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DLC薄膜具有優(yōu)異的電學(xué)性能,一般來(lái)說(shuō),含氫DLC薄膜電阻率比不含氫DLC薄膜的高,可能是由于氫穩(wěn)定了薄膜中sp3雜化碳相的緣故。喲與DLC中的sp3雜化碳相和薄膜的電阻率有直接的關(guān)系,因此沉積工藝和離子束的能量都對(duì)DLC薄膜層電阻率有這很大的影響。DLC薄膜...
為提高紡織機(jī)高速紡紗工況下鋼絲圈表面的磨損性能,采用直流等離子氣相沉積法在鋼絲圈表面制備類金剛石涂層(DLC),采用原位掃描探針顯微鏡觀測(cè)涂層表面形貌,測(cè)量并計(jì)算涂層硬度。結(jié)果發(fā)現(xiàn),DLC涂層顆粒粒徑約為100nm,呈島狀聚集分布,硬度約為18GPa。采用球-...
為了探究類金剛石(DLC)涂層在輪胎模具上應(yīng)用的可行性,以35鋼為基體,采用等離子輔助增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積(PECVD)的方法分別制備出了含氫類金剛石(DLC)涂層和氟化類金剛石(F-DLC)涂層,并對(duì)涂層表面形貌、Raman光譜、表面粗糙度、結(jié)合強(qiáng)度、力學(xué)性能、...
一系列含有sp3和sp2雜化的不穩(wěn)定的非晶碳膜統(tǒng)稱為類金剛石薄膜(DLC),這類薄膜具有高的硬度,低的摩擦因數(shù),優(yōu)異的耐磨性,良好的光學(xué)透過(guò)性和生物相容性,是近年來(lái)引起重視的一種新型功能薄膜材料。膜基結(jié)合力強(qiáng)弱是決定涂層壽命的關(guān)鍵因素,也是決定所有涂層應(yīng)用價(jià)值...
一系列含有sp3和sp2雜化的不穩(wěn)定的非晶碳膜統(tǒng)稱為類金剛石薄膜(DLC),這類薄膜具有高的硬度,低的摩擦因數(shù),優(yōu)異的耐磨性,良好的光學(xué)透過(guò)性和生物相容性,是近年來(lái)引起重視的一種新型功能薄膜材料。膜基結(jié)合力強(qiáng)弱是決定涂層壽命的關(guān)鍵因素,也是決定所有涂層應(yīng)用價(jià)值...
為了探究類金剛石(DLC)涂層在輪胎模具上應(yīng)用的可行性,以35鋼為基體,采用等離子輔助增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積(PECVD)的方法分別制備出了含氫類金剛石(DLC)涂層和氟化類金剛石(F-DLC)涂層,并對(duì)涂層表面形貌、Raman光譜、表面粗糙度、結(jié)合強(qiáng)度、力學(xué)性能、...
離子束濺射法DLC膜的制備及其性能表征采用離子束濺射方法,較低溫度下在Ti6A14V合金基底上沉積了DLC薄膜,重點(diǎn)考察了直流疊加脈沖共生偏壓大小對(duì)薄膜形貌、結(jié)構(gòu)和摩擦學(xué)性能的影響。制備薄膜為菲晶碳膜,薄膜表面粗糙度隨施加迭加偏壓增大有先減小后增大趨勢(shì),而膜中...
DLC薄膜具有優(yōu)異的電學(xué)性能,一般來(lái)說(shuō),含氫DLC薄膜電阻率比不含氫DLC薄膜的高,可能是由于氫穩(wěn)定了薄膜中sp3雜化碳相的緣故。喲與DLC中的sp3雜化碳相和薄膜的電阻率有直接的關(guān)系,因此沉積工藝和離子束的能量都對(duì)DLC薄膜層電阻率有這很大的影響。DLC薄膜...
