溫州進口數(shù)顯真空烘箱維修維護

由外及里，干燥箱的內膽有兩種選擇，一是鍍鋅板，二是鏡面不銹鋼。鍍鋅板在長期使用過程中容易生銹，不利于保養(yǎng)；鏡面不銹鋼外觀整潔，易于保養(yǎng)，使用壽命長，屬市場上較好的內膽材質，但是價格要稍高于鍍鋅板。 內膽的樣品架子一般有兩層，可根據(jù)客戶的要求增添。由于樣品架的質量是由不銹鋼壓制而成，且多增加的架子不利于內部熱風的循環(huán)，加大風機的質量要求，所以每加一個架子的成本在三百元之間。國內干燥箱的保溫材質主要是以纖維棉為主，少數(shù)采用聚氨酯。本所物料的干燥周期，每隔一段時間觀察一下，歷力表，溫度表，和箱體內的變化，來處理。溫州進口數(shù)顯真空烘箱維修維護

    為獲得平坦而均勻的光刻膠涂層并使光刻膠與晶片之間有良好的黏附性，通常在涂膠前對晶片進行預處理。預處理第一步常是脫水烘烤，在真空或干燥氮氣的機臺中，以150～200℃烘烤。工藝目的是除去晶片表面吸附的水分，在此溫度下，晶片表面大約保留了一個單分子層的水。涂膠后，晶片須經(jīng)過一次烘烤，稱之軟烘或前烘。工藝作用是除去膠中大部分溶劑并使膠的曝光特性固定。通常，軟烘時間越短或溫度越低會使得膠在顯影劑中的溶解速率增加且感光度更高，但對比度會有降低。實際上軟烘工藝需要通過優(yōu)化對比度而保持可接受感光度的試湊法用實驗確定，典型的軟烘溫度是90～100℃，時間從用熱板的30秒到用烘箱的30分鐘。在晶片顯影后，為了后面的高能工藝，如離子注入和等離子體刻蝕，也須對晶片進行高溫烘烤，稱之后烘或硬烘。這一工藝目的在于：減少駐波效應；激發(fā)化學增強光刻膠PAG產生的酸與光刻膠上的保護基團發(fā)生反應并移除基團使之能溶解于顯影液。 蘇州防止氧化真空烘箱真空泵不能長時期工作。

從保溫效果來講，聚氨酯的耐溫與絕熱效果要好于纖維棉，一般聚氨酯可以使箱體內的高溫在大幾個小時內保持穩(wěn)定，值得一提的是，聚氨酯的高效絕熱性能，可有效地防止箱體外溫度過高燙傷操作員。纖維棉材質的干燥箱在高溫時，只能靠溫度控制器不停的控制與調節(jié)，保持箱內溫度的穩(wěn)定，這樣增加了風機與控制器的工作強度，從而降低了干燥箱的使用壽命。再從后期維護來講，由于聚氨酯是整個注塑到箱體內的，后期維修時特別繁瑣，維修前需要將聚氨酯全部掏出來，修好后再注塑進去。而纖維棉不會這么麻煩，操作簡單。從市場上講，纖維棉的價格非常便宜，且可滿足大部分的保溫要求，運用廣，杭州宏譽智能科技建議：纖維棉越細，厚度越大，保溫質量越好。干燥箱的密封一般都是采用抗老化的硅橡膠，密封效果很好。

使用注意事項1.真空箱外殼必須有效接地，以保證使用安全。2.真空箱應在相對濕度≤85%RH，周圍無腐蝕性氣體、無強烈震動源及強電磁場存在的環(huán)境中使用。3.真空箱工作室無防爆、防腐蝕等處理，不得放易燃、易爆、易產生腐蝕性氣體的物品進行干燥。4.真空泵不能長時期工作，因此當真空度達到干燥物品要求時，應先關閉真空閥，再關閉真空泵電源，待真空度小于干燥物品要求時，再打開真空閥及真空泵電源，繼續(xù)抽真空，這樣可延長真空泵使用壽命。5.干燥的物品如潮濕，則在真空箱與真空泵之間比較好加入過濾器，防止潮濕氣體進入真空泵，造成真空泵故障。6.干燥的物品如干燥后改變?yōu)橹亓枯p，體積?。樾☆w粒狀），應在工作室內抽真空口加隔阻網(wǎng)，以防干燥物吸入而損壞真空泵（或電磁閥）。真空箱應經(jīng)常保持清潔。箱門玻璃切忌用有反應的化學溶液擦拭，應用松軟棉布擦拭。

