影像測量儀在盲孔測量的應(yīng)用方案。千分尺測量法。選取與內(nèi)孔直徑大小合適的光滑塞規(guī)插入并測量，計算公式為：孔深=塞規(guī)長度+零件長度—塞規(guī)插入內(nèi)徑后零件的總長，間接測量得到深度測量值?？ǔ邷y量法。選取已知長度的光滑塞規(guī)插入并用卡尺的尾部測量露出部分的長度，計算公式為：孔深=塞規(guī)長度-塞規(guī)插入內(nèi)孔后剩余的長度，間接得到深度測量值。以上兩種方法測量時間長，過程操作誤差大，讀數(shù)不直觀，不適于批量零件的高效測試。影像測量儀利用影像測頭采集工件的影像，并將這些圖像轉(zhuǎn)變?yōu)閿?shù)字信號，提交給計算機(jī)進(jìn)行處理。在影像探測系統(tǒng)中，合適的亮度和對比度是佳成像的關(guān)鍵。在實際應(yīng)用中，一般需要專門使用的照明裝置才能獲得合適的亮度...

二次元影像測量儀應(yīng)用及結(jié)構(gòu)組成。二次元影像測量儀是高精密測量儀器中常用的檢測儀器，功能異常強(qiáng)大，能適用于二坐標(biāo)測量為目的的一切應(yīng)用領(lǐng)域，在機(jī)械、橡膠、電子、模具、注塑、五金、低壓電器，磁性材料、精密五金、精密沖壓、接插件、連接器、端子、手機(jī)、家電、計算機(jī)(電腦)、印刷電路板(線路板、PCB)、液晶電視(LCD)、汽車、醫(yī)療器械、儀器儀表、鐘表等行業(yè)領(lǐng)域被普遍應(yīng)用。測量的產(chǎn)品也涉及多個行業(yè)，PCB、LCD、FPC、線路板、彈簧、螺絲、鐘表、儀表、手表、接插件(連接器、接線端子)、齒輪、凸輪、螺紋、半徑樣板、螺紋樣板、電線電纜、刀具、軸承、五金件、沖壓件、篩網(wǎng)、網(wǎng)板(鋼網(wǎng)、SMT模板)、試驗篩、水...

在使用影像測量儀的過程中，不可避免會出現(xiàn)一些故障，我們很有必要掌握一些基本的維修知識。1、上光源暗：用萬用表直流檔測量調(diào)光板上光源電源是否在DC12V(把調(diào)光電阻調(diào)到大時)，如果達(dá)不到12V證明電源電路有問題，否則電路板周邊元器件損壞，需返廠維修或更換。2、X軸不計數(shù)：證明Y軸是好的，可以先把X、Y二軸光柵尺對換接到轉(zhuǎn)換盒試下X軸光柵尺是否好的，光柵尺如果是好的就說問題出現(xiàn)在數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換盒或操作軟件中，需要請求專業(yè)人士或廠家技術(shù)人員來解決。平時要注意影像測量儀進(jìn)行保養(yǎng)，應(yīng)放在清潔干燥、適當(dāng)恒溫的房間里，避免光學(xué)零件表面發(fā)霉、金屬零件生銹、塵埃雜物剝落等。光學(xué)件表面要保持清潔，不可以用手觸摸，要經(jīng)常...

測量儀影像區(qū)域沒有影像，呈灰色。可能是視頻捕捉卡沒插好，正常關(guān)閉計算機(jī)和儀器，拔下電源插頭，然后打開主機(jī)箱，取下視頻捕捉卡，并重新插一遍，確認(rèn)插好后再啟動計算機(jī)。如果換了插槽則要重新安裝驅(qū)動程序?；蛘呤且曨l捕捉卡驅(qū)動程序未安裝好，按說明書中的安裝驅(qū)動程序的方法重裝視頻卡驅(qū)動程序或者是視頻捕捉卡參數(shù)設(shè)置不正確，鼠標(biāo)點擊菜單影像—>影像視頻設(shè)置…或者在影像顯示區(qū)點鼠標(biāo)右鍵，在彈出的菜單中選擇影像視頻設(shè)置…，彈出影像設(shè)置對話框。設(shè)置正確的亮度、對比度等參數(shù)。測量儀測量誤差也會減少很多，重復(fù)性也會很大方面改善。揭陽測量儀介紹如何鑒定二次元影像測量儀質(zhì)量？在對二次元影像測量儀的質(zhì)量進(jìn)行鑒別時，我們可以從...

