自動(dòng)氦質(zhì)譜檢漏儀氦檢模塊

氦質(zhì)譜檢漏儀是根據(jù)質(zhì)譜學(xué)原理，用氦氣作示漏氣體制成的氣密性檢測(cè)儀器。由離子源、分析器、收集器、冷陰極電離規(guī)組成的質(zhì)譜室和抽氣系統(tǒng)及電氣部分等組成。質(zhì)譜室里的燈絲發(fā)射出來(lái)的電子，在室內(nèi)來(lái)回地振蕩，并與室內(nèi)氣體和經(jīng)漏孔進(jìn)人室內(nèi)的氦氣相互碰撞使其電離成正離子，這些氦離子在加速電場(chǎng)作用下進(jìn)人磁場(chǎng)，由于洛倫茲力作用產(chǎn)生偏轉(zhuǎn)，形成圓弧形軌道，改變加速電壓可使不同質(zhì)量的離子通過磁場(chǎng)和接收縫到達(dá)接收極而被檢測(cè)。噴氦法、吸氦法是氦質(zhì)譜檢漏儀在電阻爐檢漏中常用的兩種方法。氦質(zhì)譜檢漏儀用氦氣或者氫氣作示漏氣體，以氣體分析儀檢測(cè)氦氣而進(jìn)行檢漏的質(zhì)譜儀。自動(dòng)氦質(zhì)譜檢漏儀氦檢模塊

氦檢儀中沒有手動(dòng)閥，現(xiàn)已采用自控閥自動(dòng)調(diào)節(jié)運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)的誤差。同時(shí)用渦輪分子泵取代了油擴(kuò)散泵,以消除可能造成的油返流。計(jì)算機(jī)技術(shù)也在氦檢儀中獲得應(yīng)用。運(yùn)轉(zhuǎn)、控制和輸出數(shù)據(jù)均由計(jì)算機(jī)自動(dòng)操作完成。典型的示波器已由陰端射線管顯像屏所代替。整個(gè)操作只須按各種按鈕自動(dòng)進(jìn)行。氦檢儀現(xiàn)在已經(jīng)滲透到航空航天、新能源、電子器件、閥門、電力、核電、制冷、家電等行業(yè)。氦檢儀在未來(lái)的歲月中還將在許多的工業(yè)領(lǐng)域中得到新的應(yīng)用。氦檢儀質(zhì)量范圍很寬，不只可檢測(cè)氦氣，而且能檢測(cè)其它氣體。分子泵排氣系統(tǒng)取代擴(kuò)散泵排氣系統(tǒng)，不只解決了油蒸氣對(duì)質(zhì)譜室的污染問題，而且對(duì)快速啟動(dòng)儀器和快速停機(jī)做出了很大貢獻(xiàn)。嘉興移動(dòng)式氦質(zhì)譜檢漏儀多少錢由于氦質(zhì)譜檢漏儀儀為高精度精密儀器，其存放和使用環(huán)境要保持干凈、衛(wèi)生。

氦檢儀靈敏度降低應(yīng)該如何維護(hù)？當(dāng)發(fā)現(xiàn)氦檢儀的靈敏度降低，而氦檢儀的工作真空度狀態(tài)良好，放大器的各級(jí)工作電壓也符合標(biāo)準(zhǔn)要求，就基本上可以確定氦檢儀靈敏度降低的問題來(lái)源于離子源的質(zhì)譜分析管受到了嚴(yán)重污染。這個(gè)時(shí)候，就需要將氦檢儀的離子源分析管道拆下來(lái)進(jìn)行徹底的清洗。具體的清洗方法如下：先用細(xì)的高標(biāo)號(hào)金相砂紙小心細(xì)致地擦洗分析管道的內(nèi)表面及離子源各電極部件，這里不能用粗砂紙，因?yàn)榇稚凹埲菀讚p傷真空分析管道及離子源的各電極部件；然后用航空汽油和無(wú)水乙醇清洗，并用去離子水沖洗干凈；較后用烘箱或電吹風(fēng)進(jìn)行干燥。整個(gè)清洗過程中需要注意，分析管道上的磁鐵不能撞擊、不能受熱，否則可能導(dǎo)致磁鐵退磁，使氦檢儀的靈敏度降低。如果操作正確，經(jīng)過清洗維護(hù)后的氦檢儀的靈敏度可比清洗前提高2～3倍。

