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5.1.1隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展,電子產(chǎn)品的更新?lián)Q代、產(chǎn)品生產(chǎn)技術(shù)的發(fā)展十分迅速,以集成電路為**的微電子產(chǎn)品尤為***,集成電路產(chǎn)品基本上是2~3年或更短的時(shí)間就會(huì)提升一代產(chǎn)品;以TFT-LCD為**的顯示器件正在取代彩色顯像管的顯示器件生產(chǎn);微型計(jì)算機(jī)的迅速發(fā)展,使各種元器件生產(chǎn)發(fā)展十分迅速。因此,電子工業(yè)潔凈廠房的設(shè)計(jì)、建造必須適應(yīng)這種快速發(fā)展的需要,從潔凈廠房的規(guī)劃開始,對(duì)于電子工廠、潔凈廠房的工藝設(shè)計(jì)、工藝布局應(yīng)充分考慮電子產(chǎn)品發(fā)展的靈活性,以滿足電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝改造和擴(kuò)大生產(chǎn)的需求。潔凈室等級(jí)劃分世界各國(guó)均有自定規(guī)格。浙江壓縮空氣檢測(cè)潔凈室檢測(cè)目的
隨著生產(chǎn)工藝對(duì)純水水質(zhì)的不斷提高,甚至到了理論純水的程度,尤其是集成電路的發(fā)展不但對(duì)水中電解質(zhì)的含量要求極其嚴(yán)格,而且對(duì)細(xì)菌、微粒、有機(jī)物及溶解氧等都有極其嚴(yán)格的要求;醫(yī)藥工業(yè)中要求供應(yīng)的注射用水,對(duì)水中含菌量、熱源均有嚴(yán)格要求。除了嚴(yán)格的純水制造過程外,純水輸送管道的管材選擇和管網(wǎng)設(shè)計(jì)是保證使用點(diǎn)水質(zhì)的關(guān)鍵。實(shí)踐證明,采用循環(huán)供水方式是行之有效的。主要是基于保證輸水管道內(nèi)的流速和盡量減少不循環(huán)段的死水區(qū),以減少純水在管道內(nèi)的停留時(shí)間,減少管道材料微量溶出物(即使目前質(zhì)量比較好的管道也會(huì)有微量物質(zhì)溶出)對(duì)超純水水質(zhì)的影響,同時(shí),基于流水不腐的道理,高的流速也可以防止細(xì)菌微生物的滋生。江蘇風(fēng)速潔凈室檢測(cè)分析潔凈室(區(qū))工業(yè)管道的設(shè)計(jì)應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《工業(yè)金屬管道設(shè)計(jì)規(guī)范》GB50316的有關(guān)規(guī)定。
12.4.1潔凈廠房的自動(dòng)控制系統(tǒng)宜采用集散式網(wǎng)絡(luò)結(jié)構(gòu),并應(yīng)具有穩(wěn)定、可靠、節(jié)能、開放和可擴(kuò)展性。12.4.2潔凈廠房應(yīng)對(duì)凈化空調(diào)、供熱、供冷、純水和氣體供應(yīng)等系統(tǒng)進(jìn)行自動(dòng)監(jiān)控。12.4.3潔凈室(區(qū))內(nèi)外的壓差監(jiān)測(cè),宜采用壓差變送器通過控制系統(tǒng)調(diào)節(jié)潔凈室(區(qū))的送風(fēng)量或回風(fēng)量。12.4.4凈化空調(diào)系統(tǒng)采用電加熱器時(shí),電加熱器與風(fēng)機(jī)應(yīng)聯(lián)鎖控制,并應(yīng)設(shè)置無風(fēng)、超溫?cái)嚯姳Wo(hù);當(dāng)采用電加濕器時(shí),應(yīng)設(shè)置無水、無風(fēng)斷電保護(hù)。12.4.5在滿足生產(chǎn)工藝要求的前提下,宜對(duì)風(fēng)機(jī)、水泵等動(dòng)力設(shè)備采取變頻調(diào)速等節(jié)能控制措施。