在使用影像測量儀的過程中，不可避免會出現(xiàn)一些故障，我們很有必要掌握一些基本的維修知識。1、上光源暗：用萬用表直流檔測量調(diào)光板上光源電源是否在DC12V(把調(diào)光電阻調(diào)到大時)，如果達(dá)不到12V證明電源電路有問題，否則電路板周邊元器件損壞，需返廠維修或更換。2、X軸不計數(shù)：證明Y軸是好的，可以先把X、Y二軸光柵尺對換接到轉(zhuǎn)換盒試下X軸光柵尺是否好的，光柵尺如果是好的就說問題出現(xiàn)在數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換盒或操作軟件中，需要請求專業(yè)人士或廠家技術(shù)人員來解決。平時要注意影像測量儀進(jìn)行保養(yǎng)，應(yīng)放在清潔干燥、適當(dāng)恒溫的房間里，避免光學(xué)零件表面發(fā)霉、金屬零件生銹、塵埃雜物剝落等。光學(xué)件表面要保持清潔，不可以用手觸摸，要經(jīng)常...

神奇的光學(xué)影像測量儀!精密檢測儀器是適應(yīng)工業(yè)時代發(fā)展的高科測量設(shè)備.它之所以為精密,主要在于它的測量準(zhǔn)確度超乎平常的測量工具.我們常用的游標(biāo)卡尺,螺旋測微器已經(jīng)是可以精確到0.001MM了.也可以算是十分精確的測量工具了.但是二次元影像測量儀,三元次測量儀的問世,似乎可以意味著人類在測量技術(shù)上有了空前的突破.首先,它們的精確性可以達(dá)到0.1個μ以下.并且從原理上跟傳統(tǒng)的測量方式背道而馳.它采用光學(xué)放大的原理在實物圖像放大幾倍后的基礎(chǔ)上測量工件的距離.這種方法比起在實物原原本本的測量方法顯得方便多了.更重要的是精確多了。測量儀可作為檢驗非金屬光澤的工件表面。汕尾二次元測量儀影像測量儀的另一強(qiáng)大重...

二次元影像測量儀測量高度的方法。1、接觸法測高；在Z軸上安裝探針；用接觸法直接測量結(jié)果，這個方法也得在二次元測量儀軟件上增加模塊。2、影像測高法；在二次元影像測量儀軟件上增加測高模塊，運用焦距調(diào)節(jié)清楚一個平面；然后再找另一個平面；2個平面的差值就是要檢測的高度。系統(tǒng)誤差能控制到5個微米以內(nèi)。如果是單純測量相對高度，可以建議考慮在影像測量儀上增加以上兩種方法中的任意一種；如果是需要檢測空間尺寸和復(fù)合尺寸，建議考慮三坐標(biāo)測量儀。二次元影像測量儀的主要測量功能還是測量工件的二維數(shù)據(jù)，不能測量復(fù)雜的高度數(shù)據(jù)。在測量工件的高度數(shù)據(jù)方面，相比影像測量儀，三坐標(biāo)測量機(jī)有著更加強(qiáng)大的測量功能。測量儀要注重平時...

在使用影像測量儀的過程中，不可避免會出現(xiàn)一些故障，我們很有必要掌握一些基本的維修知識。1、上光源暗：用萬用表直流檔測量調(diào)光板上光源電源是否在DC12V(把調(diào)光電阻調(diào)到大時)，如果達(dá)不到12V證明電源電路有問題，否則電路板周邊元器件損壞，需返廠維修或更換。2、X軸不計數(shù)：證明Y軸是好的，可以先把X、Y二軸光柵尺對換接到轉(zhuǎn)換盒試下X軸光柵尺是否好的，光柵尺如果是好的就說問題出現(xiàn)在數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換盒或操作軟件中，需要請求專業(yè)人士或廠家技術(shù)人員來解決。平時要注意影像測量儀進(jìn)行保養(yǎng)，應(yīng)放在清潔干燥、適當(dāng)恒溫的房間里，避免光學(xué)零件表面發(fā)霉、金屬零件生銹、塵埃雜物剝落等。光學(xué)件表面要保持清潔，不可以用手觸摸，要經(jīng)常...

