客戶一直在使用安裝在潔凈室的較好的激光測量設(shè)備檢查對齊情況,每個組件大約需要十分鐘才能完成必要的對齊檢查,這太長了。“因此,客戶要求我們開發(fā)一種特殊用途的測試和組裝機器,以減少校準(zhǔn)檢查所需的時間。現(xiàn)在,我們使用機器人搬運系統(tǒng)將閥門、閥瓣和銷組件轉(zhuǎn)移到專門的自動...
隨著社會不斷的發(fā)展,我們智能設(shè)備的進化越發(fā)迅速,愈發(fā)精密的設(shè)備意味著,對點膠設(shè)備提出更高的要求,需要應(yīng)對更高的點膠精度。更靈活的點膠角度。目前手機中板和屏幕模組貼合時,需要在中板上點一圈透明的UV膠,這種膠由于白色反光的原因,只能使用光譜共焦傳感器進行完美測量...
針對微米級工業(yè)薄膜厚度測量 ,研究了基于寬光譜干涉的反射式法測量方法。根據(jù)薄膜干涉及光譜共聚焦原理 ,綜合考慮成本、穩(wěn)定性、體積等因素要求,研制了滿足工業(yè)應(yīng)用的小型薄膜厚度測量系統(tǒng)。根據(jù)波長分辨下的薄膜反射干涉光譜模型,結(jié)合經(jīng)典模態(tài)分解和非均勻傅里葉變換思想...
晶圓對于半導(dǎo)體器件至關(guān)重要,膜厚是影響晶圓物理性質(zhì)的重要參數(shù)之一。通常對膜厚的測量有橢圓偏振法、探針法、光學(xué)法等,橢偏法設(shè)備昂貴,探針法又會損傷晶圓表面。利用光學(xué)原理進行精密測試,一直是計量和測試技術(shù)領(lǐng)域中的主要方法之一,在光學(xué)測量領(lǐng)域,基于干涉原理的測量系統(tǒng)...
硅片柵線的厚度測量方法我們還用創(chuàng)視智能TS-C系列光譜共焦傳感器和CCS控制器,TS-C系列光譜共焦位移傳感器能夠?qū)崿F(xiàn)0.025 μm的重復(fù)精度,±0.02% of F.S.的線性精度,10kHz的測量速度,以及±60°的測量角度,能夠適應(yīng)鏡面、透明、半透明、...
激光位移傳感器在新能源光伏等行業(yè)應(yīng)用中,具有非常重要的作用。例如,在風(fēng)能發(fā)電領(lǐng)域中,激光位移傳感器可以用于實時監(jiān)測風(fēng)力發(fā)電機葉片的位移,從而及時發(fā)現(xiàn)葉片的形變和振動情況 ,保證發(fā)電機的正常運行。此外,在新能源汽車領(lǐng)域中,激光位移傳感器可以用于測量電池、電機等關(guān)...
白光干涉光譜分析是目前白光干涉測量的一個重要方向。此項技術(shù)通過使用光譜儀將對條紋的測量轉(zhuǎn)變?yōu)閷Σ煌ㄩL光譜的測量,分析被測物體的光譜特性,得到相應(yīng)的長度信息和形貌信息。與白光掃描干涉術(shù)相比,它不需要大量的掃描過程,因此提高了測量效率,并減小了環(huán)境對其影響。此項...
差動共焦拉曼光譜測試方法是一種通過激光激發(fā)樣品產(chǎn)生拉曼散射信號,并利用差動共焦顯微鏡提高空間分辨率、抑制激光背景和表面散射等干擾信號的非接觸式拉曼光譜測試方法。該方法將樣品放置于差動共焦顯微鏡中,利用兩束激光在焦平面聚焦下的共焦點對樣品進行局部激發(fā),產(chǎn)生拉曼散...
裝備的精密定位和運動控制是至關(guān)重要的。為了確保武器裝備的高精度和高可靠性,需要使用高精度的測量和控制系統(tǒng)。激光位移傳感器作為一種高精度、高靈敏度的傳感器,已經(jīng)成為武器裝備制造和維護中必不可少的工具。激光位移傳感器可以測量武器裝備的位置和位移,以及其運動狀態(tài)、速...
隨著環(huán)保意識的不斷提高,新能源行業(yè)的發(fā)展正越來越受到人們的關(guān)注。在新能源領(lǐng)域中,鋰電池是一種重要的電池類型,它具有高能量密度、長壽命和低自放電率等優(yōu)點 ,已經(jīng)廣泛應(yīng)用于電動汽車、電動工具、家用電器等領(lǐng)域。然而,鋰電池的生產(chǎn)過程需要高精度的測量和控制,以確保產(chǎn)品...
