氦檢儀有漏率靈敏度參數(shù),它是儀器在出廠時經過校準的在較佳條件下所能實現(xiàn)的儀器靈敏度,但平常實際使用時其靈敏度是低于該參數(shù)的,稱之為檢漏靈敏度。然后在具體檢漏過程中,氦檢儀的檢漏方法也較多,有噴吹法、氦罩法、檢漏盒法、充壓法、吸嘴法、累積檢漏法、背壓法、選擇性抽氣法、逆流氦檢漏法等眾多形式,可結合實際情況靈活運用。如較簡單常用的噴吹法,與鹵素氦檢儀的真空法類似,將被檢件抽真空,調整好氦檢儀并與被檢件連通,隨后用噴頭在可疑處噴吹氦氣,如果存在漏洞,噴吹一定時間后,氦檢儀即可發(fā)出信號。氦檢儀選擇無毒、無破壞性、質量輕的惰性氣體氦作為探索氣體,所以安全可靠。江蘇自動氦質譜檢漏儀品牌推薦
氦質譜檢漏儀為什么會選擇氦氣作為主要的示漏氣體?1、氦氣的質量輕,易于穿過漏孔,進入系統(tǒng)時流動和擴散快,因此響應快,檢漏靈敏度高。2、氦離子質荷比小,因此可以減小磁分析器偏轉半徑的尺寸和選用較弱一點的磁場。同時一階氦離子的質荷比與一階氫離子、二階碳離子相差較大,利于離子分離,可以適當降低對分析器制造精度的要求,使質譜室中氦離子通過的各個縫隙,從而提高氦離子的傳輸率。3、氦在空氣中及殘余氣體中的含量少,在材料出氣中氦氣也很少,因此本底壓力小,檢漏時本底信號小。江蘇客制化氦質譜檢漏儀一臺多少錢氦質譜檢漏儀被普遍應用于壓力容器、航空航天、原子能、發(fā)電廠、制冷工業(yè)等領域。
氦質譜檢漏儀檢漏時,產生測量誤差的主要來源主要包括幾個方面:一、氦質譜檢漏儀在校準靈敏度時,標準漏孔所在的位置與被檢漏孔的位置不同,即,標準漏孔與被檢漏孔至檢漏儀的距離相差太大,漏入氦氣在途中損失不相等,這會導致經二者進入檢漏儀的氦氣量可比性差。二、進入被檢漏孔和標準漏孔的氦氣壓力或分壓比不相等,或者不能準確地給出氦氣壓力和分壓比的數(shù)值而導致無法換算,這時也會產生漏率測量誤差。三、所用標準漏孔的標稱漏率有誤差。四、氦質譜檢漏儀輸出指示與漏率的線性關系差。
氦檢儀機械泵故障及處理:1、機械泵不動作,檢查項目有:氦檢儀電源電壓是否正常,開關是否打開,繞組是否斷路或接地,電機是否過熱(泵冷卻后是否能啟動)。2、機械泵聲音異常,檢查油位是否合適,油質是否變壞,油溫是否<10℃,油霧過濾器的出口有無氣體排出(如果無氣體排出,更換油霧過濾器)。氦檢儀質譜室故障及處理:1、燈絲無法正常啟動,在確認機械泵、分子泵處于正常工作狀態(tài)后,若燈絲仍無法發(fā)射離子流,則需要更換離子源。若燈絲指示燈閃爍,檢查離子源航空插座與接線柱是否開路,若開路,需要更換燈絲,若不開路,檢查其接線柱與其他接頭是否導通,消除短路現(xiàn)象。2、本底信號處于雜亂無章的波動狀態(tài)且大小遠遠超過氦檢儀故障自身的本底噪聲,需要考慮放大器是否故障。質譜室出現(xiàn)故障一般用戶無法解決,只需對故障進行定位,交由維修處理。不同型號的氦檢儀其真空系統(tǒng)有較大的差別。
氦檢儀進展的集中體現(xiàn)在如下幾個方面:(1)便攜式:較近各國推出的小型便攜式氦檢儀不只靈敏度高,而且便于攜帶,給野外作業(yè)和高空作業(yè)提供了比較大的方便。(2)高壓強下檢漏:檢漏口壓強可高達數(shù)百帕左右,對檢測大系統(tǒng)和有大漏的工件很有益。(3)自動化程度高:自動校準氦峰,自動調節(jié)零點,量程自動轉換,自動數(shù)據處理,可外接打印機。整機由微機控制,菜單選擇功能,一個按鈕即可完成一次的全檢漏過程。(4)全無油的干式檢漏:有些國家生產的氦檢儀,可采用干式泵,達到無油蒸氣的效果,為無油系統(tǒng)及芯片等半導體器件的檢漏,提供了有利條件。(5)檢漏范圍寬:現(xiàn)今生產的四極氦檢儀,質量范圍很寬,不只可檢測氦氣,而且能檢測其它氣體。氦質譜檢漏儀的維護方法及常見故障的處理要求是什么?杭州全自動氦質譜檢漏儀原理
氦質譜檢漏儀的主要根據被檢漏設備的允許漏率為依據。江蘇自動氦質譜檢漏儀品牌推薦
氦質譜檢漏儀性能試驗方法:1、反應時間、消除時間及其測定,反應時間是指儀器節(jié)流閥完全開啟,本底訊號為零(或補償?shù)搅?時,由恒定的氦流量使輸儀表訊號上升到值的(1-e-1)倍(即O.63)所需要的時間,記為τR。消除時間是指輸出儀表訊號穩(wěn)定到固定值后,停止送氦,其訊號下降到值的e-1倍(即O.37)所需要的時間,記為τC。2、工作真空、極限真空及入口處抽速,質譜室極限真空,尤其是工作真空及入口處抽速是表征儀器性能的重要參數(shù)。利用氦質譜檢漏儀的真空規(guī)可以測定儀器的極限真空和工作真空。利用流量計可測定儀器入口處抽速。江蘇自動氦質譜檢漏儀品牌推薦