影像測量儀安裝及基本維修知識。影像測量儀的簡單開箱與安裝，如下：1.在拆除影像測量儀外層包裝以及內(nèi)層包裝的時候，需要取出使用說明書，仔細(xì)閱讀與查看。2.把影像測量儀搬到一個平整以及可以定位的臺面上，裝上底腳螺絲，用水平儀器調(diào)平。3.取下X、Y軸固定板、Z軸滑動塊固定螺絲(在攝像機(jī)罩內(nèi)滑動塊上)，X、Y、Z軸便能傳動。4.本機(jī)使用電源可從AC110V-220V，50-60HZ，連接顯示器，接通儀器電源，影像測量儀便安裝完成。另外，安裝影像測量儀要選擇合適的地方，好是溫度、濕度和振動等都可以被穩(wěn)定控制的房間，一般不適于有陽光的直射方向，好朝向為北向或沒有窗戶，因為陽光對于室內(nèi)的溫度有影響，不利于溫...

不同的二次元影像測量儀具有哪些不同的特點?不同影像測量儀的共性：1、二次元影像測量儀彩色(黑白)影像的實時處理或儲藏功能；2、影像測量儀可讓用戶自行定義的測定值計算功能與涵數(shù)功能；3、二次元影像測量儀影像工具與公差組編輯功能；4、數(shù)字形式靈活，這便于測量儀使用SPC。影像測量儀的特性：1、有助于排列與公差表現(xiàn)的Frame設(shè)定功能。2、為進(jìn)行精密測定而設(shè)置的二次元測量儀自動邊緣探測功能；3、直交坐標(biāo)儀與極坐標(biāo)儀二次元影像測量儀的變換功能；4、影像測量儀測定CAD化圖表功能。測量儀是現(xiàn)代工業(yè)生產(chǎn)中比不可少的檢測儀器。遼寧測量儀說明書影像測量儀器維修的手法。一.觀察。通過看,聞,接觸來發(fā)現(xiàn)問題所在....

現(xiàn)代影像測量儀被普遍企業(yè)使用，不過測量儀能取代投影儀嗎?影像測量儀也稱視頻測量儀，簡稱“測量儀”，其結(jié)構(gòu)和測量對象與測量投影儀相似。有些測量儀將液晶屏搬到主機(jī)上，外觀幾乎和投影儀沒有區(qū)別。測量儀自上世紀(jì)末誕生以來，產(chǎn)品發(fā)展很快，擠占了投影儀的部分銷售市場，那么發(fā)展下去，測量儀將全方面取代投影儀嗎？投影儀具有工作臺坐標(biāo)測量和屏上測量兩種功能，而測量儀光具有工作臺坐標(biāo)測量功能。投影儀的光學(xué)成像清晰、視場大、放大倍率準(zhǔn)確，因此，可以直接在投影屏上進(jìn)行尺寸和形狀測量。屏上測量功能包括：在投影屏上用玻璃刻度尺直接量取尺寸，和用投影屏上的放大圖與影像進(jìn)行比較測量。用放大圖測量的典型實例發(fā)動機(jī)葉片榫頭。可利...

二次元影像測量儀放大倍率知識。二次元影像測量儀的放大倍率包括光學(xué)放大倍率和數(shù)碼放大倍率兩個方面的放大，基于幾何成像原理的放大稱為光學(xué)放大倍率，電子電路處理后顯示放大稱為數(shù)碼放大倍率。光學(xué)放大倍率為物體通過鏡頭成像到CCD的感光單元上面的放大倍率。這部分是純粹的光學(xué)成像，遵守幾何光學(xué)原理。光學(xué)放大倍率部分決定了影像的放大倍率，也部分決定了CCD能夠看到的視野范圍。數(shù)碼放大倍率為由CCD感光單元通過處理電路，把圖像顯示到顯示器上的這一過程中產(chǎn)生的放大效應(yīng)稱為數(shù)碼放大倍率。表中為CCD到顯示器的放大倍率，常用CCD感光芯片尺寸有1/3〞、1/2〞、2/3〞、1〞等四種規(guī)格，常用顯示器尺寸有9〞、12...

