福建電子廠房環(huán)境檢測(cè)認(rèn)真負(fù)責(zé)

B.3.3.3.2離散粒子計(jì)數(shù)器（DPC）測(cè)量使用離散粒子計(jì)數(shù)器測(cè)量大粒子的方法與B.1中的空氣懸浮粒子計(jì)數(shù)方法基本相同，不同點(diǎn)只有一處，由于只需要大粒子的計(jì)數(shù)數(shù)據(jù)，因此對(duì)1μm以下粒子的儀器靈敏度無(wú)要求。注意離散粒子計(jì)數(shù)器的樣本需是直接采自采樣點(diǎn)的空氣；計(jì)數(shù)器采樣管的長(zhǎng)度不得超過(guò)1m；離散粒子計(jì)數(shù)器的采樣流量至少0.00047m/s。單向流潔凈室中，計(jì)數(shù)器采樣口的尺寸應(yīng)適應(yīng)等動(dòng)力采樣。在非單向流區(qū)域，離散粒子計(jì)數(shù)器的采樣口應(yīng)朝上，采樣口直徑應(yīng)不小于30mm。設(shè)定計(jì)數(shù)器的粒徑范圍，使其只測(cè)量大粒子。為了保證所測(cè)粒子的濃度不大于出現(xiàn)重疊誤差的濃度，應(yīng)保留一個(gè)低于5μm（見(jiàn)GB/T25915.1-2010中表1）的粒徑檔。將這個(gè)小于5μm粒徑檔的濃度數(shù)據(jù)加到大粒徑數(shù)據(jù)中，濃度之和不應(yīng)超過(guò)所用粒子計(jì)數(shù)器比較大濃度建議值的50%。通過(guò)潔凈室檢測(cè)，可以有效降低產(chǎn)品生產(chǎn)過(guò)程中的污染風(fēng)險(xiǎn)。福建電子廠房環(huán)境檢測(cè)認(rèn)真負(fù)責(zé)

潔凈室是空氣懸浮粒子濃度受控的房間。它的建造和使用應(yīng)減少室內(nèi)誘入、產(chǎn)生及滯留粒子。室內(nèi)其它有關(guān)參數(shù)如溫度、濕度、壓力等要求進(jìn)行控制。潔凈區(qū)是空氣懸浮粒子濃度受控的限定空間。它的建造和使用應(yīng)減少空間內(nèi)誘入、產(chǎn)生及滯留粒子。空間內(nèi)其它有關(guān)參數(shù)如溫度、濕度、壓力等要求進(jìn)行控制。潔凈區(qū)可以是開(kāi)放式或封閉式?？諝鉂崈舳仁侵笣崈舡h(huán)境中空氣含塵微粒量多少的程度含塵濃度高則潔凈度低含塵濃度低則潔凈度高?？諝鉂崈舳鹊木唧w高低則是用空氣潔凈度級(jí)別來(lái)區(qū)分的，而這種級(jí)別又是用操作時(shí)間內(nèi)空氣的計(jì)數(shù)含塵濃度來(lái)表示，也就是把從某一個(gè)低的含塵濃度起到不超過(guò)另一個(gè)高的含塵濃度止這一個(gè)含塵濃度范圍為某一個(gè)空氣潔凈度級(jí)別。懸浮粒子是指用于空氣潔凈度分級(jí)的空氣中懸浮粒子尺寸范圍在0.15μm的固體和液體粒子。福建電子廠房環(huán)境檢測(cè)認(rèn)真負(fù)責(zé)潔凈室檢測(cè)不僅關(guān)注硬件設(shè)施的完善，還注重人員操作的規(guī)范性。

B.2.1.3粒徑限制器為獲得測(cè)量或驗(yàn)證U描述符所需的計(jì)數(shù)效率特性，可在計(jì)數(shù)效率曲線落在圖B.1陰影區(qū)之外左側(cè)的離散粒子計(jì)數(shù)器（DPC)或凝聚核計(jì)數(shù)器的采樣管上，安裝一個(gè)粒徑限制器。改動(dòng)后，計(jì)數(shù)器、采樣口與粒徑限制器的綜合計(jì)數(shù)效率曲線落在圖B.1的陰影區(qū)內(nèi)。粒徑限制器***小于規(guī)定粒徑的粒子，以準(zhǔn)確且可再現(xiàn)的方式降低透過(guò)率。粒徑限制器多種多樣，其大小和配置各異，只要它們具有所要求的透過(guò)率即可接受。合適的粒徑限制器包括擴(kuò)散元件和虛擬撞擊器。透過(guò)率隨粒子的物理特性、限制器構(gòu)造和體積流量而變化。因此，使用粒徑限制器時(shí)要小心，它們只能用于規(guī)定的流量，安裝時(shí)要防靜電累積。為了減少電荷累積，粒徑限制器應(yīng)有良好的接地。

