成都NEODRY 36E干式真空泵維修點

KASHIYAMA防腐蝕干式真空泵SDE603TX設備簡介（包括對功能的基本介紹）

       SDE603TX 立式螺桿真空干泵,尺寸： W:400×H:905×L:760ＭＭ，MAX排氣速度10000L/min，立式螺桿設計排氣線路短，不容易發(fā)生卡死。轉(zhuǎn)子材質(zhì)為鎳合金，防腐蝕能力優(yōu)越,使用時內(nèi)部溫度高，適用于比較苛刻的工藝制程,例如PECVD\LPCVD\ALD\SACVD\METAL-ETCH等。

系統(tǒng)組成：

1) 羅茨泵  (SDE120TX) 1  

2) 機械增壓泵(KMB603) 1  

3) 電源盒  1  

4) 操作手柄1  

5) 連接件  1  

6) 消音器(SR-19) 1

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干式真空泵的應用范圍比較廣，主要有以下幾個方面：

1）低壓化學氣相沉積中的多晶硅制備工藝中；

2）半導體刻蝕工藝。在這些生產(chǎn)工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒；

3）除半導體工藝外的某些產(chǎn)生微粒的工藝，不希望微?；烊氡糜椭?，而希望微粒排出泵外，則用一定型式的干式機械真空泵可以滿足要求；

4）在化學工業(yè)、醫(yī)藥工業(yè)、食品工業(yè)中的蒸餾、干燥、脫泡、包裝等，要防止有機溶劑造成污染，適合用干式真空泵；

5）用做一般無油清潔真空系統(tǒng)的前級泵，以防止油污染。

南京NEODRY 60E干式真空泵浚和（上海）儀器有限公司銷售干式真空泵價格低廉。

干式螺桿真空泵選型

       干式螺桿真空泵在其工作壓力下，應能排走真空泵設備工藝過程中產(chǎn)生的全部氣體量。

每種泵都有一定的工作壓力范圍，因而，泵的工作點應該選擇在這個范圍之內(nèi)，而不能讓它在允許工作壓力以外長時間工作。

       干式螺桿真空泵的極限壓力應該滿足該工藝的工作壓力。通常選擇泵的極限壓力低于工藝要求約一個數(shù)量級。

選擇真空機組：

       了解被抽氣體成分，氣體中含不含可凝蒸汽，有無顆粒灰塵、有無腐蝕性等。選擇干式螺桿真空泵時，需要知道氣體成分，針對被抽氣體選擇相應的泵。如果氣體中含有蒸汽、顆粒、及腐蝕性氣體，應該考慮在泵的進氣口管路上安裝輔助設備，如冷凝器、除塵器等。

       干式螺桿真空泵工作時產(chǎn)生的振動對工藝過程及環(huán)境有無影響，若工藝過程不允許，應選擇無振動的泵或者采取防振動措施。

       干式真空系統(tǒng)還具有比較好的控制系統(tǒng)，有單獨的工作站和總線，能很好的解決了溫度、壓力、轉(zhuǎn)速、電機同步、開停機、閥門開關和泵本身自清洗控制等問題，并且可能存在溫升的地方都增加了測溫點，增強了系統(tǒng)的安全性。使干泵系統(tǒng)能適應化工、制藥里嚴苛的環(huán)境。主要由以下三部分組成：內(nèi)置基本驅(qū)動模塊；數(shù)據(jù)總線控制柜；冷卻液泵的控制和防爆馬達控制中心。有些真空泵是兩個電機同步驅(qū)動，在確保全速和扭矩控制的同時，保證在泵運行時維持無部件相互接觸；無密封設計，確保無泄露；干式真空泵的無油環(huán)保特點成為了干式真空泵的主要賣點。

       評價爆裂有兩個指標：可燃物質(zhì)的閃點及燃點。因為螺桿干式真空泵中的兩個螺桿在泵體內(nèi)沒有摩擦，所以不會產(chǎn)生電火花，就沒有了火源，另外其通過自身的冷卻系統(tǒng)降低泵內(nèi)溫度使被抽物質(zhì)的燃點難以達到，從而杜絕爆裂！泵內(nèi)既無與外界之間的軸封又無泵腔與冷卻循環(huán)水回路之間的密封，因此可以抽除有害介質(zhì)。絕大部分泵的故障都是由軸封處磨損造成的,而此泵每個軸只有一處無接觸密封，不存在由軸封損傷帶來的停機，以及軸封泄露造成齒輪箱里的油被抽到泵里，造成真空環(huán)境及排氣口污染。浚和（上海）儀器有限公司專業(yè)干式真空泵供應商。南京NEODRY 60E干式真空泵

浚和（上海）儀器有限公司主營日本KASHIYAMA干式真空泵。成都NEODRY 36E干式真空泵維修點

日本KASHIYAMA MU1200P/H干式真空泵 技術參數(shù)&配置清單

一、 技術參數(shù)：

式樣：MU1200P/H

MAX排氣速度（L/min）：20000

達到壓力（Pa）：0.5

電源電壓：3相  AC200-220V

消費電力（KW）：1.05KW

外型尺寸WHL [mm]：380×655×820

質(zhì)量【kg】：185kg

二、 配置清單：

設備原產(chǎn)地：日本

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浚和（上海）儀器有限公司是一家供應國內(nèi)外先進儀器和設備的專業(yè)供應商和服務商，致力于為客戶提供專業(yè)的定制化解決方案。多年來，持續(xù)為醫(yī)藥、化工、高校、科研單位、檢測院等多個行業(yè)提供先進的產(chǎn)品和專業(yè)的服務。

浚和在不斷引進國內(nèi)外先進儀器設備的同時，結(jié)合行業(yè)和市場需求，加強和客戶之間的溝通，并與國際上多家**儀器設備制造商保持著長期穩(wěn)定的合作關系，不定期地與合作商進行技術交流，努力加強自身技術力量。公司配備了數(shù)名有著多年行業(yè)經(jīng)驗的技術人員，依靠雄厚的技術實力、科學合理的配置方案、專業(yè)的安裝調(diào)試和周到的售后服務，得到了廣大用戶的支持與信賴。

公司主要經(jīng)營產(chǎn)品包括：等離子清洗機、真空泵、噴霧干燥器、數(shù)字PCR、高壓滅菌鍋、培養(yǎng)箱、切片機、水分測定儀、激光粒度儀、光譜儀、溫濕度記錄儀等，目前主要合作品牌有：日本雅馬拓YAMATO、日本KASHIYAMA、日本HORIBA、廣州永諾 、日本KEM等。同時，公司還提供專業(yè)的技術服務，如設備的維護、驗證等。

浚和儀器將始終以行業(yè)特點為立足點，以客戶需求為導向，不斷地提高自身專業(yè)技術能力，不停地完善客戶服務質(zhì)量，在發(fā)展中保持創(chuàng)新的精神，力求與客戶共同進步，為行業(yè)的發(fā)展作出不懈的努力。