廣東潔凈工作臺(tái)檢測(cè)

潔凈室的主要作用是控制產(chǎn)品(如硅片等)所接觸的大氣的潔凈室潔凈度和溫濕度，使產(chǎn)品能夠在良好的環(huán)境空間中生產(chǎn)制造，從而我們稱之為潔凈室。按照國(guó)際慣例，無(wú)塵凈化等級(jí)主要是根據(jù)空氣中每立方米直徑大于分類標(biāo)準(zhǔn)的顆粒數(shù)量來(lái)規(guī)定的。也就是說(shuō)，所謂的無(wú)塵，并不是100%沒有一點(diǎn)灰塵，而是控制在極少量的單位。當(dāng)然，這個(gè)標(biāo)準(zhǔn)中符合粉塵標(biāo)準(zhǔn)的顆粒物，相對(duì)于我們常見的粉塵來(lái)說(shuō)是非常小的，但是對(duì)于光學(xué)結(jié)構(gòu)來(lái)說(shuō)，哪怕是一點(diǎn)點(diǎn)的粉塵也會(huì)產(chǎn)生非常大的負(fù)面影響潔凈室檢測(cè)是確保生產(chǎn)環(huán)境達(dá)到特定潔凈度標(biāo)準(zhǔn)的關(guān)鍵步驟。廣東潔凈工作臺(tái)檢測(cè)

抽樣高效過(guò)濾器本體在進(jìn)入現(xiàn)場(chǎng)前，生產(chǎn)廠家應(yīng)按規(guī)定進(jìn)行性能試驗(yàn)，并提供合格證。在單向流潔凈室對(duì)安裝的高效空氣過(guò)濾器應(yīng)該逐臺(tái)進(jìn)行檢漏，亂流潔凈室對(duì)于7級(jí)或更低級(jí)別的潔凈室，只要潔凈室達(dá)到了所要求的空氣潔凈度級(jí)別，就可以不進(jìn)行檢漏。技術(shù)要求檢漏的結(jié)果要符合條件：由受檢過(guò)濾器下風(fēng)側(cè)測(cè)到的漏泄?jié)舛葥Q算成透過(guò)率，對(duì)于高效過(guò)濾器應(yīng)不大于過(guò)濾器出廠合格率的2倍，對(duì)于超高效過(guò)濾器應(yīng)不大于出廠合格透過(guò)率的3倍。操作過(guò)程及判定過(guò)濾器的檢漏是指安裝完成的空氣過(guò)濾器的檢漏適用于空態(tài)或靜態(tài)的潔凈室。對(duì)于安裝于送、排風(fēng)末端的高效過(guò)濾器，應(yīng)用掃描法進(jìn)行過(guò)濾安裝邊框和全斷面檢漏，掃描法有檢漏儀法光度計(jì)法和采樣量為1L/min的粒子計(jì)數(shù)器法兩種。福建潔凈工作臺(tái)檢測(cè)優(yōu)化價(jià)格塵埃粒子的粒徑分布分析有助于評(píng)估潔凈室的過(guò)濾效率。

4、懸浮粒子-微粒計(jì)數(shù)農(nóng)度A、室內(nèi)測(cè)試人員必須穿潔凈服，不得超過(guò)2人，應(yīng)位于測(cè)試點(diǎn)下風(fēng)側(cè)并遠(yuǎn)離測(cè)試點(diǎn)，并應(yīng)保持靜止。進(jìn)行換點(diǎn)操作時(shí)動(dòng)作要輕，應(yīng)減少人員對(duì)室內(nèi)潔凈度的干擾。B、設(shè)備要在校準(zhǔn)期內(nèi)使用。C、檢測(cè)前和檢測(cè)后設(shè)備“清零”D、在單向流區(qū)域，所選擇的采樣探頭應(yīng)接近等動(dòng)力采樣，進(jìn)入采樣探頭的風(fēng)速與被采空氣的風(fēng)速偏差不應(yīng)超過(guò)20%。若無(wú)法做到這一點(diǎn)，將采樣口正對(duì)氣流的主方向。非單向流的采樣點(diǎn)，采樣口應(yīng)豎直向上。E、采樣口至粒子計(jì)數(shù)器傳感器的連接管應(yīng)盡量短。采樣點(diǎn)一般離地面0.8-1.2m左右，要均勻科學(xué)布點(diǎn)，而且要避開回風(fēng)口。對(duì)任何小潔凈室或局部空氣凈化區(qū)域，采樣點(diǎn)的數(shù)目都不得少于2個(gè)，總采樣數(shù)可根據(jù)面積開2次根求得。