潔凈室在現(xiàn)代工業(yè)中早已被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體生產(chǎn)、液晶螢?zāi)簧a(chǎn)、生化技術(shù)、生物技術(shù)、精密器械、制藥、醫(yī)院等行業(yè)之中，尤其以半導(dǎo)體晶圓制程對(duì)無(wú)塵等級(jí)的要求比較高，因?yàn)楝F(xiàn)今的晶圓已經(jīng)發(fā)展到奈米級(jí)的水準(zhǔn)，隨便一?；覊m掉落在晶圓上都可能造成整個(gè)晶圓線路的毀損，甚至導(dǎo)致這個(gè)晶圓必須報(bào)廢。無(wú)塵室除了管控空氣中的微塵粒子之外，還分成正壓無(wú)塵室與負(fù)壓無(wú)塵室。一般正壓無(wú)塵室比較常見(jiàn)，就是讓室內(nèi)的空氣壓力大于室外的壓力，這樣才可以控制室內(nèi)空氣往外吹以杜絕外部的污染源。在工作區(qū)應(yīng)避免渦流區(qū)；盡量使送入房間的潔凈度高的空氣直接到達(dá)工作區(qū)。

在單向流潔凈室中，潔凈氣流不是一股或幾股，而是充滿整個(gè)房間截面，所以這種潔凈室不依靠潔凈氣流對(duì)室內(nèi)臟空氣的混合稀釋作用，而是依靠在干凈的氣流上推出效果。室內(nèi)臟空氣沿整個(gè)斷面排到室外，達(dá)到凈化室內(nèi)空氣的目的。因此，前聯(lián)邦德國(guó)有人將單向流潔凈室的氣流稱(chēng)為“塞流”、“塞流”，前蘇聯(lián)則稱(chēng)其為“擠壓弱氣流”。潔凈的空氣就像一個(gè)空氣活塞，沿著房間的“氣缸”向前(向下)推動(dòng)，使塵粒只能向前(向下)移動(dòng)而不能返回，在單流潔凈室和單流凈化設(shè)備中，逆向氣流可以沿著墻壁和兩個(gè)過(guò)濾器的重疊部分下方出現(xiàn)。這種氣流會(huì)將污染從底部傳送到頂部，然后向下傳送，破壞上述“塞流”狀態(tài)，危害極大。對(duì)于有開(kāi)口與外界相連的局部?jī)艋O(shè)備，如潔凈工作臺(tái)，這種氣流會(huì)導(dǎo)致外部污染氣流。在設(shè)計(jì)中，必須減少濾框占用的無(wú)效面積，減少空間的壁面。盡可能靠近過(guò)濾器的有效風(fēng)截面。潔凈室內(nèi)有通風(fēng)柜時(shí)，宜置于工作區(qū)氣流的下風(fēng)側(cè)，以減少對(duì)室內(nèi)的污染。福建電子廠房環(huán)境檢測(cè)認(rèn)真負(fù)責(zé)

潔凈室檢測(cè)后，需形成詳細(xì)的檢測(cè)報(bào)告，記錄各項(xiàng)指標(biāo)數(shù)據(jù)。福建電子廠房環(huán)境檢測(cè)認(rèn)真負(fù)責(zé)

潔凈室或潔凈設(shè)施溫、濕度測(cè)定，通常分為兩個(gè)檔次：一般測(cè)試和綜合測(cè)試。檔次適用于處于空態(tài)的交竣驗(yàn)收測(cè)試，第二個(gè)檔次適用于靜態(tài)或動(dòng)態(tài)的綜合性能測(cè)試。這類(lèi)測(cè)試適用于對(duì)溫度、濕度性能要求比較嚴(yán)格的場(chǎng)合。本檢測(cè)在氣流均勻性檢測(cè)之后和空調(diào)系統(tǒng)調(diào)整之后進(jìn)行。進(jìn)行這項(xiàng)檢測(cè)時(shí)，空調(diào)系統(tǒng)已經(jīng)充分運(yùn)轉(zhuǎn)，各項(xiàng)狀況已經(jīng)穩(wěn)定。每個(gè)濕度控制區(qū)至少設(shè)置一個(gè)濕度傳感器，并且給傳感器充分的穩(wěn)定時(shí)間。所做測(cè)量應(yīng)適合實(shí)際使用的目的，待傳感器穩(wěn)定之后才開(kāi)始測(cè)量，測(cè)量時(shí)間不少于5分鐘。福建電子廠房環(huán)境檢測(cè)認(rèn)真負(fù)責(zé)