高真空機(jī)組往往需要三級機(jī)組的另一個(gè)原因歸結(jié)于高真空泵的吸入壓力的限制。泵都有起始工作壓強(qiáng)，傳統(tǒng)的高真空泵都在幾Pa的范圍。因此前級泵必須預(yù)抽到這一壓力主泵才能開始工作。但直排大氣的前級泵抽至這一壓力往往需要較長的時(shí)間，因?yàn)殡S著壓力降低泵的抽速在減小，特別是對于周期性抽氣的真空機(jī)組，對達(dá)到工作真空度的時(shí)間是有要求的，預(yù)抽時(shí)間越長，進(jìn)入工作真空度的時(shí)間也越長，故增加一臺(tái)中真空泵與前級低真空泵配合，可在較短的時(shí)間達(dá)到主泵可以工作的壓力，這樣可以使系統(tǒng)盡快地進(jìn)入工作壓力，保證了設(shè)備的使用效率。不同的真空系統(tǒng)要求的真空度不同，因此往往必須由一套真空機(jī)組來完成。中山真空泵風(fēng)扇罩
羅茨真空泵機(jī)組全程操作的注意事項(xiàng)，開機(jī)前的準(zhǔn)備：1.檢查水沖泵（前級泵）水箱液位是否達(dá)到水箱的3/4以上，若不足則補(bǔ)足。2.檢查水箱內(nèi)所使用的水是否清潔，不允許用含有泥沙的污水，以免堵塞管路，羅茨真空泵增加水泵葉輪磨損、增大電機(jī)負(fù)荷造成故障，影響水沖泵使用壽命。3.檢查中間泵及主泵泵體內(nèi)的潤滑油油面高度，必須達(dá)油窗的3/4以上，同時(shí)檢查潤滑油的顏色，羅茨真空泵出現(xiàn)乳白色或黑色雜質(zhì)較多則通知機(jī)修更換潤滑油。羅茨真空泵機(jī)組全程操作的注意事項(xiàng)：羅茨真空泵檢查中間泵及主泵循環(huán)冷卻水水路是否完好，打開循環(huán)冷卻水進(jìn)出口閥門，檢查循環(huán)冷卻進(jìn)出水是否正常。檢查中間泵底部緩沖罐排污閥門是否關(guān)閉。檢查真空泵機(jī)組電路完好及控制柜各項(xiàng)指示等是否正常。檢查真空泵機(jī)組電極觸點(diǎn)壓力表中級泵、主泵啟動(dòng)壓力是否正常（中級泵啟動(dòng)入口壓力為0.065Mpa以上，主泵啟動(dòng)入口壓力為0.085Mpa以上）。待以上事項(xiàng)檢查完畢確認(rèn)無誤后方可啟動(dòng)真空機(jī)組。茂名真空泵風(fēng)扇規(guī)格若是工藝過程不支持，應(yīng)選擇無振動(dòng)的泵或者采取防振動(dòng)的一系列措施。
軸封加熱器的低水位運(yùn)行狀況。某些機(jī)組軸封加熱器的疏水直接匯入凝汽器，靠回水提升閥維持軸加水位，若由于閥門工作異常導(dǎo)致加熱器水位過低甚至無水位，則凝汽器通過軸抽風(fēng)機(jī)便與大氣相連，從而引起凝汽器漏真空，此時(shí)應(yīng)將軸加回水導(dǎo)至外排，以隔斷凝汽器與外界聯(lián)通；而軸加疏水設(shè)置水封的機(jī)組，因?yàn)橛兴飧艚^能隔斷凝汽器與外界相通，但軸加水位過低會(huì)失去監(jiān)視，時(shí)間過長可能導(dǎo)致水封破壞，所以應(yīng)及時(shí)調(diào)節(jié)軸加水位是比較重要的措施，水封投退相對復(fù)雜，且容易造成系統(tǒng)漏真空，應(yīng)規(guī)范操作。