影像測量儀的另一強(qiáng)大重點部分-----驅(qū)動軟件。應(yīng)用軟件在影像測量儀中的功能主要是被安裝在微電腦里或者是主板上,從而執(zhí)行人為的各種數(shù)據(jù)輸入的指令.它就像一個翻譯家,或者是一位測量助手,可以幫我們把要測量的目的翻譯給設(shè)備,也可以幫我們把測量收集的數(shù)據(jù)進(jìn)行整理和計算.總之,有了驅(qū)動軟件這一好幫手,測量技術(shù)變得更加簡易,更加方便.絕大部分的影像測量儀器里都安裝了微型電腦,有的還有裝有各方面功能齊全,內(nèi)存系統(tǒng)強(qiáng)大的計算機(jī)處理系統(tǒng)(CPU).如果我們想要通過影像測量儀完成一些任務(wù).完全可以把我們事先編輯成的軟件安裝到電腦的集成硬盤中,然后直接可以通過在電腦上對影像測量儀設(shè)備進(jìn)行指揮測量.從而實現(xiàn)真正的人...

影像測量儀安裝及基本維修知識。影像測量儀的簡單開箱與安裝，如下：1.在拆除影像測量儀外層包裝以及內(nèi)層包裝的時候，需要取出使用說明書，仔細(xì)閱讀與查看。2.把影像測量儀搬到一個平整以及可以定位的臺面上，裝上底腳螺絲，用水平儀器調(diào)平。3.取下X、Y軸固定板、Z軸滑動塊固定螺絲(在攝像機(jī)罩內(nèi)滑動塊上)，X、Y、Z軸便能傳動。4.本機(jī)使用電源可從AC110V-220V，50-60HZ，連接顯示器，接通儀器電源，影像測量儀便安裝完成。另外，安裝影像測量儀要選擇合適的地方，好是溫度、濕度和振動等都可以被穩(wěn)定控制的房間，一般不適于有陽光的直射方向，好朝向為北向或沒有窗戶，因為陽光對于室內(nèi)的溫度有影響，不利于溫...

自動測量儀所有電氣接插件、一般不要拔下，如已拔掉，則必須按標(biāo)記正確插回并擰緊螺絲。不正確的接插、輕則影響儀器功能，重則可能損壞系統(tǒng)。二維測量儀通常不要拔下所有電連接器的插頭。如果已拔下插頭，則必須按照標(biāo)記正確插入并擰緊它們。錯誤的連接可能會絲毫影響儀器的功能，并在嚴(yán)重的情況下?lián)p壞系統(tǒng)。二次元測量儀要接地，底座后面的電源接口板上有一個標(biāo)記，使用圖像測量儀時，電源插座必須有接地線。二次元影像測量儀計算機(jī)上測量軟件，工作臺和光學(xué)尺之間的誤差已得到廠家準(zhǔn)確補(bǔ)償，請勿自行隨意更改，否則會產(chǎn)生錯誤的測量結(jié)果。測量儀每天要做好設(shè)備的衛(wèi)生清理。浙江二次元測量儀技術(shù)支持淺談二次元影像測量儀的簡易知識。二次元影像...

二次元影像測量儀應(yīng)用及結(jié)構(gòu)組成。二次元影像測量儀是高精密測量儀器中常用的檢測儀器，功能異常強(qiáng)大，能適用于二坐標(biāo)測量為目的的一切應(yīng)用領(lǐng)域，在機(jī)械、橡膠、電子、模具、注塑、五金、低壓電器，磁性材料、精密五金、精密沖壓、接插件、連接器、端子、手機(jī)、家電、計算機(jī)(電腦)、印刷電路板(線路板、PCB)、液晶電視(LCD)、汽車、醫(yī)療器械、儀器儀表、鐘表等行業(yè)領(lǐng)域被普遍應(yīng)用。測量的產(chǎn)品也涉及多個行業(yè)，PCB、LCD、FPC、線路板、彈簧、螺絲、鐘表、儀表、手表、接插件(連接器、接線端子)、齒輪、凸輪、螺紋、半徑樣板、螺紋樣板、電線電纜、刀具、軸承、五金件、沖壓件、篩網(wǎng)、網(wǎng)板(鋼網(wǎng)、SMT模板)、試驗篩、水...

