上海電子級(jí)氫氟酸采購(gòu)

目前，因各微電子生產(chǎn)企業(yè)對(duì)電子級(jí)氫氟酸要求的標(biāo)準(zhǔn)不同，可將其劃分為四個(gè)檔次：①低檔產(chǎn)品，用于>1.2μmIC工藝技術(shù)的制作；②中低檔產(chǎn)品，適用于0.8～1.2μmIC工藝技術(shù)的制作；③中優(yōu)越產(chǎn)品，適用于0.2～0.6μmIC工藝技術(shù)的制作；④優(yōu)越產(chǎn)品，適用于0.09～0.2μm和＜0.09μm IC工藝技術(shù)的制作。產(chǎn)品包裝方法：采用高密度聚乙烯（或四氟乙烯、氟烷基乙烯基醚共聚物、聚四氟乙烯）專(zhuān)業(yè)密封工藝制造塑料桶25公斤桶裝。高純水是生產(chǎn)電子氫氟酸中不可缺少的原料,也是包裝容器的清洗劑,其純度將直接影響到電子級(jí)氫氟酸的產(chǎn)品質(zhì)量。高純水的主要控制指標(biāo)是電阻率和固體顆粒,其他輔助指標(biāo)有可氧化的總碳量(TOC)、細(xì)菌、被溶解的二氧化硅、離子濃度等。目前,高純水的生產(chǎn)工藝較為成熟,較常見(jiàn)是先通過(guò)離子交換柱和微過(guò)濾器,得到普通純水,然后再采用反滲透、電滲析等各類(lèi)膜技術(shù)進(jìn)一步處理,之后配合殺細(xì)菌和超微過(guò)濾便可得到高純水。氫氟酸的使用和管理必須得到相關(guān)部門(mén)的批準(zhǔn)和監(jiān)督。上海電子級(jí)氫氟酸采購(gòu)

各國(guó)基本都是采用氯化鉀消除氟硅酸鹽的干擾，用氫氧化鈉標(biāo)準(zhǔn)滴定溶液，以酚酞的指標(biāo)劑進(jìn)行滴定。我國(guó)標(biāo)準(zhǔn)中的測(cè)定方法是將產(chǎn)品的總酸度測(cè)出后，再分別測(cè)出氟硅酸、硫酸含量。用總酸度數(shù)值分別減去氟硅酸含量、硫酸含量，之后結(jié)果以氟化氫表示。日本標(biāo)準(zhǔn)中的計(jì)算方法與我國(guó)標(biāo)準(zhǔn)有所不同但兩個(gè)標(biāo)準(zhǔn)之后測(cè)定結(jié)果是一致的。另外從相關(guān)資料了解到，在測(cè)定氫氟酸含量過(guò)程中，我國(guó)和日本的測(cè)定標(biāo)準(zhǔn)中都加入冰塊降溫，兩者目的都是使產(chǎn)品中的氟硅酸與鉀鹽反應(yīng)物的溶解程度降到較低，確保在滴定過(guò)程氟硅酸鉀不溶解。但我國(guó)采用的是在制樣過(guò)程中加入冰塊的方法，而日本標(biāo)準(zhǔn)中是在加入硝酸鉀溶液后再加入冰塊。我國(guó)標(biāo)準(zhǔn)中在制備試驗(yàn)溶液時(shí)加入冰塊，除了保證氟硅酸鉀不溶解，同時(shí)還能避免在稱(chēng)樣過(guò)程中樣品的揮發(fā)。江蘇純氫氟酸工廠在使用氫氟酸的過(guò)程中，必須保持周?chē)h(huán)境的衛(wèi)生和干燥。

雜質(zhì)砷是電子級(jí)氫氟酸中需要控制的一種重要雜質(zhì)指標(biāo)，在氫氟酸原料中砷一般以三價(jià)態(tài)形式存在，而且AsF3與氫氟酸的沸點(diǎn)相差不大，所以只靠精餾對(duì)其分離的效果不會(huì)十分理想。為去除雜質(zhì)砷，可在精餾前，加入適量的強(qiáng)氧化劑（如高錳酸鉀等）將三價(jià)態(tài)的砷進(jìn)行氧化，使其在精餾過(guò)程中沉積于塔釜中而被除去。生產(chǎn)設(shè)備與工藝：生產(chǎn)設(shè)備全采用碳鋼襯聚四氟乙烯材料，生產(chǎn)工藝采用常壓、全封閉、連續(xù)化，采用熱水低溫(小于100度)精餾.蒸餾工藝,工藝參數(shù)采用DCS集散控制系統(tǒng)生產(chǎn)。高純水制備：通過(guò)離子交換與過(guò)濾器先制得普通純水，再經(jīng)過(guò)反滲透、電滲析后進(jìn)入殺細(xì)菌、超微過(guò)濾制得高純水。

