真空泵管路的安裝布置：管路安裝時(shí)，特別是進(jìn)氣管路，先清理管路焊渣、鐵銹及臟物。對于新啟用的管路，應(yīng)裝上20-30目/英寸濾網(wǎng)。濾網(wǎng)裝夾在管路的兩法蘭之間，濾網(wǎng)外圓周要留有一定的裝夾余量，以免被吸入真空壓縮機(jī)內(nèi)。使用一段時(shí)間后，確認(rèn)管路無異物方可取下。新啟用的管路濾網(wǎng)網(wǎng)眼容易有雜物阻塞，會影響氣體的吸入，應(yīng)及時(shí)拆卸清洗。一般初次運(yùn)行一個(gè)星期，要停機(jī)清洗濾網(wǎng)，再運(yùn)行三個(gè)星期，作第二次清洗，直至系統(tǒng)清潔,才可以拆除濾網(wǎng)。供水管路在接上真空壓縮機(jī)之前應(yīng)先通水清洗，確保水管雜物被沖干凈后才接上使用。真空泵在裝配前應(yīng)對各零件做多方面的檢查和清洗干凈。半導(dǎo)體真空泵
旋片式真空泵使用范圍：真空泵是抽除氣體的基本設(shè)備之一，它可單獨(dú)使用，也可與增壓泵、擴(kuò)散泵、分子泵等超高真空泵連接在一起作為前級泵使用，普遍用于電子器件制造、真空干燥、過濾、浸漬、涂膜、焊接、冶煉及實(shí)驗(yàn)室裝備等。2X型真空泵在環(huán)境溫度5℃～40℃范圍內(nèi)，進(jìn)氣口壓強(qiáng)小于10托的條件下，允許長期運(yùn)轉(zhuǎn)，被抽氣體相對溫度大于90％時(shí)，應(yīng)開氣鎮(zhèn)閥。真空泵進(jìn)氣口連續(xù)敝通大氣運(yùn)轉(zhuǎn)不得超過3分鐘。真空泵不適用于抽除對金屬有腐蝕的、對泵油起化學(xué)反應(yīng)的、含有顆粒塵埃的氣體，以及含氧過高的、化學(xué)反應(yīng)性的、有毒的氣體。沈陽微型直流真空泵制造廠家干式真空泵的工作過程可分為吸入、壓縮和排出三個(gè)過程。
直聯(lián)旋片式真空泵安裝：直聯(lián)旋片式真空泵使用時(shí)，應(yīng)水平放置于干燥、通風(fēng)和清潔的場所，與周邊距離大于2cm，前后端不少于5cm 的空間距離，配套安裝于設(shè)備上時(shí)，應(yīng)保證風(fēng)葉罩殼端的正常進(jìn)風(fēng)；直聯(lián)旋片式真空泵進(jìn)氣口可根據(jù)進(jìn)氣口的螺紋要求連接，也可用皮管插入；若直聯(lián)旋片式真空泵所排出的氣體對人體健康或工作環(huán)境有影響，可在排氣口上接上管道引出工作場所或作環(huán)保處理；如有特殊需要，可在直聯(lián)旋片式真空泵的進(jìn)氣嘴安裝電磁閥；若抽除的氣體含有大量水蒸氣、溫度過高及含有塵埃等，應(yīng)在直聯(lián)旋片式真空泵進(jìn)氣口管道上加冷卻器、過濾器等相應(yīng)的裝置，以免影響泵的正常使用。
正確地組合真空泵，由于真空泵有選擇性抽氣，因而，有時(shí)選用一種泵不能滿足抽氣要求，需要幾種泵組合起來，互相補(bǔ)充才能滿足抽氣要求。如鈦升華泵對氫有很高的抽速，但不能抽氦，而三極型濺射離子泵，（或二極型非對稱陰極濺射離子泵）對氬有一定的抽速，兩者組合起來，便會使真空裝置得到較好的真空度。另外，有的真空泵不能在大氣壓下工作，需要預(yù)真空；有的真空泵出口壓強(qiáng)低于大氣壓，需要前級泵，故都需要把泵組合起來使用。真空設(shè)備對油污染的要求。若設(shè)備嚴(yán)格要求無油時(shí)，應(yīng)該選各種無油泵，如：水環(huán)泵、分子篩吸附泵、濺射離子泵、低溫泵等。如果要求不嚴(yán)格，可以選擇有油泵，加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、擋油阱等，也能達(dá)到清潔真空要求。使用旋片真空泵前，應(yīng)仔細(xì)閱讀產(chǎn)品使用說明書。
水環(huán)式真空泵防氣蝕的保護(hù)措施：水環(huán)式真空泵所使用的環(huán)境不同，并且由于各種因素，所以我們應(yīng)該防止它出現(xiàn)各種被損壞的現(xiàn)象。很多真空設(shè)備都會有防氣蝕保護(hù)措施，氣蝕是一種客觀存在的現(xiàn)象，工作時(shí)，真空度達(dá)到-0.093MPa及以上時(shí)，水環(huán)真空泵泵腔內(nèi)的水很容易達(dá)到飽合蒸汽壓，此時(shí)會產(chǎn)生很多氣泡。這些氣泡在排氣端因壓力增加會快速破裂，此時(shí)原氣泡周圍的水會迅速的填充原氣泡的空間，從而對水環(huán)真空泵的葉輪及圓盤造成很大的沖擊，并同時(shí)伴隨著啪啪的刺耳聲。實(shí)驗(yàn)室用真空泵有什么特點(diǎn)？湛江試驗(yàn)真空泵
水環(huán)真空泵是哪些部分組成的？半導(dǎo)體真空泵
選擇真空泵注意事項(xiàng)：真空泵工作時(shí)產(chǎn)生的振動對工藝過程及環(huán)境有無影響。了解被抽氣體成分，氣體中含不含可凝蒸氣，有無顆粒灰塵，有無腐蝕性等。真空泵在其工作壓強(qiáng)下，應(yīng)能排走真空設(shè)備工藝過程中產(chǎn)生的全部氣體量。正確地組合真空泵。由于真空泵有選擇性抽氣，因而，有時(shí)選用一種泵不能滿足抽氣要求，需要幾種泵組合起來，互相補(bǔ)充才能滿足抽氣要求。真空設(shè)備對油污染的要求。若設(shè)備嚴(yán)格要求無油時(shí)，應(yīng)該選各種無油泵。正確地選擇真空泵的工作點(diǎn)。每種泵都有一定的工作壓強(qiáng)范圍。真空泵排出來的油蒸氣對環(huán)境的影響如何。如果環(huán)境不允許有污染，可以選無油真空泵，或者把油蒸氣排到室外。半導(dǎo)體真空泵