電子產(chǎn)品生產(chǎn)過程中各種零、部件存放和傳送，宜采用容器。用于存放和傳送的**容器，應符合下列規(guī)定：1制作材料應光潔、不吸濕、不銹蝕、不散發(fā)污染物、防靜電，并在空氣中不應被氧化；2應密封性能好；3當存放物有嚴格的潔凈度要求時，宜充填高純度或干燥氮氣；4構造、外形應滿足生產(chǎn)工藝要求，并應方便操作和運送。為了達到規(guī)定的潔凈度級別，有效地控制微粒的污染。安徽半導體凈化車間潔凈室檢測分析

5.1.3主體結構要具備同建筑處理及其室內裝備和裝修水平相適應的等級水平。若室內裝備與裝修水平高，而主體結構為臨時的，就會形成嚴重的浪費。本條規(guī)定著重于使?jié)崈魪S房在耐久性、裝修與裝備水平、耐火能力等幾個方面相互協(xié)調，使投資長期發(fā)揮作用。此外，溫度或沉陷不但可能影響安全，而且還會破壞建筑裝修的完整性及圍護結構的氣密性，故須對主體結構采取相應措施。5.1.5對兼有一般生產(chǎn)和潔凈生產(chǎn)的綜合性廠房，在考慮其平面布局和構造處理時，應合理組織人流、物流運輸及消防疏散線路，避免一般生產(chǎn)對潔凈生產(chǎn)帶來不利的影響。當防火方面與潔凈生產(chǎn)要求有***時，應采取措施，在確保消防疏散的前提下，減少對潔凈生產(chǎn)的不利影響。北京靜電潔凈室檢測方法負壓潔凈室聯(lián)鎖程序應與上述正壓潔凈室相反。

C.1.3已裝過濾系統(tǒng)其過濾器檢漏C.1.3.1**的檢測項目，對安裝的過濾器進行檢漏。C.1.3.2調試過程中承建商的檢測已獲得業(yè)主認可，在緊接著的潔凈度項目檢測過程中，可進行抽檢或免檢。C.1.3.3有條件時，宜將過濾系統(tǒng)安裝調試過程的檢漏與檢測項目中**的過濾系統(tǒng)檢漏合并；過濾系統(tǒng)檢漏費時、費人力，整個潔凈室建造過程中只給出一定的作業(yè)時間周期。C.1.4檢漏方法檢漏方法通常有“氣溶膠光度計法”和“離散粒子計數(shù)器（DPC)法”。氣溶膠光度計是測量空氣中懸浮粒子的質量濃度，而離散粒子計數(shù)器是測量空氣中懸浮粒子的數(shù)量和粒徑，2種方法獲得的結果不能進行直接比較。

5.1.1隨著科學技術的發(fā)展，電子產(chǎn)品的更新?lián)Q代、產(chǎn)品生產(chǎn)技術的發(fā)展十分迅速，以集成電路為**的微電子產(chǎn)品尤為***，集成電路產(chǎn)品基本上是2~3年或更短的時間就會提升一代產(chǎn)品；以TFT-LCD為**的顯示器件正在取代彩色顯像管的顯示器件生產(chǎn)；微型計算機的迅速發(fā)展，使各種元器件生產(chǎn)發(fā)展十分迅速。因此，電子工業(yè)潔凈廠房的設計、建造必須適應這種快速發(fā)展的需要，從潔凈廠房的規(guī)劃開始，對于電子工廠、潔凈廠房的工藝設計、工藝布局應充分考慮電子產(chǎn)品發(fā)展的靈活性，以滿足電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝改造和擴大生產(chǎn)的需求。工業(yè)潔凈室--以無生命的微粒作為控制對象。

4.4.3~4.4.6控制設備噪聲首先要從聲源上考慮，設計時應選用低噪聲設備。在某些情況下，由于技術或經(jīng)濟上的原因而難以做到時，則應從噪聲傳播途徑上采取降噪措施，如把高噪聲工藝設備遷出潔凈室或隔離布置于隔聲間內。有些由于與生產(chǎn)聯(lián)系密切，必須置于潔凈區(qū)內的高噪聲設備，亦可采用隔聲罩隔絕噪聲。國內現(xiàn)有潔凈廠房中，不少潔凈室將機械泵一類高噪聲設備置于潔凈室外套間或技術夾道內，潔凈室內噪聲有明顯降低。潔凈室的靜態(tài)噪聲主要來源于凈化空調系統(tǒng)和局部凈化設備運行噪聲，靜態(tài)噪聲的大小與潔凈室氣流流型、換氣次數(shù)等因素有關。但關鍵在于凈化空調系統(tǒng)的布置及合理的降噪措施，不合理的設計方案必然導致較高的靜態(tài)噪聲。潔凈室（區(qū))與周圍的空間必須維持一定的壓差，并應按工藝要求決定維持正壓差或負壓差。浙江靜電潔凈室檢測服務商

潔凈室的發(fā)展與現(xiàn)代工業(yè)、高新技術密切聯(lián)系在一起。安徽半導體凈化車間潔凈室檢測分析

4.2.2因生產(chǎn)工藝的不同，潔凈廠房內常有多種氣體、液體供應管道，如氫、氧、氮、氬、壓縮空氣和純水、上水等管道，以及電氣管線、凈化空調系統(tǒng)的送回風管和局部排風管等，管線交叉復雜。因此，在進行管線綜合布置時，必須在平面和標高上密切配合，綜合考慮，才能做到安裝、調試、清掃、使用和維修的方便及整齊美觀。對國內已建成的潔凈廠房調研中，了解到為布置各種管道和高效過濾器等一般均設置了技術夾層或技術夾道，大多使用效果良好，但有的新建工程把技術夾層設計得過高是不經(jīng)濟的。改建工程由于空間較小，管線布置比較緊湊，但如果布置合理，效果也是不錯的。因此，在進行管線綜合布置設計和確定技術夾層層高時，應進行技術經(jīng)濟比較，做到技術上可靠，經(jīng)濟上合理。安徽半導體凈化車間潔凈室檢測分析