C.1.1檢測(cè)目的檢測(cè)的目的是確認(rèn)過濾系統(tǒng)安裝正確,使用過程中無滲漏發(fā)生,不要將已裝過濾器系統(tǒng)的檢漏與過濾器出廠時(shí)的效率檢測(cè)混為一談,過濾器出廠前應(yīng)經(jīng)過檢漏雨測(cè)試。此項(xiàng)檢測(cè)用于驗(yàn)證過濾系統(tǒng)不存在影響設(shè)施潔凈狀況的滲漏;確認(rèn)過濾系統(tǒng)下風(fēng)向空氣中懸浮粒子的濃度足夠滿足潔凈室設(shè)計(jì)潔凈度。C.1.2檢測(cè)過程檢測(cè)中,在過濾器的上風(fēng)向注入氣溶膠,在下風(fēng)向緊靠過濾器的安裝框架的地方掃描,或在風(fēng)管中的過濾器下風(fēng)向采樣。檢漏包括濾材、過濾器邊框、密封墊和支撐架在內(nèi)的整個(gè)過濾系統(tǒng)。已裝過濾系統(tǒng)的檢漏只在“空態(tài)”或“靜態(tài)”下進(jìn)行,且該項(xiàng)檢測(cè)是在新建潔凈室調(diào)試時(shí),或現(xiàn)有設(shè)施需要再檢測(cè)時(shí),或更換了末端過濾器之后進(jìn)行。可燃?xì)怏w管道、氧氣管道的末端或極高點(diǎn)均應(yīng)設(shè)置放散管。
6.1.1潔凈廠房的建筑平面和空間布局,應(yīng)根據(jù)電子產(chǎn)品發(fā)展以及生產(chǎn)工藝改造和擴(kuò)大生產(chǎn)規(guī)模的要求確定。6.1.2潔凈廠房的主體結(jié)構(gòu)宜采用大空間及大跨度柱網(wǎng),不應(yīng)采用內(nèi)墻承重體系。6.1.3潔凈廠房的立面設(shè)計(jì)應(yīng)簡(jiǎn)潔、明快,并應(yīng)適應(yīng)潔凈室(區(qū))的布置要求。潔凈廠房圍護(hù)結(jié)構(gòu)的材料選型應(yīng)滿足保溫、隔熱、防火、防潮、少產(chǎn)塵、易清潔等要求。6.1.4潔凈廠房主體結(jié)構(gòu)的耐久性應(yīng)與電子產(chǎn)品生產(chǎn)線設(shè)備、生產(chǎn)環(huán)境控制設(shè)施協(xié)調(diào),并應(yīng)具有防火、控制溫度變形和不均勻沉陷性能。廠房變形縫不宜穿越潔凈區(qū)。6.1.5設(shè)有上技術(shù)夾層、下技術(shù)夾層的潔凈廠房的建筑平面、空間布局和構(gòu)造,應(yīng)滿足產(chǎn)品生產(chǎn)工藝、自動(dòng)化運(yùn)輸和公用動(dòng)力設(shè)施安裝和維修的要求。單向流潔凈室氣流的特征是流線平行,以單一方向流動(dòng)。北京靜電潔凈室檢測(cè)周期
潔凈室(區(qū))內(nèi)工業(yè)管道不應(yīng)穿越無關(guān)的房間。浙江壓縮空氣檢測(cè)潔凈室檢測(cè)目的
5.3.9空氣潔凈度等級(jí)要求較高的潔凈室,其墻板和頂棚宜采用輕質(zhì)壁板構(gòu)造。輕質(zhì)壁板連接構(gòu)造的整體性和氣密性是很重要的,整體性除靠板與板之間的雌雄槽緊密組合外,還靠上下馬槽和板之間的嚴(yán)密結(jié)合,使?jié)崈羰倚纬梢粋€(gè)完整的匣體。板壁之間的接縫應(yīng)以硅橡膠等密封材料嵌縫密封,它的作用是防止灰塵在停機(jī)時(shí)從此進(jìn)人室內(nèi),同時(shí)使?jié)崈羰以谡9ぷ鲿r(shí)易于保持正壓,減少能量的損耗。此外,潔凈室的關(guān)鍵密封部位是高效過濾器之間或高效過濾器與其安裝骨架之間的縫隙,一定要***密封。目前國(guó)內(nèi)使用的密封方法很多,如液槽密封、機(jī)械壓墊密封等,但必須做到涂抹或填嵌方便,操作簡(jiǎn)單,而且還要考慮更換高效過濾器時(shí)方便拆裝??傊?,沒有經(jīng)過高效過濾器過濾的空氣***不允許直接進(jìn)入潔凈室內(nèi)。潔凈室頂棚用輕質(zhì)壁板應(yīng)具有一定的承重能力,以便施工、運(yùn)行時(shí)人員行走。浙江壓縮空氣檢測(cè)潔凈室檢測(cè)目的