二次元影像測量儀在測量角度的技巧?；貧w直線偏差小。在測量產(chǎn)品角度弧度過程中，經(jīng)常出現(xiàn)重復(fù)精度差，一個人用一樣的方法，卻誤差達(dá)到0.5度，這是經(jīng)常出現(xiàn)的事情。在當(dāng)今諸多影像測量軟件中，直線采集都是默認(rèn)為兩點，對于規(guī)則性、直線性好的零件，角度測量上不會產(chǎn)生太大誤差，但對于直線性不好，毛刺多的零件來說，兩點采集直線的方法帶來很大的誤差，且重復(fù)精度亦不佳，這樣的直線構(gòu)成的角度，多次測量的重復(fù)性肯定不理想。若我們使用多點尋回歸直線的方法來確定角度的兩邊，則所得的直線更貼近被測工件的實際邊線，偏差從而就會減少，同時，測量誤差也會減少很多，重復(fù)性也會很大方面改善。測量儀零部件具有品質(zhì)要求高、批量大、形狀各異...

在使用影像測量儀的過程中，不可避免會出現(xiàn)一些故障，我們很有必要掌握一些基本的維修知識。1、上光源暗：用萬用表直流檔測量調(diào)光板上光源電源是否在DC12V(把調(diào)光電阻調(diào)到大時)，如果達(dá)不到12V證明電源電路有問題，否則電路板周邊元器件損壞，需返廠維修或更換。2、X軸不計數(shù)：證明Y軸是好的，可以先把X、Y二軸光柵尺對換接到轉(zhuǎn)換盒試下X軸光柵尺是否好的，光柵尺如果是好的就說問題出現(xiàn)在數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換盒或操作軟件中，需要請求專業(yè)人士或廠家技術(shù)人員來解決。平時要注意影像測量儀進(jìn)行保養(yǎng)，應(yīng)放在清潔干燥、適當(dāng)恒溫的房間里，避免光學(xué)零件表面發(fā)霉、金屬零件生銹、塵埃雜物剝落等。光學(xué)件表面要保持清潔，不可以用手觸摸，要經(jīng)常...

影像測量儀的品質(zhì)與其相關(guān)因素。影像測量儀的品質(zhì)與其相關(guān)因素。當(dāng)你看到一臺臺嶄新的影像測量儀平靜地擺放營業(yè)廳或者工作區(qū)的時候，你可能只會想到它們的測量精度是如何如何的精確。卻從來不會想一下這些高精密的儀器設(shè)備的裝備技術(shù)要求及它們的制造工藝。如果那天你有機(jī)會參觀影像測量儀的生產(chǎn)車間，那些工人們的細(xì)心工作態(tài)度和素養(yǎng)不得不會讓你大吃一驚?；蛟S從那以后，你會更加理解：任何一件高科技的產(chǎn)品問世，它背后凝聚著多心勤勞心們的心血。測量儀每天要做好設(shè)備的衛(wèi)生清理。佛山非接觸式測量儀廠家影像測量儀的另一強(qiáng)大重點部分-----驅(qū)動軟件。應(yīng)用軟件在影像測量儀中的功能主要是被安裝在微電腦里或者是主板上,從而執(zhí)行人為的各...

影像測量儀，由于屏幕顯示有限，加上放大倍率較大（一般在0.7檔～4.5檔28X～180X)，屏幕顯示部分的工件尺寸實際只有幾毫米，很多測量人員在檢測的時候習(xí)慣只在屏幕顯示部分上采集點、線元素。如果采集的點有偏差，所采線段越短，那么所測得的角度值偏差就會越大，線段越長，測得角度值偏差就會越小。理論角度為30度，采點偏差0.25mm,，我們可以清楚的看到線段長短對測量值的影響。所以我們在測量角度的時候，盡量將角度兩邊的線采集長些，如果屏幕顯示范圍太小，可以移動工作臺，在角度所在直線的起點位置附件采一點，然后在終點位置采一點，這樣所測角度誤差將會很大方面減小。測量儀對于規(guī)則性、直線性好的零件，角度測...

從精密測量儀器的發(fā)展中我們可以看出，從二次元到三坐標(biāo)的發(fā)展過程，與我們生活中的有些事物是極為相似的，如電影。我們看電影也是從初平面角度的欣賞，到3D立體電影的感同身受，再到4D視覺、聽覺、觸覺與嗅覺的全方面感受。無論是二次元測量儀、全自動影像測量儀或者全自動三次元測量儀，亦或2.5次元，它們的根本功能就是為了更好的檢測工件，為產(chǎn)品的安全生產(chǎn)提供保障，所以我們說，精密測量儀器是現(xiàn)代工業(yè)生產(chǎn)中比不可少的檢測儀器。對于二次元精密測量儀器，我們知道，像二次元影像測量儀和三次元測量儀之類，它們的發(fā)展從初的簡單投影儀，到粗糙的手動二次元，以及手動三次元，再到如今的全自動二次元測量儀和三坐標(biāo)測量儀，每一步的...