氦質(zhì)譜檢漏儀用氦氣或者氫氣作示漏氣體，以氣體分析儀檢測(cè)氦氣而進(jìn)行檢漏的質(zhì)譜儀。氦氣的本底噪聲低，分子量及粘滯系數(shù)小，因而易通過漏孔并易擴(kuò)散；另外，氦系惰性氣體，不腐蝕設(shè)備，故常用氦作示漏氣體。將這種氣體噴到接有氣體分析儀(調(diào)整到只對(duì)氦氣反應(yīng)的工作狀態(tài))的被檢容器上，若容器有漏孔，則分析儀即有所反應(yīng)，從而可知漏孔所在及漏氣量大小。氦質(zhì)譜檢漏儀可以對(duì)具有內(nèi)腔的微電子或半導(dǎo)體器件封裝的氣密性進(jìn)行細(xì)檢漏。此檢測(cè)方法使用的示蹤氣體選擇了氦氣，氦氣具有質(zhì)量數(shù)小重量輕并且有滲透能力強(qiáng)的優(yōu)點(diǎn)，達(dá)到了細(xì)檢漏的目的。氦質(zhì)譜檢漏儀是質(zhì)譜儀器中的一種。

影響氦質(zhì)譜檢漏儀檢測(cè)精度的因素：1、受到檢測(cè)壓力的影響，泄漏率對(duì)測(cè)試壓力的依賴性，對(duì)不同的測(cè)量條件是不同的。一般而言，對(duì)于多孔性(如鑄造氣泡、裂縫)較高時(shí)，試驗(yàn)壓力對(duì)泄漏率的影響較大，而對(duì)于多孔性較低時(shí)則影響較小。另外，隨測(cè)試壓力的增高，還會(huì)帶來(lái)諸如溫度影響，所需穩(wěn)定時(shí)間加長(zhǎng)等一系列問題。因此，建議對(duì)特定的工件可采用在一定壓力范圍內(nèi)進(jìn)行泄漏檢測(cè)，然后選擇一個(gè)滿足測(cè)試要求的較低的壓力確定為它的測(cè)試壓力。2、受到檢測(cè)容積的影響，在一個(gè)特定的泄漏率值里，如果檢測(cè)容積增大的話，那么相應(yīng)的壓力降低的速度就越低，因而測(cè)量時(shí)間需要相應(yīng)增加。在一些特定的條件下，如果不想方設(shè)法減少測(cè)量容積，那么可能會(huì)無(wú)法達(dá)到測(cè)量需要的精確度和靈敏度。氦質(zhì)譜檢漏儀可以對(duì)具有內(nèi)腔的微電子或半導(dǎo)體器件封裝的氣密性進(jìn)行細(xì)檢漏。紹興客制化氦質(zhì)譜檢漏儀一臺(tái)多少錢

高靈敏度氦檢儀的噪聲來(lái)源大體上可以分為兩種，一個(gè)是離子流接收放大機(jī)輸出電路的噪聲，另一個(gè)是本底噪聲。自動(dòng)氦質(zhì)譜檢漏儀氦檢模塊

在氦質(zhì)譜檢漏儀,氦檢儀真空泵工作的各個(gè)階段都要考慮檢漏工作，由于冶金、原子能、電子、宇航技術(shù)的發(fā)展，要求制造不同用途的高真空、超高真空，甚至極高真空設(shè)備。這些設(shè)備中的某些設(shè)備結(jié)構(gòu)復(fù)雜，內(nèi)部有很多管道和傳動(dòng)機(jī)構(gòu)，有的體積很大，達(dá)幾十立方米，甚至數(shù)百立方米，連接管道和內(nèi)部管道的總長(zhǎng)度可達(dá)幾公里，焊縫、氦質(zhì)譜檢漏儀,氦檢儀圈的總長(zhǎng)度可達(dá)數(shù)十公里，必須投人很大力量對(duì)設(shè)備嚴(yán)格進(jìn)行檢漏，所以且應(yīng)該從設(shè)備開始設(shè)計(jì)時(shí)起就考慮檢漏問題。如果等到進(jìn)行安裝時(shí)再考慮檢漏問題就可能給氦質(zhì)譜檢漏儀，氦檢儀的檢漏工作帶來(lái)很大困難。自動(dòng)氦質(zhì)譜檢漏儀氦檢模塊