激光三角法測量不僅具有大的偏置距離和大的測量范圍,而且測量系統(tǒng)結(jié)構(gòu)相對簡單,維護方便,可有效應(yīng)用于三維曲面的非接觸精密測量中;但同時由于其測量精度與被測物體表面結(jié)構(gòu)、特性及環(huán)境條件等因素有關(guān),當(dāng)激光三角法應(yīng)用于易拉罐罐蓋開啟口壓痕殘余厚度測量時,要求測量精度達...
在容器玻璃生產(chǎn)過程中,圓度和壁厚是重要的質(zhì)量特征,需要進行檢查。任何有缺陷的容器都會被判定為不合格產(chǎn)品并返回到玻璃熔體中。為了實現(xiàn)快速的非接觸式測量,并確保不損壞瓶子,需要高處理速度。對于這種測量任務(wù),光譜共焦傳感器是一種合適的選擇。該系統(tǒng)在兩個點上同步測量并...
隨著科技的不斷發(fā)展 ,對微小位移的測量需求也越來越高。尤其是在納米科技領(lǐng)域,微小位移的測量對于研究物質(zhì)的性質(zhì)和行為至關(guān)重要。而激光位移傳感器作為一種高精度 、高靈敏度的位移測量工具,被應(yīng)用于微小位移的測量。在納米科技中,激光位移傳感器可以用于測量納米級別的位移...
白光光譜法克服了干涉級次的模糊識別問題,具有測量范圍大,連續(xù)測量時波動范圍小的特點,但在實際測量中,由于測量誤差、儀器誤差、擬合誤差等因素,干涉級次的測量精度仍其受影響,會出現(xiàn)干擾級次的誤判和干擾級次的跳變現(xiàn)象。導(dǎo)致公式計算得到的干擾級次m值與實際譜峰干涉級次...
傅里葉變換是白光頻域解調(diào)方法中的一種低精度信號解調(diào)方法,起初由G.F.Fernando和T.Liu等人提出,用于低精度光纖法布里-珀羅傳感器的解調(diào)。該解調(diào)方案的原理是通過傅里葉變換得到頻域的峰值頻率從而獲得光程差,并得到待測物理量的信息。傅里葉變換解調(diào)方案的優(yōu)...
基于表面等離子體共振傳感的測量方案,利用共振曲線的三個特征參量半高寬、—共振角和反射率小值,通過反演計算得到待測金屬薄膜的厚度。該測量方案可同時得到金屬薄膜的介電常數(shù)和厚度,操作方法簡單。我們利用Kretschmann型結(jié)構(gòu)的表面等離子體共振實驗系統(tǒng),測得金膜...
近年北京市軌道交通建設(shè)發(fā)展迅速,截止目前運營線路已達19條,為及時掌握高架線路運行狀態(tài),自2012年起北京地鐵陸續(xù)在5號線、13號線、八通線、機場線、亦莊線、房山線、昌平線和15號線高架線路上安裝自動化監(jiān)測系統(tǒng),開展對橋梁梁體的位移、裂縫、支座位移、梁體應(yīng)力、...
干涉法與分光光度法都是利用相干光形成等厚干涉條紋的原理來確定薄膜厚度和折射率 ,然而與薄膜自發(fā)產(chǎn)生的等傾干涉不同,干涉法是通過設(shè)置參考光路,形成與測量光路間的干涉條紋,因此其相位信息包含兩個部分,分別是由參考平面和測量平面間掃描高度引起的附加相位和由透明薄膜內(nèi)...
隨著汽車行業(yè)的迅速發(fā)展 ,汽車零部件的加工質(zhì)量和精度要求也越來越高。為了滿足這一需求,高精度光譜共焦傳感器成為了一種可靠的解決方案。本文將探討高精度光譜共焦傳感器在汽車零部件加工方面的應(yīng)用,并提出相應(yīng)的解決方案。首先,高精度光譜共焦傳感器在汽車零部件加工中的應(yīng)...
針對微米級工業(yè)薄膜厚度測量,開發(fā)了一種基于寬光譜干涉的反射式法測量方法,并研制了適用于工業(yè)應(yīng)用的小型薄膜厚度測量系統(tǒng),考慮了成本、穩(wěn)定性、體積等因素要求。該系統(tǒng)結(jié)合了薄膜干涉和光譜共聚焦原理,采用波長分辨下的薄膜反射干涉光譜模型,利用經(jīng)典模態(tài)分解和非均勻傅里葉...