低真空抽氣機(jī)組的主泵常用往復(fù)式真空泵、油封式機(jī)械泵、干式機(jī)械泵、水噴射泵、水蒸氣噴射泵、水環(huán)泵、分子篩吸附泵、濕式羅茨泵等直排大氣真空泵,使用低真空抽氣機(jī)組,還需要根據(jù)被抽氣的清潔程度、濕度或其他特殊要求,配置必要的除塵器、水氣分離器、油水分離器、干燥阱等部件。油封機(jī)械泵不適于抽除含有大量水蒸氣的氣體。水蒸氣在壓縮過程中會(huì)凝結(jié)成水滴,并與泵油混合形成懸浮液,破壞泵的抽氣性能使泵的真空度下降。一般采取的措施有:使用帶有氣鎮(zhèn)裝置的油封機(jī)械泵,并將泵的工作溫度控制在75~90℃之間,以減少氣鎮(zhèn)閥負(fù)擔(dān)在機(jī)組中安裝水汽分離器或油水分離裝置,處理混有水的機(jī)械泵油,處理過的油再進(jìn)入泵中使用;用各種干燥吸附劑做成捕集阱吸收水蒸氣;使用各種冷凝器或冷阱,不單能有效地吸附水蒸氣,同時(shí)還可以阻擋機(jī)械泵向真空室的返流。機(jī)組初期運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)，要經(jīng)常觀察壓縮機(jī)的油面。
真空泵機(jī)組的基本操作規(guī)則，1、于在泵開始工作和泵停止加熱階段，擴(kuò)散泵油返流特別厲害，因此在開泵前和停泵前應(yīng)將擴(kuò)散泵入口閥門關(guān)閉，可以防止擴(kuò)散泵油返流回真空室去。2、不要使油封機(jī)械泵在大氣壓強(qiáng)下或較高壓強(qiáng)下連續(xù)長時(shí)間工作，否則點(diǎn)機(jī)會(huì)過熱，而且泵會(huì)出現(xiàn)噴出油霧現(xiàn)象。3、啟動(dòng)油封機(jī)械泵時(shí)，首先要保證轉(zhuǎn)自運(yùn)動(dòng)方向正確，而且油位合乎要求。4、不要用機(jī)械泵吧高真空室直接抽至低于13Pa的壓強(qiáng)，否則機(jī)械泵的油蒸汽會(huì)進(jìn)入高真空室內(nèi)。5、蒸汽流泵在加熱之前，應(yīng)先供給冷卻水。該泵應(yīng)該配備熱保護(hù)繼電器，當(dāng)發(fā)生停水事件時(shí)，能立即使加熱器斷電，并關(guān)閉泵入口閥防止泵液因溫度過高而惡化和返流污染真空室。在真空泵機(jī)組停止工作時(shí)，應(yīng)將系統(tǒng)內(nèi)的各元件（包括真空室）都保持在真空狀態(tài)下封存，但機(jī)械泵要通大氣。低真空抽氣機(jī)組的主泵常用往復(fù)式真空泵、油封式機(jī)械泵、干式機(jī)械泵、水噴射泵、水蒸氣噴射泵。鄭州真空泵擋油盤
長時(shí)間工作在中真空的低端壓力范圍的羅茨泵，分子增壓泵可以完全取代。中山真空泵風(fēng)扇罩
真空泵機(jī)組一般由真空泵、單向閥、球閥、波紋管、羅茨真空泵、供水電磁閥、控制柜、電接點(diǎn)真空表、管路、機(jī)架等組成，真空泵機(jī)組與水環(huán)式真空泵閉式循環(huán)系統(tǒng)和水環(huán)式真空負(fù)壓站不同的是具有大抽速，真空度高等優(yōu)點(diǎn)，真空泵機(jī)組是以羅茨泵為主泵，以水環(huán)泵為前級泵串聯(lián)而成的。真空泵機(jī)組是在單臺(tái)泵機(jī)的基礎(chǔ)上為實(shí)際真空應(yīng)用需求而設(shè)計(jì)的串聯(lián)應(yīng)用形式，在冶金、石油化工、造紙、食品、電子工業(yè)等領(lǐng)域得到普遍的應(yīng)用。由于真空泵機(jī)組的應(yīng)用形式較為復(fù)雜，為保障其正常應(yīng)用效率，在設(shè)備操作管理方面就需要更加注意。對于真空泵機(jī)組，在使用一段時(shí)間后，都會(huì)要求用戶進(jìn)行定期的維護(hù)保養(yǎng)，但是由于很多用戶維護(hù)不當(dāng)，很可能會(huì)對設(shè)備造成損壞。真空泵機(jī)組在使用的時(shí)候需要進(jìn)行進(jìn)氣口的安裝，根據(jù)閉路循環(huán)系列真空泵機(jī)組進(jìn)行合理連接，保證相對密封不泄漏，以保設(shè)備正常工作。中山真空泵風(fēng)扇罩