    真空干燥箱日常使用和維護：1、產品出廠前都經(jīng)過嚴格的測試，一般不要進行修改，如使用時的環(huán)境惡劣，環(huán)境溫度超出適宜范圍，會引起溫度顯示值與箱內實際溫度誤差，如超出技術指標范圍的，可以參照溫度控制器操作說明按所需進行修正。2、儀器在正常工作狀態(tài)下，如打開箱門時間過長，關上箱門后即使箱內溫度有些變動，這也是正?，F(xiàn)象。3、除維修外，不能拆開左側箱體蓋以免損壞電器控制系統(tǒng)。4、放氣閥橡皮塞若旋轉困難，可在內涂上適量油脂潤滑。5、真空泵不能長時期工作，因此真空度達到干燥物品要求時，應先封閉真空閥，再封閉真空泵電源，待真空度小于干燥物品要求時，再打開真空閥及真空泵電源，繼續(xù)抽真空，這樣可延長真空泵使用壽命。6、干燥的物品如濕潤，則在真空箱與真空泵之間比較好加進過濾器，防止?jié)駶櫄怏w抽進真空泵，造成真空泵故障。7、真空干燥箱經(jīng)多次使用后，會產生不能抽真空的現(xiàn)象，此時應更換門封條或調整箱體上的門扣伸出間隔來解決。真空箱干燥溫度高于200度時，有可能會產生慢漏氣現(xiàn)象，此時拆開箱體背后蓋板用內六角板手擰松加熱器底座，調換密封圈或擰緊加熱器底座來解決。8、真空干燥箱應經(jīng)常保持清潔。箱門玻璃切忌用有反應的化學溶液擦拭。 將露在外面的電鍍件擦凈后涂上中性油脂，以防腐蝕，并套上塑料薄膜防塵罩，放置于干燥的室內。臺州雙層鋼化玻璃觀察窗真空烘箱

經(jīng)常檢查油位位置，不符合規(guī)定時須調整使之符合要求。溫州進口數(shù)顯真空烘箱維修維護

    熱對流真空烘箱，包括真空箱體和密封門，真空箱體的箱口采用法蘭面，此面與箱體密封門緊密貼合，避免真空泄漏。真空箱體內壁設置無孔鏡面不銹鋼板13、有孔鏡面不銹鋼板14，這兩種不銹鋼板組合配對裝配，與無孔鏡面不銹鋼板14靠箱體內壁，有孔鏡面不銹鋼板13在箱體內表面，兩鋼板間距為5—15mm，無孔鏡面不銹鋼板用來反射熱量，熱量通過小孔回到箱體中，減少熱量損失。在箱體頂部內壁設置有孔鏡面不銹鋼板12。箱體頂部和下部左右兩邊各設置有氮氣進氣口，可以實現(xiàn)氮氣快速擴散到箱體內部各地方。真空箱體在工作的時候，真空度控制在10～50pa之間，溫度控制在80～110℃，這樣電池中的水份會變成水蒸汽擴散在箱體中，原箱體中也有少量的空氣，真空干燥箱保溫保壓一段時間后，箱體中的水蒸汽達到一定的量后，為了將水蒸汽排出，需向箱體中充入氮氣，因為氮氣的分子質量比水蒸汽的分子質量大，為了能快速將水蒸汽排擠到箱體上方，方便將其從真空口抽出，所以在箱體下方布置2-3個進氮氣進氣口。這樣的設置方式可以減少靜置時間，氮氣快速擴散，將水蒸汽排擠到箱體上方，再通過真空泵將水蒸汽抽出。真空箱體氮氣進氣口預先對氮氣進行加熱，因為氮氣進到高溫箱體中時。溫州進口數(shù)顯真空烘箱維修維護

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