干涉測量法[9-10]是基于光的干涉原理實現(xiàn)對薄膜厚度測量的光學(xué)方法 ,是一種高精度的測量技術(shù)。采用光學(xué)干涉原理的測量系統(tǒng)一般具有結(jié)構(gòu)簡單,成本低廉,穩(wěn)定性好,抗干擾能力強,使用范圍廣等優(yōu)點。對于大多數(shù)的干涉測量任務(wù),都是通過薄膜表面和基底表面之間產(chǎn)生的干涉條...
通過白光干涉理論分析,詳細介紹了白光垂直掃描干涉技術(shù)和白光反射光譜技術(shù)的基本原理,并完成了應(yīng)用于測量靶丸殼層折射率和厚度分布實驗裝置的設(shè)計和搭建。該實驗裝置由白光反射光譜探測模塊、靶丸吸附轉(zhuǎn)位模塊、三維運動模塊和氣浮隔震平臺等組成,能夠?qū)崿F(xiàn)對靶丸的負壓吸附、靶...
線性色散設(shè)計的光譜共焦測量技術(shù)是一種利用光譜信息進行空間分辨的光學(xué)技術(shù)。該技術(shù)利用傳統(tǒng)共焦顯微鏡中的探測光路,再加入一個光柵分光鏡或干涉儀等光譜儀器,實現(xiàn)對樣品的空間和光譜信息的同時采集和處理。該技術(shù)的主要特點在于,采用具有線性色散特性的透鏡組合,將樣品掃描后...
激光位移傳感器用于重要結(jié)構(gòu)高精度實時監(jiān)測效果良好,傳感器壽命至少可達3~5年,維修工作量也較小。對于精度要求不高且量程較大的場合,采用常規(guī)巖土工程傳感器更為經(jīng)濟。從各條線路加裝監(jiān)控系統(tǒng)實踐看,國外主要品牌激光位移傳感器質(zhì)量相近,選擇重點是根據(jù)監(jiān)測對象的變形范圍...
白光干涉頻域解調(diào)顧名思義是在頻域分析解調(diào)信號,測量裝置與時域解調(diào)裝置幾乎相同,只需把光強測量裝置換為CCD或者是光譜儀,接收到的信號是光強隨著光波長的分布。由于時域解調(diào)中接收到的信號是一定范圍內(nèi)所有波長的光強疊加,因此將頻譜信號中各個波長的光強疊加,即可得到與...
隨著科技的不斷發(fā)展,光譜共焦技術(shù)已成為現(xiàn)代制造業(yè)中不可或缺的一部分。作為一種高精度、高效率的檢測手段,光譜共焦技術(shù)在點膠行業(yè)中的應(yīng)用越來越普遍。光譜共焦技術(shù)基于光學(xué)原理,通過將白光分解為不同波長的光波,實現(xiàn)對樣品的精細光譜分析。 在制造業(yè)中,點膠是一道重要的工...
在納米量級薄膜的各項相關(guān)參數(shù)中 ,薄膜材料的厚度是薄膜設(shè)計和制備過程中的重要參數(shù),是決定薄膜性質(zhì)和性能的基本參量之一,它對于薄膜的光學(xué)、力學(xué)和電磁性能等都有重要的影響[3]。但是由于納米量級薄膜的極小尺寸及其突出的表面效應(yīng),使得對其厚度的準(zhǔn)確測量變得困難。經(jīng)過...
非球面中心偏差的測量手段主要包括接觸式(百分表)和非接觸式(光學(xué)傳感器)。文章基于自準(zhǔn)直定心原理和光譜共焦位移傳感技術(shù),對高階非球面的中心偏差進行了非接觸精密測量。光學(xué)加工人員根據(jù)測量出的校正量和位置方向?qū)η蛎孢M行拋光,使非球面透鏡的中心偏差滿足光學(xué)系統(tǒng)設(shè)計的...
光譜共焦測量技術(shù)由于其高精度、允許被測表面有更大的傾斜角、測量速度快、實時性高、對被測表面狀況要求低以及高分辨率等特點,已成為工業(yè)測量的熱門傳感器,在生物醫(yī)學(xué)、材料科學(xué)、半導(dǎo)體制造、表面工程研究、精密測量和3C電子等領(lǐng)域廣泛應(yīng)用。本次測量場景采用了創(chuàng)視智能TS...
光譜共焦傳感器作為一種新型高精密傳感器,其測 量精密度可達 土 0.02%。開始產(chǎn)生在法國的,相較于光柵尺、容柵 或電感器電臺廣播、電感器差動變壓器式偏移傳感器,其在偏移測量方面的優(yōu)勢更加明顯。現(xiàn)如今,因為光譜共焦傳感器擁有高精密、,因而,其在幾何量高精密測量...