（七）室內(nèi)噪聲1、儀器設(shè)備和環(huán)境儀器，設(shè)備測(cè)噪聲儀器為帶信頻程分析儀的聲級(jí)計(jì)。環(huán)境溫度常溫或設(shè)計(jì)溫度下。2、抽樣對(duì)有噪聲設(shè)計(jì)要求的各個(gè)場(chǎng)所分別測(cè)定。3、技術(shù)要求室內(nèi)噪聲級(jí)應(yīng)符合《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》GB50073-2001的規(guī)定。在空態(tài)情況下，非單相流潔凈室不應(yīng)大于60dBA；單向流、混合流潔凈室不應(yīng)大于65dBA；潔凈室的噪聲頻譜限制各頻帶的聲壓級(jí)值不應(yīng)大于《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》GB50073-2001表4.4.2的規(guī)定。4、操作過(guò)程及判定（1）測(cè)噪聲儀器為帶信頻程分析儀的聲級(jí)計(jì)一般只測(cè)A聲級(jí)的數(shù)值。必要時(shí)測(cè)倍頻程聲壓級(jí)。（2）潔凈室面積在15m點(diǎn)采樣，除房間兩對(duì)角線相交的室中心位置外，另在房間四角對(duì)角線上對(duì)稱的選取4點(diǎn)。（3）執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)的編號(hào)及標(biāo)準(zhǔn)實(shí)施日期。（4）被測(cè)試的潔凈室或潔凈區(qū)的地址、采樣點(diǎn)的特定編號(hào)及坐標(biāo)圖。（5）被測(cè)潔凈室或潔凈區(qū)的空氣潔凈度等級(jí)、被測(cè)粒徑或沉降菌、浮游菌、被測(cè)潔凈室所處的狀態(tài)、氣流流型和靜壓差、被測(cè)潔凈室的溫濕度、噪聲。（6）測(cè)試用的儀器的編號(hào)和標(biāo)定征書測(cè)試方法細(xì)則及測(cè)試中的特殊情況.（7）測(cè)試結(jié)果包括在采樣點(diǎn)坐標(biāo)圖上注明所測(cè)的粒子濃度或沉降菌、浮游菌的菌落數(shù)。（8）對(duì)異常測(cè)試值進(jìn)行說(shuō)明及數(shù)據(jù)處理。潔凈室檢測(cè)前，需對(duì)檢測(cè)設(shè)備進(jìn)行校準(zhǔn)，確保數(shù)據(jù)準(zhǔn)確性。

(1)凈化處理原則：能用局部?jī)艋膱?chǎng)合，就盡可能不用凈化；或低級(jí)別的凈化高級(jí)別的局部?jī)艋嘟Y(jié)合。避免把需要凈化的環(huán)境分割成較小的空間，這樣做雖然有利于控制污染，但這也造成平面復(fù)雜化、增加造價(jià)、作業(yè)程序不易改變、人員流動(dòng)不方便，以及小房間造成人們心理上的不快。(2)由于氣流分布的不均勻和塵粒分布等不均勻性，潔凈室的微粒實(shí)際上是不均勻分布的，較為典型的三區(qū)不均勻分布模型，即分為主流區(qū)、渦流區(qū)和回風(fēng)口區(qū)。主流區(qū)含區(qū)含塵濃度可比室平均濃度低30%到一半。建議把工藝布置在主流區(qū)內(nèi)。(3)主要工藝可盡量布置于送風(fēng)管上風(fēng)段，上風(fēng)段相對(duì)來(lái)說(shuō)，潔凈程度比下風(fēng)段要好表2為某10萬(wàn)級(jí)潔凈車間內(nèi)沿一條送風(fēng)管走向設(shè)置的六個(gè)測(cè)點(diǎn)檢測(cè)結(jié)果(空態(tài)下)，測(cè)點(diǎn)l~6由上風(fēng)段依次向下，可以看出，各點(diǎn)塵粒數(shù)有較大區(qū)別當(dāng)然，其中也有送風(fēng)管上各送風(fēng)口風(fēng)量沒有較好調(diào)節(jié)的原因，但這種較大區(qū)別的可能還是不可忽視。潔凈室檢測(cè)不僅是技術(shù)活動(dòng)，也是一項(xiàng)管理活動(dòng)。廣東潔凈工作臺(tái)檢測(cè)

潔凈室檢測(cè)結(jié)果的準(zhǔn)確性直接影響到產(chǎn)品質(zhì)量的穩(wěn)定性。廣東潔凈工作臺(tái)檢測(cè)

4.3.2人員凈化用室和生活用室的設(shè)置應(yīng)符合下列規(guī)定：1應(yīng)設(shè)置存放雨具、換鞋、存外衣、更換潔凈工作服等人員凈化用室。2廁所、盥洗室、淋浴室、休息室等生活用室以及空氣吹淋室、氣閘室、工作服洗滌間和干燥間等可根據(jù)需要設(shè)置。4.3.3人員凈化用室和生活用室的設(shè)計(jì)應(yīng)符合下列規(guī)定：1人員凈化用室的入口處應(yīng)設(shè)凈鞋措施。2存外衣、更換潔凈工作服的房間應(yīng)分別設(shè)置。3外衣存衣柜應(yīng)按設(shè)計(jì)人數(shù)每人設(shè)一柜，潔凈工作服宜集中掛人帶有空氣吹淋的潔凈柜內(nèi)。4盥洗室應(yīng)設(shè)洗手和烘干設(shè)施。5空氣吹淋室應(yīng)設(shè)在潔凈區(qū)人員入口處，并與潔凈工作服更衣室相鄰。單人空氣吹淋室按比較大班人數(shù)每30人設(shè)一臺(tái)。潔凈區(qū)工作人員超過(guò)5人時(shí)，空氣吹淋室一側(cè)應(yīng)設(shè)旁通門。6嚴(yán)于5級(jí)的垂直單向流潔凈室宜設(shè)氣閘室。7潔凈區(qū)內(nèi)不得設(shè)廁所。人員凈化用室內(nèi)的廁所應(yīng)設(shè)前室。廣東潔凈工作臺(tái)檢測(cè)