生產(chǎn)氫氟酸有采用螢石及磷礦石兩種原料路線。而以螢石為原料的硫酸法是工業(yè)上普遍采用的方法。將干燥后的螢石粉和硫酸按配比1：(1.2-1.3)混合，經(jīng)高溫分解、粗餾、精餾及水吸收而制得氫氟酸。［安全與防護(hù)］氫氟酸屬一級(jí)無(wú)機(jī)酸性腐蝕物品，危規(guī)編號(hào)：91035。用聚乙烯塑料桶或四氟乙烯塑料桶包裝。每桶凈重20kg或25kg。量少可用塑料瓶盛裝，每瓶0.5kg包裝，包裝上應(yīng)有“劇毒的物品“或“腐燭性物品“標(biāo)志。不可與氧化劑，有機(jī)物、易燃物、堿、金屬粉等共貯混運(yùn)。失火時(shí)可用黃砂、二氧化碳滅火器撲教，禁用柱狀水撲救。氫氟酸腐蝕性極強(qiáng)，蒸氣極毒，較高容許濃度為1mg/m3。皮膚誤觸時(shí)、應(yīng)立即用大量清水沖洗，或立即用3%堿液，10%碳酸銨溶液沖洗。嚴(yán)重時(shí)應(yīng)送醫(yī)院防治。非專(zhuān)業(yè)人員不得涉及氫氟酸的生產(chǎn)和操作。

精餾塔釜液返回洗滌塔；塔頂餾出液進(jìn)入脫氣塔脫除SO2、SiF4等輕組分。脫氣塔釜液為產(chǎn)品。HF二級(jí)冷凝器的未凝氣和脫氣塔塔頂排出的未凝氣一起進(jìn)入硫酸吸收塔，在此用硫酸吸收其中大部分HF，然后依次進(jìn)入一、第二水洗塔，生成氟硅酸。未被吸收的氣體進(jìn)入尾氣塔，洗掉其中的大部分酸性氣體后，未被吸收的氣體排空。尾氣塔的洗滌液和地面沖洗酸性水送至廢液處理裝置，處理后的合格污水排入排水系統(tǒng)。將工業(yè)無(wú)水氫氟酸經(jīng)化學(xué)預(yù)處理后，進(jìn)入精餾塔通過(guò)精餾操作，得到的氟化氫氣體經(jīng)冷卻后，在吸收塔中用超純水吸收，并采用控制噴淋密度、氣液比等方法使電子級(jí)氫氟酸進(jìn)一步純化，隨后經(jīng)0.2μm以下超濾工序，之后在密閉潔凈環(huán)境條件下( 百級(jí)以下) 進(jìn)行灌裝得到之后產(chǎn)品———電子級(jí)氫氟酸。在使用氫氟酸時(shí)必須使用專(zhuān)業(yè)的緩沖液。上海電子級(jí)氫氟酸采購(gòu)

在使用氫氟酸時(shí)必須使用一定質(zhì)量的防護(hù)設(shè)備。上海電子級(jí)氫氟酸采購(gòu)

那高純氟化氫有多純呢？以前我們都聽(tīng)說(shuō)過(guò)千足金的說(shuō)法，也就是純度為99.9%，含有0.1%的雜質(zhì)，后來(lái)又有人提出萬(wàn)足金，就是99.99%，含有0.01%的雜質(zhì)。而日本產(chǎn)的較高純度的氫氟酸純度為99.999%甚至更高，這個(gè)在目前較先進(jìn)的芯片生產(chǎn)工藝中都可以放心使用。而中國(guó)目前能生產(chǎn)的較高純度也比這個(gè)純度低十倍左右，而這只是其中一個(gè)指標(biāo)，此外還有控制粒徑、顆粒個(gè)數(shù)等指標(biāo)。如前所說(shuō)，氟化氫的生產(chǎn)并不困難，只需要讓螢石跟硫酸進(jìn)行反應(yīng)，就可以制得氟化氫。再用水溶解掉氟化氫，就變成了氫氟酸。這個(gè)生產(chǎn)過(guò)程技術(shù)含量并不高，工藝也不復(fù)雜。但生產(chǎn)出來(lái)的只是工業(yè)級(jí)的氫氟酸，要想應(yīng)用到電子行業(yè)，必須做非常精密的提純。難就難在了提純上。上海電子級(jí)氫氟酸采購(gòu)

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