采用ECR-PECVD技術(shù)制備DLC薄膜時(shí),不同過(guò)程參數(shù)對(duì)沉積DLC中sp3/sp2鍵比例影響的重要性次序?yàn)椋何⒉üβ?gt;氣體流量比>基底偏壓>沉積室壓強(qiáng)。其中sp3/sp2隨著微波功率的增大而減少;隨著C2H2/Ar中Ar分量的增大而增大;隨著基底偏壓的增加而...
經(jīng)過(guò)對(duì)類金剛石涂層不斷地研究,發(fā)現(xiàn)可以通過(guò)選擇合適的工藝參數(shù)、改善基體狀態(tài)、添加過(guò)渡層來(lái)增加膜基結(jié)合力。并且近年來(lái)的研究表明在含氫類金剛石涂層制備中加入Si等雜質(zhì)元素、采用液相法制作類金剛石涂層熱穩(wěn)定性極高,可以有效地解決熱穩(wěn)定性差的問(wèn)題??傊?,硬質(zhì)合金刀具表...
在一臺(tái)yBHИПA-1型雙激發(fā)源等離子弧薄膜沉積裝置上制取Ti合金化DLC膜,用納米硬度計(jì)、顯微硬度計(jì)、原子力顯微鏡以及X射線衍射儀和光電子能譜儀等手段對(duì)薄膜的力學(xué)性能和結(jié)構(gòu)進(jìn)行了分析和測(cè)定.摩擦磨損試驗(yàn)在一臺(tái)球-盤滑動(dòng)磨損試驗(yàn)機(jī)上進(jìn)行.比較了不同鈦合金化程度...
一系列含有sp3和sp2雜化的不穩(wěn)定的非晶碳膜統(tǒng)稱為類金剛石薄膜(DLC),這類薄膜具有高的硬度,低的摩擦因數(shù),優(yōu)異的耐磨性,良好的光學(xué)透過(guò)性和生物相容性,是近年來(lái)引起重視的一種新型功能薄膜材料。膜基結(jié)合力強(qiáng)弱是決定涂層壽命的關(guān)鍵因素,也是決定所有涂層應(yīng)用價(jià)值...
固體潤(rùn)滑薄膜材料具有優(yōu)異的摩擦學(xué)性能,可以有效降低相對(duì)運(yùn)動(dòng)摩擦副之間的摩擦磨損,是汽車節(jié)能減排技術(shù)的重要研究方向.對(duì)固體潤(rùn)滑薄膜尤其是DLC薄膜的摩擦學(xué)性能進(jìn)行了介紹,研究了其在高壓柴油噴射系統(tǒng)和發(fā)動(dòng)機(jī)挺柱等零部件上的應(yīng)用.臺(tái)架試驗(yàn)結(jié)果表明,DLC薄膜可以有效...
為了提高活塞銷表面類金剛石(DLC)涂層的結(jié)合力及抗磨損性能,使用掃描電子顯微鏡、圓度儀、粗糙度儀等檢測(cè)設(shè)備對(duì)2種活塞銷DLC涂層表面、截面及涂層結(jié)合處的微觀形貌、組成元素和成分進(jìn)行了對(duì)比分析,并對(duì)2種活塞銷進(jìn)行了發(fā)動(dòng)機(jī)臺(tái)架耐久試驗(yàn).結(jié)果表明:原樣件活塞銷耐久...
利用射頻等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積技術(shù)以CH4、H2為氣源,Ar為稀釋氣體,在不銹鋼、玻璃等基底上制備大面積類金剛石碳膜(DLC)。并對(duì)所制備的DLC碳膜采用拉曼光譜(Raman)、X射線光電子能譜(XPS)、傅立葉紅外光譜(FT-IR)、掃描電子顯微鏡(SEM...
