紹興全自動氦質譜檢漏儀供應廠家

來源: 發(fā)布時間:2025-04-13

氦質譜檢漏儀用氦氣或者氫氣作示漏氣體,以氣體分析儀檢測氦氣而進行檢漏的質譜儀。氦氣的本底噪聲低,分子量及粘滯系數(shù)小,因而易通過漏孔并易擴散;另外,氦系惰性氣體,不腐蝕設備,故常用氦作示漏氣體。將這種氣體噴到接有氣體分析儀(調整到只對氦氣反應的工作狀態(tài))的被檢容器上,若容器有漏孔,則分析儀即有所反應,從而可知漏孔所在及漏氣量大小。氦質譜檢漏儀可以對具有內腔的微電子或半導體器件封裝的氣密性進行細檢漏。此檢測方法使用的示蹤氣體選擇了氦氣,氦氣具有質量數(shù)小重量輕并且有滲透能力強的優(yōu)點,達到了細檢漏的目的。氦質譜檢漏儀定期保養(yǎng)該怎么做?紹興全自動氦質譜檢漏儀供應廠家

氦質譜檢漏儀因具備檢測靈敏度高、反應速度快、定位定量準確等優(yōu)點而被普遍應用于壓力容器、航空航天、原子能、發(fā)電廠、制冷工業(yè)等領域。檢漏儀在使用過程中,往往會因為產(chǎn)生的一些故障或是現(xiàn)象,而影響檢漏工作的正常進度,若對其置之不理還會危及檢漏儀的使用壽命。其中的有些故障或現(xiàn)象是使用者能夠及時解決或避免的,掌握和了解氦質譜檢漏儀常見故障的維修技術,有利于檢漏工作的順利開展以及設備的保養(yǎng)。氦質譜檢漏儀是質譜儀器中的一種,將質譜儀用于檢漏技術是質譜儀在真空密封檢測技術中的重要應用。江蘇模塊式氦質譜檢漏儀大概多少錢氦質譜檢漏儀的漏孔漏率是指一個大氣壓的干燥空氣通過漏孔漏向真空側的漏氣速率。

氦質譜檢漏儀是180°磁偏轉型的質譜分析計,其基本原理是根據(jù)離子在磁場中運動時,不同質荷比的離子具有不同的偏轉半徑來實現(xiàn)不同種類離子的分離。檢漏儀主要由質譜室、真空系統(tǒng)及電氣控制部分組成。檢漏工作時先打開抽空閥前級泵對檢漏接口抽真空,當真空度P1優(yōu)于200Pa時,打開入口閥1、2,關閉抽空閥,氦氣將逆著分子泵的抽氣方向進入質譜室中被檢測出來,此時檢漏儀的可檢漏率為10-10Pa·m3/s。前級泵繼續(xù)對檢漏接口抽真空,當P1降至20Pa時,入口閥2關閉,入口閥3打開,分子泵的高抽速用于抽空試件,檢漏儀的反應時間縮短,此時檢漏儀的可檢漏率為10-12Pa·m3/s。

氦檢儀具有性能穩(wěn)定、靈敏度高的特點。靈敏度、反應時間、清零時間、工作真空度、極限真空度及儀器入口處抽速是評價氦檢儀的主要性能指標。檢測氣體使用氦氣的主要原因如下:(1)對人體和自然環(huán)境沒有毒害;(2)不能燃燒,作業(yè)安全;(3)惰性氣體,和被檢測對象不會發(fā)生化學反應;(4)分子直徑和質量小,容易穿過微小縫隙,便于檢漏;(5)通常環(huán)境下保持氣體狀態(tài),不會堵住微漏孔;(6)真空腔體自身放出的氣體中幾乎不包含氦氣;(7)氦氣在空氣中的存在量只為5ppm,容易定點查清漏氣位置。由于氦氣比空氣輕很多,向真空腔體噴氦氣檢漏時要從上往下依次操作,否則不利于判定漏點所在。當腔體構造復雜,或漏率極小時,可針對重點部位用塑料袋套住,然后向塑料袋內部充入氦氣,實現(xiàn)對特定重點部位的檢漏。氦質譜檢漏儀的主要根據(jù)被檢漏設備的允許漏率為依據(jù)。

氮質譜檢漏儀是用氦氣為示漏氣體的專門用于檢漏的儀器,它具有性能穩(wěn)定、靈敏度高的特點,是真空檢漏技術中靈敏度較高,用得比較多的檢漏儀器。適用于超高真空系統(tǒng)、零部件及元器件的檢漏。氦質譜檢漏儀改變了常規(guī)型儀器的結構布局,被檢件置于檢漏儀主抽泵的前級部位,因此具有可在高壓力下檢漏、不用液氮及質譜室污染小等特點.適用于大漏率、真空衛(wèi)生較差的真空系統(tǒng)的檢漏,其靈敏度可達10-12Pam3/s。氦質譜檢漏儀由離子源、分析器、收集器、冷陰極電離規(guī)組成的質譜室和抽氣系統(tǒng)及電氣部分等組成。由于氦質譜檢漏儀儀為高精度精密儀器,其存放和使用環(huán)境要保持干凈、衛(wèi)生。紹興臺式氦質譜檢漏儀哪家好

氦質譜檢漏儀的維護方法及常見故障的處理要求是什么?紹興全自動氦質譜檢漏儀供應廠家

影響氦檢儀靈敏度的因素有哪些?氦檢儀檢漏時,產(chǎn)生測量誤差的主要來源主要包括8個方面:第1,氦檢儀在校準靈敏度時,標準漏孔所在的位置與被檢漏孔的位置不同,即,標準漏孔與被檢漏孔至氦檢儀的距離相差太大,漏入氦氣在途中損失不相等,這會導致經(jīng)二者進入氦檢儀的氦氣量可比性差。第二,進入被檢漏孔和標準漏孔的氦氣壓力或分壓比不相等,或者不能準確地給出氦氣壓力和分壓比的數(shù)值而導致無法換算,這時也會產(chǎn)生漏率測量誤差。第三,所用標準漏孔的標稱漏率有誤差。第四,氦檢儀輸出指示與漏率的線性關系差。第五,校準靈敏度或用比較法確定漏孔漏率時,所用標準漏孔與被檢漏孔的氣流特性不同。第六,氦檢儀的性能不穩(wěn)定。第七,氦氣純度不穩(wěn)定或存在誤差。第八,之后也就是檢漏操作人員的因素,包括素質、責任心、技術水平以及工作經(jīng)驗等。氦檢儀是用氦氣為示漏氣體的專門用于檢漏的儀器,它具有性能穩(wěn)定、靈敏度高的特點。是真空檢漏技術中靈敏度高,用得普遍的氦檢儀器。紹興全自動氦質譜檢漏儀供應廠家

標簽: 氦質譜檢漏儀