影像測量儀，由于屏幕顯示有限，加上放大倍率較大（一般在0.7檔～4.5檔28X～180X)，屏幕顯示部分的工件尺寸實際只有幾毫米，很多測量人員在檢測的時候習(xí)慣只在屏幕顯示部分上采集點、線元素。如果采集的點有偏差，所采線段越短，那么所測得的角度值偏差就會越大，線段越長，測得角度值偏差就會越小。理論角度為30度，采點偏差0.25mm,，我們可以清楚的看到線段長短對測量值的影響。所以我們在測量角度的時候，盡量將角度兩邊的線采集長些，如果屏幕顯示范圍太小，可以移動工作臺，在角度所在直線的起點位置附件采一點，然后在終點位置采一點，這樣所測角度誤差將會很大方面減小。測量儀應(yīng)放在清潔干燥的室內(nèi)。廈門二次元測...

如何鑒定二次元影像測量儀質(zhì)量？在對二次元影像測量儀的質(zhì)量進(jìn)行鑒別時，我們可以從以下三個方面來進(jìn)行：1）看儀器的影像畫片是否清楚，黑白交界處是否清晰。2)用手稍微在機(jī)臺旁邊做震動動作，看看儀器的光柵尺數(shù)據(jù)會是多少，跑到的數(shù)據(jù)越大越不好，好的儀器在受較小震動后，跑一段數(shù)據(jù)后會歸回到原來起點數(shù)據(jù)的。3)后一定要看儀器的重復(fù)性好不好，這是決定這種精密儀器質(zhì)量關(guān)鍵之一，各位朋友在選取購時一定要求銷售商對同一產(chǎn)品部位的尺寸多次量測，而且還要用不同的方法量測，看后的數(shù)據(jù)結(jié)果差多少。質(zhì)量好的儀器，數(shù)據(jù)重復(fù)性肯定好，如果質(zhì)量不好，測量100次可能就有100個不同數(shù)據(jù)。測量儀要注重平時對儀器進(jìn)行保養(yǎng)。珠海進(jìn)口二次...

二次元影像測量儀可以生成CAD圖檔。在機(jī)械生產(chǎn)和模具制造企業(yè)中,我們經(jīng)常會看到有工程人員拿二次元影像測量儀去掃描工件表面的特征.之所以用二次元影像測量儀去檢測工件,主要是因為二次元影像測量儀的具備獲取高像素的清晰畫面.并且可以在電腦主機(jī)上任一操作指向要觀察的部位.那我們通常用二次元只限于這種功能,其實二次元影像測量儀還可以視訊軟件的驅(qū)動下,把PNG圖像格式生成二維平面格式,可以用CAD軟件任意放大和縮小。二次元影像測量儀生成CAD格式的圖檔的功能其實很強(qiáng)大,但是操作人員運用的機(jī)會很少.主要原因是其實的工件一般都是有或多或少的公差,所以測量儀器獲取的數(shù)據(jù)乃至生成的圖檔也跟工程圖紙有較大的差距.但...

2.5次元測量儀在半導(dǎo)體晶圓行業(yè)上的應(yīng)用。晶圓是指制作硅半導(dǎo)體積體電路所用的硅晶片，其原始材料是硅。高純度的多晶硅溶解后摻入硅晶體晶種，然后慢慢拉出，形成圓柱形的單晶硅。硅晶棒在經(jīng)過研磨，拋光，切片后，形成硅晶圓片，也就是晶圓。目前國內(nèi)晶圓生產(chǎn)線以8英寸和12英寸為主。晶圓的主要加工方式為片加工和批加工，即同時加工1片或多片晶圓。隨著半導(dǎo)體特征尺寸越來越小，加工及測量設(shè)備越來越先進(jìn)，使得晶圓加工出現(xiàn)了新的數(shù)據(jù)特點。同時，特征尺寸的減小，使得晶圓加工時，空氣中的顆粒數(shù)對晶圓加工后質(zhì)量及可靠性的影響增大，而隨著潔凈的提高，顆粒數(shù)也出現(xiàn)了新的數(shù)據(jù)特點。測量儀對于規(guī)則性、直線性好的零件，角度測量上不會...