一系列含有sp3和sp2雜化的不穩(wěn)定的非晶碳膜統(tǒng)稱為類金剛石薄膜(DLC),這類薄膜具有高的硬度,低的摩擦因數(shù),優(yōu)異的耐磨性,良好的光學(xué)透過(guò)性和生物相容性,是近年來(lái)引起重視的一種新型功能薄膜材料。膜基結(jié)合力強(qiáng)弱是決定涂層壽命的關(guān)鍵因素,也是決定所有涂層應(yīng)用價(jià)值...
一種功能梯度的類金剛石碳薄膜的制備方法,其特征在于,包括如下步驟:(1)通過(guò)空心陰極電子束輔助脈沖偏壓多弧離子鍍?cè)诠ぜ谋砻娉练e金屬基底層;(2)通過(guò)空心陰極電子束輔助脈沖偏壓多弧離子鍍?cè)谒鼋饘倩讓拥谋砻娉练e金屬氮化物過(guò)渡層;(3)通過(guò)脈沖偏壓離子束輔助磁...
類金剛石(DLC)膜涂層刀具的硬度高、摩擦系數(shù)低、耐摩擦和耐腐蝕性能強(qiáng)、抗粘結(jié)性能好,并且可以用來(lái)制作復(fù)雜、異型刀具,是未來(lái)刀具的一個(gè)重要發(fā)展方向。本文介紹了DLC膜的表面顯微結(jié)構(gòu)和Raman光譜并列舉了DLC的制備方法(包括磁控濺射、離子束沉積、脈沖激光沉積...
DLC薄膜具有優(yōu)異的電學(xué)性能,一般來(lái)說(shuō),含氫DLC薄膜電阻率比不含氫DLC薄膜的高,可能是由于氫穩(wěn)定了薄膜中sp3雜化碳相的緣故。喲與DLC中的sp3雜化碳相和薄膜的電阻率有直接的關(guān)系,因此沉積工藝和離子束的能量都對(duì)DLC薄膜層電阻率有這很大的影響。DLC薄膜...
類金剛石(DLC)膜涂層刀具的硬度高、摩擦系數(shù)低、耐摩擦和耐腐蝕性能強(qiáng)、抗粘結(jié)性能好,并且可以用來(lái)制作復(fù)雜、異型刀具,是未來(lái)刀具的一個(gè)重要發(fā)展方向。本文介紹了DLC膜的表面顯微結(jié)構(gòu)和Raman光譜并列舉了DLC的制備方法(包括磁控濺射、離子束沉積、脈沖激光沉積...
類金剛石膜作為新型的膜材料一直是世界各國(guó)膜技術(shù)領(lǐng)域研究的熱點(diǎn)之一。我國(guó)在類金剛石膜的研究方面取得了一定的進(jìn)展,但與發(fā)達(dá)國(guó)家相比,還是有一定的差距。類金剛石膜的種類很多,其結(jié)構(gòu)、工藝及機(jī)理極為復(fù)雜,主要是由于DLC是在非平衡態(tài)和等離子體狀態(tài)下制備合成的,存在著許...
離子束濺射法DLC膜的制備及其性能表征采用離子束濺射方法,較低溫度下在Ti6A14V合金基底上沉積了DLC薄膜,重點(diǎn)考察了直流疊加脈沖共生偏壓大小對(duì)薄膜形貌、結(jié)構(gòu)和摩擦學(xué)性能的影響。制備薄膜為菲晶碳膜,薄膜表面粗糙度隨施加迭加偏壓增大有先減小后增大趨勢(shì),而膜中...
類金剛石(DLC)由于其優(yōu)越的耐摩擦學(xué)性能和抗腐蝕性能.生物相容性,被認(rèn)為是一個(gè)有前途的生物醫(yī)學(xué)材料.DLC薄膜與各種原子鍵結(jié)構(gòu)和成分結(jié)合,應(yīng)用于骨科、心血管和牙科等醫(yī)療領(lǐng)域.細(xì)胞可在DLC膜生長(zhǎng),證實(shí)其沒(méi)有任何細(xì)胞毒性和炎性.DLC涂層在骨科中應(yīng)用:減少磨損...
用激光Roman光譜儀研究了DLC的結(jié)構(gòu)組成,利用摩擦磨損試驗(yàn)機(jī)測(cè)試了不同摩擦副在干摩擦和油潤(rùn)滑環(huán)境下的摩擦系數(shù)及耐磨壽命,終用光學(xué)顯微鏡觀察了汽車活塞銷涂層類金剛石前后的表面形貌。結(jié)果表明:采用此方法在汽車活塞銷上制備的類金剛石涂層光潔度高,摩擦系數(shù)??;摩擦...
在一臺(tái)yBHИПA-1型雙激發(fā)源等離子弧薄膜沉積裝置上制取Ti合金化DLC膜,用納米硬度計(jì)、顯微硬度計(jì)、原子力顯微鏡以及X射線衍射儀和光電子能譜儀等手段對(duì)薄膜的力學(xué)性能和結(jié)構(gòu)進(jìn)行了分析和測(cè)定.摩擦磨損試驗(yàn)在一臺(tái)球-盤滑動(dòng)磨損試驗(yàn)機(jī)上進(jìn)行.比較了不同鈦合金化程度...
為了提高活塞銷表面類金剛石(DLC)涂層的結(jié)合力及抗磨損性能,使用掃描電子顯微鏡、圓度儀、粗糙度儀等檢測(cè)設(shè)備對(duì)2種活塞銷DLC涂層表面、截面及涂層結(jié)合處的微觀形貌、組成元素和成分進(jìn)行了對(duì)比分析,并對(duì)2種活塞銷進(jìn)行了發(fā)動(dòng)機(jī)臺(tái)架耐久試驗(yàn).結(jié)果表明:原樣件活塞銷耐久...
在一臺(tái)yBHИПA-1型雙激發(fā)源等離子弧薄膜沉積裝置上制取Ti合金化DLC膜,用納米硬度計(jì)、顯微硬度計(jì)、原子力顯微鏡以及X射線衍射儀和光電子能譜儀等手段對(duì)薄膜的力學(xué)性能和結(jié)構(gòu)進(jìn)行了分析和測(cè)定.摩擦磨損試驗(yàn)在一臺(tái)球-盤滑動(dòng)磨損試驗(yàn)機(jī)上進(jìn)行.比較了不同鈦合金化程度...
一系列含有sp3和sp2雜化的不穩(wěn)定的非晶碳膜統(tǒng)稱為類金剛石薄膜(DLC),這類薄膜具有高的硬度,低的摩擦因數(shù),優(yōu)異的耐磨性,良好的光學(xué)透過(guò)性和生物相容性,是近年來(lái)引起重視的一種新型功能薄膜材料。膜基結(jié)合力強(qiáng)弱是決定涂層壽命的關(guān)鍵因素,也是決定所有涂層應(yīng)用價(jià)值...
DLC碳元素的天然結(jié)構(gòu)有兩種,空間立體結(jié)構(gòu)(金剛石)和平面網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)(石墨),而兩者共存的結(jié)構(gòu)就是DLC,其實(shí)DLC的定義是具有非晶質(zhì)(amorphous)結(jié)構(gòu)的碳素。所以,DLC的定義非常***,只要含有碳元素,而且是非晶質(zhì)結(jié)構(gòu)(沒(méi)有固定的結(jié)構(gòu)形態(tài)),那么它就...
用激光Roman光譜儀研究了DLC的結(jié)構(gòu)組成,利用摩擦磨損試驗(yàn)機(jī)測(cè)試了不同摩擦副在干摩擦和油潤(rùn)滑環(huán)境下的摩擦系數(shù)及耐磨壽命,終用光學(xué)顯微鏡觀察了汽車活塞銷涂層類金剛石前后的表面形貌。結(jié)果表明:采用此方法在汽車活塞銷上制備的類金剛石涂層光潔度高,摩擦系數(shù)?。荒Σ?..